Système de lithographie sans masque MCXJ-MLS8, Chine Système de lithographie sans masque MCXJ-MLS8 Fabricants, fournisseurs, usine

Déscription

Échantillon:

Fabrication du système de lithographie sans masque MCXJ-MLS8

Schéma de la structure de l'équipement

Fournisseur du système de lithographie sans masque MCXJ-MLS8

Spécification

Diagramme de la structure de l'hôte d'exposition

structure	illustrer
Exposer le comptoir	Zone d'exposition : comptoir, zone de placement du substrat
Système optique	Zone de moulage par émission laser
Système de contrôle de l'environnement	Contrôler la température interne et la pression positive de l'appareil
Système de plate-forme	Contrôle le mouvement de la table d'exposition pour terminer le fonctionnement du chemin d'exposition
Système de contrôle	Système de contrôle de l'ensemble de l'équipement

Remarque : étant donné que la mise à niveau de la machine peut modifier l'apparence réelle, les spécificités du produit réel.

No.	Environnement	Exiger
1	Environnement de la source lumineuse	Lumière jaune
2	Température	22 ℃ ± 2 ℃
3	Humidité	50% ± 10%
4	Propreté	1000
5	CDA	0.6 ± 0.1 MPa, 200 LPM, air sec et propre
6	Source d'alimentation	220 ~ 240 V, 50/60 Hz, 2.5 kW ; le fil de terre doit être mis à la terre.
7	L'eau de refroidissement	Température : 10 ℃ ~ 20 ℃ Pression : 0.3 MPa ~ 0.5 MPa. Débit : 20 L/min Différence de pression : 0.3 MPa. Reprendre le calibre ： Rc3/8
8	Lieu	niveau：±3mm/3000mm secousse：VC-B Roulement：750kg/㎡
10	Internet	Un port réseau
11	taille de la machine	1300 * 1100 * 2100mm
12	Poids de l'appareil	1500kg

No.	Projet	Spec.	Remarque
1	Résolution	0.6 um/ou autre exigence	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10% @ 1um
3	Épaisseur du substrat	0.2 mm ～ 4 mm
4	Précision de la grille de dates	60nm
5	Recouvrir	± 500nm	130mmx130mm
6	Précision de couture	± 200nm	AZ703
7	Taille d'exposition maximale	190X190mm
8	Cadence de production	≥300mm2/min	≤50mJ/cm2；
9	Source de lumière	LD 375 nm
10	Puissance légère	6W
11	Uniformité énergétique	≥95%
12	vie légère	10000hr

Emballage & livraison

À propos de nous

Nous avons 16 ans d'expérience dans la vente d'équipements. Nous pouvons vous fournir une solution professionnelle unique d’équipements de ligne de paquets de semi-conducteurs front-end et back-end en provenance de Chine.