Polisseuse mécanique chimique automatique à plateau unique CMP, Chine Polisseuse mécanique chimique automatique à plateau unique CMP Fabricants, fournisseurs, usine

Déscription

CMP monoplateau ATOM

Caractéristiques de la machine

L'appareil est flexible et peut prendre en charge plusieurs têtes.
La capacité de traitement de l'équipement est proche du niveau du modèle courant des produits de la même taille.
Bonne cohérence du processus inter-appareils.

Domaines d'application

Polissage STI, ILD/IMD, TSV, TGV de 4 à 8 pouces et polissage de surface de composés tels que SiC, LT, LN, GaAs, etc.

paramètres techniques

Têtes de 4 pouces, 6 pouces, 8 pouces, contrôle multizone
Type de plateau Φ20 pouces 508MM
Précision du contrôle de la pression de la tête < 0.05 PSI
Précision du contrôle de la vitesse de rotation de la tête et du plateau < 2 tr/min

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1. Unité LoadPort

Le port peut être retourné pour immerger la cassette dans le Qtank, évitant ainsi la formation de cristaux de boue sur le
Surface polie de la plaquette. Equipé de la fonction de cartographie de cassette.

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2. Unité de récupération de matériaux robotisés

Equipé d'un robot à 4 axes, il peut transférer automatiquement les plaquettes de la cassette vers l'unité de polissage.

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3. Unité de polissage

Cette unité est équipée de Platine * 1, Tête * 1, PC *
1, bras de suspension * 1, HCLU * 1 et point final EPD
détection. Il peut réaliser le chargement et le déchargement automatique des plaquettes, le contrôle de la tête multizone, la boue
point d'atterrissage changeant avec les paramètres de recette, la détection du point final et d'autres fonctions.

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Tête de polissage CMP

Les têtes de polissage configurées sur cet appareil sont toutes développées, conçues et produites indépendamment par notre société.
Parmi eux, la tête à 4 cavités de 3 pouces est un produit unique créé par notre société, comblant le manque de têtes à cavités multiples de 4 pouces en Chine. Notre société peut rapidement modifier ou personnaliser la tête en fonction des caractéristiques du produit du client. Lors du développement des produits à couche mince TGV (200 um), la structure interne de la tête a été modifiée pour répondre aux exigences du polissage à couche mince. Au cours du processus de développement de la technologie de polissage OX de surface LN, notre société a profondément mis à niveau la tête de 6 pouces et a réussi à répondre aux exigences du produit du client.

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Applications

Processus de polissage de planarisation de CI traditionnel ;

Procédé TGV/TSV ;

Découpe intelligente et pré-collage CMP ;

Polissage de substrat SIC/polissage d'arséniure de gallium.

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Spécification

Port	Quantité * 1, avec Q-tank
Robot	Quantité * 1, pour le transfert de plaquettes
HCLU	Quantité * 1, pour le chargement et le déchargement automatique des plaquettes
Tête de polissage	Quantité * 13 contrôle de cavité, précision de contrôle de 0.1 PSI, peut prendre en charge les opérations de plaquettes de 400 à 1200 XNUMX UM.
Vitesse de la tête de polissage	5-150RPM
Disque de polissage	Quantité * 1 Taille du disque de polissage 508 mm, vitesse du tampon de polissage 10-150 tr/min.
Bras de coupe	Quantité * 1 tampon de polissage. Le tampon de polissage peut être poli en ligne (simultanément) ou hors ligne (après le polissage). La coupe Le bras est équipé d'un arbre de coupe, qui peut tourner et se déplacer de haut en bas, et la vitesse et la force d'appui peuvent être contrôlées. L'outil de coupe est installé sur l'arbre de coupe et peut être rapidement supprimé. Selon les différents types de tampons de polissage, différents types d'outils de dressage sont configurés, y compris le dressage brosses, bagues diamantées et disques diamantés.
Unité de contrôle de la pression d'air de la tête de polissage UPA	Quantité * 13Zone réglable pour un meilleur effet de planarisation de surface
Pompe d'alimentation en liquide de polissage	Quantité * 2. Les pompes péristaltiques sont utilisées pour l'alimentation en liquide, avec 2 pompes péristaltiques configurées pour fournir différents polissages liquides sur le disque de polissage. Chaque pompe peut être utilisée à n'importe quelle étape du processus.
Bras à boue	Quantité * 1 peut contrôler le point d'atterrissage de la boue et peut nettoyer le tampon de polissage.
Le système de contrôle des opérations peut réaliser un contrôle au niveau de l'utilisateur, tel que le mode opérateur, le mode maintenance et le mode technique, ainsi que le var Les modes multiples sont contrôlés par des mots de passe. Le logiciel système peut modifier les paramètres de processus de chaque étape du processus et aplatir et polir le film mince sur la surface de la puce selon le programme. Il peut surveiller l'état de fonctionnement de l'équipement, surveiller paramètres de processus en temps réel, et le logiciel peut stocker automatiquement diverses données de processus. Équipé d'un arrêt d'urgence bouton, utilisé pour arrêter immédiatement le fonctionnement de l'équipement et couper l'alimentation de commande.

Emballage & livraison

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À propos de nous

QFP

1. À propos du prix :
Tous nos prix sont compétitifs et négociables. Le prix varie en fonction de la configuration et de la complexité de personnalisation de votre appareil.

2. À propos de l'échantillon :
Nous pouvons vous fournir des services de production d'échantillons, mais vous pouvez payer certains frais.

3. À propos du paiement :
Une fois le plan confirmé, vous devez d'abord nous verser un acompte et l'usine commencera à préparer les marchandises.
l'équipement est prêt et vous payez le solde, nous l'expédions.

4. À propos de la livraison :
Une fois la fabrication de l'équipement terminée, nous vous enverrons la vidéo d'acceptation et vous pourrez également venir sur place pour inspecter l'équipement.

5. Installation et débogage :
Une fois l'équipement arrivé à votre usine, nous pouvons envoyer des ingénieurs pour installer et déboguer l'équipement. Nous vous fournirons un devis séparé pour ces frais de service.

6. À propos de la garantie :
Nos équipements bénéficient d'une garantie de 12 mois. Après la période de garantie, si des pièces sont endommagées et doivent être remplacées, nous ne facturerons que le prix coûtant.