Hôte de plasma sous vide (200) |
||
Taille de l'équipement |
1050×1700×1050mm (largeur, hauteur et profondeur) |
|
Poids |
800KG |
|
puissance demandée |
AC380V, 50/60Hz, 5 fils, 30A |
|
Spécifications du générateur de plasma |
||
alimentation électrique |
Radio Fréquence |
Si |
0~1000W |
0-2000W |
|
Fréquence de puissance |
13,56 MHz |
40 KHz |
Système de vide |
||
Pompe à vide |
Pompe unipolaire Feiyue VSV100 + deux pompes racines BSJ70 |
|
ligne de vide |
Tous les tubes en acier inoxydable et soufflets à vide haute résistance |
|
Matériau |
Alliage d'aluminium |
|
Épaisseur |
25mm |
|
étanchéité |
Scellé soudé de grade militaire |
|
Dimensions internes du volume |
600×600×600mm (L×H×P) |
|
Dimension effective de la plaque électrode |
472 X 451mm (L×P) |
|
espace disponible |
35 mm |
|
Disposition de la plaque électrode |
Plaque d'électrode horizontale |
|
plateau de travail |
Un ensemble est standard, et le matériau est optionnel (aluminium, treillis en acier) |
|
Espace de travail |
8 étages |
|
Gaz de processus |
||
Plage de débit |
0~300SCCM |
|
circuit de gaz de process |
Equipé de trois gaz O2, Ar, N2 |
|
Système de contrôle |
||
Contrôle du système |
Contrôle par PC |
|
mode interactif |
Interface Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved