Unité hôte plasma sous vide (60)
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Taille de l'équipement
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L 950×L 900×H 1650mm
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poids
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350Kg
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Alimentation électrique à la demande
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AC380V, 50 / 60Hz, 5 lignes, 16A (type ouvert total au-dessus de C)
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Spécification du générateur de plasma
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power
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radiofréquence
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fréquence intermédiaire
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0 ~ 600W
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0-1000W
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fréquence d'alimentation
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13.56MHz
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40 kHz
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Système de vide
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Pompe à vide
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Pompe rotative double étage (pompe à huile) : 40m3/h
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canalisation sous vide
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Ligne entièrement en acier inoxydable, ainsi que soufflets à vide haute résistance
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qualité matérielle
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Alliage d'aluminium (cavité en acier inoxydable personnalisable)
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épaisseur
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25mm
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étanchéité
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Joint de soudure de qualité militaire
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Dimensions intérieures de la cavité
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375*375*430mm (largeur* haute * profondeur)
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Taille efficace de la plaque électrique
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247*281mm (largeur* profondeur)
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Espacement disponible
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22mm
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Disposition de galvanoplastie
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Disposition horizontale, peut être une extraction active
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plateaux
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Ensemble standard, matériau en option (aluminium, treillis métallique)
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espace de travail
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couche 6
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gaz de procédé
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Plage de débit
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0~300SCCM
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Voie du gaz de procédé
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Standard avec deux manières, peut être personnalisé. Le gazoduc de procédé est en ferrofllon
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Navarre
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SC
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PLC
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mode interactif
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Écran tactile de 7 pouces
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