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Solution intégrée pour la machine d'élimination de photorésiste au plasma micro-ondes d'emballage de semi-conducteurs

Déscription

Machine d'élimination de photorésiste au plasma à micro-ondes

Solution intégrée au plasma pour le conditionnement des semi-conducteurs
Solution intégrée pour le conditionnement des semi-conducteurs
La machine d'élimination de photorésiste au plasma micro-ondes est un système d'élimination de photorésiste au plasma micro-ondes basse tension spécialement conçu pour les semi-conducteurs. En appliquant une fréquence de micro-ondes de 2.45 GHz à la fenêtre située sur la paroi de la chambre à vide, une quantité importante et continue de plasma est générée, qui pénètre dans la chambre pour le processus de nettoyage de la puce. Adapté à différentes tailles de boîtes de matériaux, il peut répondre à différents besoins et fournir des solutions personnalisées.
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Spécification
Source PLASMA
micro-onde
power
0-1250W
Espace de travail
6 gammes de magazines (gamme de tailles de magazines : L260mmxW95mmxH190mm)
la capacité de traitement
Pas de 35 um/bosse de 40 um, taille de matrice maximale de 15x15mm
Dimensions d'apparence
480mmx470mmx500mm
Controle du système
Système de contrôle industriel
Niveau d'automatisation
Manuel
Usine de chars
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Emballage & livraison
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À propos de nous
16 ans d'expérience dans l'exportation d'équipements! Nous pouvons vous fournir une solution unique de processus et d'équipements frontaux de semi-conducteurs !
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