Source plasma |
micro-ondes |
puissance |
0-1250W |
espace de travail |
6 gammes de magazines (taille des magazines : L260mm x l95mm x H190mm) |
capacité de traitement |
pitch de 35um/Bump de 40um Taille maximale du Die de 15x15mm |
Dimensions extérieures |
480mmx470mmx500mm |
Contrôle du système |
Système de contrôle industriel |
Niveau d'automatisation |
Manuel |
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