structure |
donnez un exemple |
Table d'exposition |
Zone d'exposition : table, zone de placement du substrat |
Système optique |
Zone de moulage d'émission laser |
Système de contrôle environnemental |
Contrôle de la température interne et de la surpression de l'appareil |
Système de plateforme |
Contrôle le mouvement de la table d'exposition pour terminer l'opération du chemin d'exposition |
Système de contrôle |
Système de contrôle de tout l'équipement |
Non. |
Environnement |
Exiger |
1 |
Environnement de source lumineuse |
Lumière jaune |
2 |
Température |
22℃±2℃ |
3 |
Humidité |
50%±10% |
4 |
La propreté |
1000 |
5 |
CDA |
0,6±0,1Mpa, 200LPM, air sec et propre |
6 |
Alimentation |
220~240V, 50/60Hz, 2,5KW ; La terre doit être correctement reliée |
7 |
Eau de refroidissement |
Temp. : 10℃~ 20℃ Pression : 0.3MPa ~ 0.5MPa Débit : 20L/min Différence de pression : 0.3MPa ou plus Calibre de raccordement : Rc3/8 |
8 |
Lieu |
niveau : ±3mm/3000mm vibration : VC-B Roulement : 750kg/㎡ |
10 |
Internet |
Un port réseau |
11 |
Taille de la machine |
1300*1100*2100mm |
12 |
Poids de l'appareil |
1500 kg |
Non. |
Projet |
- Des spécifications. |
Remarque |
1 |
Résolution |
0,6um/ou autre exigence |
AZ703, AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
Épaisseur du substrat |
0.2mm～4mm |
|
4 |
Précision de la grille de dates |
60nm |
|
5 |
Superposition |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
Précision d'assemblage |
±200nm |
AZ703 |
7 |
Taille de l'exposition MAX |
190X190mm |
|
8 |
Débit |
≥300mm²/min |
≤50mj/cm²; |
9 |
source lumineuse |
LD 375nm |
|
10 |
puissance lumineuse |
6W |
|
11 |
Uniformité d'énergie |
≥95% |
|
12 |
durée de vie de l'éclairage |
10000h |
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