Projet
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Content
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Type de produit
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6", 8", 12" cadre wafer
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éléments d'inspection 2D
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Objets étrangers, résidus de colle, particules, rayures, fissures, contamination, déviation CP, surface excessive, etc.
Décalage et éclats du canal de découpe |
Éléments de contrôle du tracé de découpe
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6", 8", 12" cadre cassette
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Objectif et Résolution
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2x (2,75 µm) / 3,5x (1,57 µm) /
5x (1,1 µm) / 7,5x (0,73 µm) / 10x (0,55 µm) |
Précision
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0,55 µm/pixel
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Optionnel et Sur Mesure
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Module INK, module IR
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