Unité d'hôte plasma (60) |
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Taille de l'équipement |
L 950×l 900×H 1650 mm |
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poids |
350KG |
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Alimentation électrique requise |
AC380V, 50/60Hz, 5 fils, 16A (type ouvert total au-dessus de C) |
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Spécification du générateur plasma |
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puissance |
radio Fréquence |
fréquence intermédiaire |
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0~600W |
0-1000W |
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fréquence d'alimentation |
13,56 MHz |
40 K Hz |
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Système de vide |
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pompe à vide |
Pompe rotative à deux étages (pompe à huile) : 40m3/h |
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conduite sous vide |
Ligne entièrement en acier inoxydable, ainsi que des flexibles à vide de haute résistance |
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la qualité des matériaux |
Alliage d'aluminium (cavité en acier inoxydable personnalisable) |
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épaisseur |
25mm |
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étanchéité |
Joint de soudage de qualité militaire |
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Dimensions intérieures de la cavité |
375*375*430mm (largeur * hauteur * profondeur) |
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Dimensions effectives de la plaque électrique |
247*281mm (largeur * profondeur) |
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Espace disponible espacement |
22 mm |
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Disposition électroplaque |
Mise en page horizontale, peut être extraction active |
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plateaux |
Ensemble standard, matériau optionnel (aluminium, treillis en fil d'acier) |
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espace de travail |
6 Couche |
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gaz de processus |
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Plage de débit |
0~300SCCM |
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Circuit du gaz de procédé |
Standard avec deux voies, peut être personnalisé. Le pipeline du gaz de procédé est en ferrofllon |
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navar |
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SC |
PLC |
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mode interactif |
écran tactile de 7 pouces |
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