Unité d'hôte plasma(150) |
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Taille de l'équipement |
L 1100×W 940×H 1755mm |
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poids |
600kg |
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Alimentation électrique requise |
AC380V, 50/60Hz, 5 fils, 25A (type ouvert total au-dessus de C) |
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Spécification du générateur plasma |
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puissance |
radio Fréquence |
fréquence intermédiaire |
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0~1000W |
0-2000W |
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fréquence d'alimentation |
13,56 MHz |
40 K Hz |
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Système de vide |
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pompe à vide |
Pompe monopôle Leap VSV 65 + Pompe Bowse BSJ 70 |
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conduite sous vide |
Ligne entièrement en acier inoxydable, ainsi que des flexibles à vide de haute résistance |
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la qualité des matériaux |
alufer |
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épaisseur |
25mm |
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étanchéité |
Joint de soudage de qualité militaire |
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Dimensions intérieures de la cavité |
500*500*600mm (Largeur*hauteur*profondeur) |
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Dimensions effectives de la plaque électrique |
372(L) X 451(P)mm |
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Espace disponible espacement |
24mm |
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Disposition électroplaque |
Plaque d'électrode horizontale |
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plateaux |
Ensemble standard, matériau optionnel (aluminium, treillis en fil d'acier) |
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espace de travail |
8 couches |
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Gaz de processus |
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Plage de débit |
0~300SCCM |
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Circuit du gaz de procédé |
Standard avec deux voies, peut être personnalisé. Le pipeline du gaz de procédé est en ferrofllon |
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Système de contrôle |
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SC |
Contrôle par PC |
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mode interactif |
Interface Windows |
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