Hôte de plasma sous vide (200) |
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Taille de l'équipement |
1050×1700×1050mm (largeur, hauteur et profondeur) |
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poids |
800KG |
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puissance demandée |
AC380V, 50/60Hz, 5 fils, 30A |
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Spécifications du générateur de plasma |
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alimentation électrique |
radio Fréquence |
Si |
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0~1000W |
0-2000W |
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Fréquence de puissance |
13,56 MHz |
40 KHz |
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Système de vide |
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pompe à vide |
Pompe unipolaire Feiyue VSV100 + deux pompes racines BSJ70 |
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ligne de vide |
Tous les tubes en acier inoxydable et soufflets à vide haute résistance |
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matériau |
Alliage d'aluminium |
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épaisseur |
25mm |
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étanchéité |
Scellé soudé de grade militaire |
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Dimensions internes du volume |
600×600×600mm (L×H×P) |
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Dimension effective de la plaque électrode |
472 X 451mm (L×P) |
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espace disponible |
35 mm |
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Disposition de la plaque électrode |
Plaque d'électrode horizontale |
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plateau de travail |
Un ensemble est standard, et le matériau est optionnel (aluminium, treillis en acier) |
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Espace de travail |
8 étages |
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Gaz de processus |
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Plage de débit |
0~300SCCM |
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Circuit de gaz de process |
Equipé de trois gaz O2, Ar, N2 |
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Système de contrôle |
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contrôle du système |
Contrôle par PC |
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mode interactif |
Interface Windows |
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