Polisseur mécanique chimique à plateau unique automatique pour la planarisation des galettes , China Polisseur mécanique chimique à plateau unique automatique pour la planarisation des galettes Manufacturers, Suppliers, Factory

Description du produit

ATOM Single Platen CMP

Caractéristiques de la machine

L'appareil est flexible et peut supporter plusieurs têtes.
La capacité de traitement de l'équipement est proche du niveau des modèles mainstream des produits de même taille.
Bonne cohérence du processus inter-appareil.

Domaines d'application

polissage de 4-8 pouces STI, ILD/IMD, TSV, TGV et polissage de surface de composés tels que le SiC, LT, LN, GaAs, etc.

Paramètres techniques

têtes de 4 pouces, 6 pouces, 8 pouces, contrôle multi-zones
Type de plateau Φ20 pouces 508MM
Précision du contrôle de la pression de la tête <0.05PSI
Précision du contrôle de la vitesse de rotation de la tête et du plateau <2RPM

1. Unité LoadPort

Le port peut être retourné pour immerger le casset dans le Qtank, évitant ainsi la formation de cristaux de Slurry sur la
surface polie de la wafer. Equipé d'une fonction de cartographie de casset.

2. Unité de récupération de matériel robotisée

Equipé d'un robot à 4 axes, il peut transférer automatiquement les wafers du casset à l'unité de polissage.

3. Le retour de la guerre Unité de polissage

Cette unité est équipée de Platen * 1, Head * 1, PC *
les résultats de l'analyse doivent être présentés dans le tableau 1 ci-dessous.
détection. Il peut réaliser le chargement et le déchargement automatique des plaquettes, le contrôle de la tête multi-zone, Slurry
le point d'atterrissage change avec les paramètres de recette, la détection des points d'arrivée et d'autres fonctions.

Tête de polisseur CMP

Les têtes de polisseur configurées sur cet appareil sont toutes développées, conçues et produites indépendamment par notre société.
Parmi eux, la tête à 3 cavités de 4 pouces est un produit unique créé par notre société, comblant le vide de la tête à 4 pouces multi-cavités en Chine. Notre société peut rapidement modifier ou personnaliser la tête en fonction des caractéristiques du produit du client. Dans le développement des produits TGV à film mince (200 mm), la structure interne de la tête a été modifiée pour répondre aux exigences du polissage à film mince. Au cours du processus de développement de la technologie de polissage de surface OX LN, notre société a profondément amélioré la tête de 6 pouces et a satisfait avec succès les exigences du produit du client.

APPLICATIONS

Procede d'affinage de planarisation IC traditionnel ;

Procede TGV/TSV ;

Smart Cut et CMP de pré-collage ;

Affinage du substrat SIC/affinage de l'arséniure de gallium.

Spécification

Port	Quantité * 1, avec réservoir Q
Robot	Quantité * 1, pour le transfert de galettes
HCLU	Quantité * 1, pour le chargement et le déchargement automatiques des galettes
Tête d'affinage	Quantité * 13 contrôle de cavité, précision de contrôle de 0,1 PSI, peut supporter les opérations sur des galettes de 400 à 1200 µm.
Vitesse de la tête de polissage	5-150RPM
Disque de polissage	Quantité * 1 Taille du disque de polissage 508mm, Vitesse de la pad de polissage 10-150tr/min.
Bras d'ébarbage	Quantité * 1 pad de polissage. Le pad de polissage peut être utilisé en ligne (simultanément) ou hors ligne (après le polissage). L'ébarbage le bras est équipé d'un arbre d'ébarbage, qui peut tourner et se déplacer vers le haut et vers le bas, et la vitesse et la force descendante peuvent être contrôlées. Le outil d'ébarbage est installé sur l'arbre d'ébarbage et peut être rapidement démonté. Selon les différents types de pads de polissage, différents types d'outils de préparation sont configurés, y compris des brosses, des bagues diamantées et des disques diamantés.
Unité de contrôle de la pression d'air de la tête de polissage UPA	Quantité * 13. Réglable en zones pour un meilleur effet de planarisation de surface.
Pompe d'alimentation en liquide de polissage	Quantité * 2. Des pompes péristaltiques sont utilisées pour l'alimentation en liquide, avec 2 pompes péristaltiques configurées pour fournir différents liquides de polissage au disque de polissage. Chaque pompe peut être utilisée à n'importe quelle étape du processus.
Bras de pulvérisation	Quantité * 1 peut contrôler le point d'impact du pulvérulent et peut nettoyer la pad de polissage.
Le système de contrôle opérationnel peut atteindre un niveau de contrôle utilisateur, comme le mode opérateur, le mode maintenance et le mode technique, et chaque mode est contrôlé par des mots de passe. Le logiciel du système peut éditer les paramètres de processus de chaque étape de processus et peut aplanir et polir le film mince sur la surface du chip selon le programme. Il peut surveiller l'état de fonctionnement de l'équipement, surveiller les paramètres de processus en temps réel, et le logiciel peut automatiquement stocker diverses données de processus. Equipé d'un arrêt d'urgence. polir le film mince sur la surface du chip selon le programme. Il peut surveiller l'état de fonctionnement de l'équipement, surveiller les paramètres de processus en temps réel, et le logiciel peut automatiquement stocker diverses données de processus. equipé d'un arrêt d'urgence bouton, utilisé pour arrêter immédiatement le fonctionnement de l'équipement et couper l'alimentation en énergie de contrôle.

Emballage et livraison

Profil de l'entreprise

FAQ

1. À propos du prix :
Tous nos prix sont compétitifs et négociables. Le prix varie en fonction de la configuration et de la complexité de personnalisation de votre appareil.

2. À propos des échantillons :
Nous pouvons vous fournir des services de production d'échantillons, mais des frais peuvent être requis.

3. À propos du paiement :
Une fois le plan confirmé, vous devez d'abord nous verser un acompte, et l'usine commencera à préparer les marchandises. Une fois l'équipement prêt et après avoir payé le solde, nous l'expédierons.
l'équipement est prêt et après avoir payé le solde, nous l'expédierons.

4. À propos de la livraison :
Une fois la fabrication de l'équipement terminée, nous vous enverrons une vidéo de contrôle qualité et vous pourrez également venir sur place pour inspecter l'équipement.

5. Installation et mise au point :
Une fois que l'équipement est arrivé dans votre usine, nous pouvons envoyer des ingénieurs pour installer et mettre en service l'équipement. Nous vous fournirons un devis séparé pour ce coût de service.

6. À propos de la garantie :
Nos équipements bénéficient d'une période de garantie de 12 mois. Après la période de garantie, si des pièces sont endommagées et doivent être remplacées, nous ne facturerons que le prix des coûts.

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