Unité hôte à plasma sous vide(150) |
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Taille de l'équipement |
L 1100×L 940×H 1755mm |
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poids |
600Kg |
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Alimentation électrique à la demande |
AC380V, 50 / 60Hz, 5 lignes, 25A (type ouvert total au-dessus de C) |
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Spécification du générateur de plasma |
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power |
radiofréquence |
fréquence intermédiaire |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
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fréquence d'alimentation |
13.56MHz |
40 kHz |
Système de vide |
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Pompe à vide |
Pompe monopôle Leap VSV 65 + Pompe Bowse Lots BSJ 70 |
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canalisation sous vide |
Ligne entièrement en acier inoxydable, ainsi que soufflets à vide haute résistance |
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qualité matérielle |
alfer |
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épaisseur |
25mm |
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étanchéité |
Joint de soudure de qualité militaire |
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Dimensions intérieures de la cavité |
500*500*600mm (largeur* haute * profondeur) |
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Taille efficace de la plaque électrique |
372(L) X 451(P)mm |
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Espacement disponible |
24mm |
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Disposition de galvanoplastie |
Plaque d'électrode horizontale |
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plateaux |
Ensemble standard, matériau en option (aluminium, treillis métallique) |
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espace de travail |
couche 8 |
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Gaz de procédé |
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Plage de débit |
0~300SCCM |
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Voie du gaz de procédé |
Standard avec deux manières, peut être personnalisé. Le gazoduc de procédé est en ferrofllon |
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Système de contrôle |
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SC |
contrôle de PC |
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mode interactif |
Interface Windows |
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