Hôte plasma sous vide(200) |
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Taille de l'équipement |
1050×1700×1050mm (largeur, hauteur et profondeur) |
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poids |
800Kg |
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demande de puissance |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
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Spécifications du générateur de plasma |
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alimentation secteur |
radiofréquence |
IF |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
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Fréquence de puissance |
13.56MHz |
40 KHz |
Système de vide |
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Pompe à vide |
Pompe unipolaire Feiyue VSV100 + pompe à deux racines BSJ70 |
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ligne de vide |
Tous les tuyaux en acier inoxydable et soufflets à vide haute résistance |
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Matériel |
Alliage d'aluminium |
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épaisseur |
25mm |
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étanchéité |
Joint soudé de qualité militaire |
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Dimensions internes de la cavité |
600 × 600 × 600 mm (L × H × P) |
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Taille efficace de la plaque d'électrode |
472 X 451 mm (L × P) |
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espace disponible |
35mm |
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Disposition des plaques d'électrodes |
Plaque d'électrode horizontale |
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plateau de travail |
Un ensemble est standard et le matériau est facultatif (aluminium, treillis en acier) |
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Espace de travail |
Étages 8 |
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Gaz de procédé |
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Plage de débit |
0~300SCCM |
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Circuit de gaz de procédé |
Equipé de gaz à trois voies O2, Ar, N2 |
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Système de contrôle |
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controle du système |
contrôle de PC |
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mode interactif |
Interface Windows |
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