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Déscription

MD-SPV100 Traitement de surface au plasma sous vide

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Avantages du nettoyage plasma sous vide

Le nettoyage au plasma est une méthode importante de modification de la surface des matériaux et a été largement utilisé dans de nombreux domaines.
Et certaines méthodes de nettoyage traditionnelles, telles que le nettoyage par ultrasons, le nettoyage UV, etc., présentent les avantages suivants :
（A）Basse température de traitement
La température de traitement peut descendre entre 80 °C et 50 °C. Les basses températures de traitement garantissent l'absence d'effets thermiques sur la surface de l'échantillon.
（B）Pas de pollution pendant tout le processus
Le nettoyeur plasma lui-même est un appareil très respectueux de l'environnement qui ne provoque aucune pollution et ne provoque aucune pollution pendant le processus de traitement.
（C）Effet de traitement stable
L'effet du traitement du nettoyage au plasma est très uniforme et stable, et l'effet de maintien de l'échantillon après une longue période est bon.
（D）Peut gérer des échantillons de différentes formes
Pour les échantillons de formes complexes, le nettoyage au plasma peut trouver la bonne solution.

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Une partie de l'échantillon

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Spécification

Unité hôte plasma sous vide (100)
Taille de l'équipement	L 1000×L 900×H 1750mm
poids	500Kg
Alimentation électrique à la demande	AC380V, 50 / 60Hz, 5 lignes, 25A (type ouvert total au-dessus de C)
Spécification du générateur de plasma
power	radiofréquence	fréquence intermédiaire
		0 ~ 600W	0-1000W
fréquence d'alimentation	13.56MHz	40 kHz
Système de vide
Pompe à vide	Pompe rotative de survol (pompe à huile) : 60 m3/h
canalisation sous vide	Ligne entièrement en acier inoxydable, ainsi que soufflets à vide haute résistance
qualité matérielle	alfer
épaisseur	25mm
étanchéité	Joint de soudure de qualité militaire
Dimensions intérieures de la cavité	450450500mm (largeur* haute * profondeur)
Taille efficace de la plaque électrique	322351mm (largeur profondeur)
Espacement disponible	20mm
Disposition de galvanoplastie	Plaque d'électrode horizontale
plateaux	Ensemble standard, matériau en option (aluminium, treillis métallique)
espace de travail	couche 8
gaz de procédé
Plage de débit	0~300SCCM
Voie du gaz de procédé	Standard avec deux manières, peut être personnalisé. Le gazoduc de procédé est en ferrofllon
Navarre
SC	PLC
mode interactif	Écran tactile de 7 pouces

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Applications

Emballage & livraison

À propos de nous

Nous avons 16 ans d'expérience dans la vente d'équipements. Nous pouvons vous fournir une solution unique d'équipements de ligne de paquets front-end et back-end pour semi-conducteurs en provenance de Chine !