MDHS-AL8 Machine de lithographie automatique simple face de 8" , China MDHS-AL8 Machine de lithographie automatique simple face de 8" Manufacturers, Suppliers, Factory

Description du produit

MDHS-AL8 Machine de lithographie automatique simple face de 8"

1. Mode de fonctionnement : Le robot de chargement charge automatiquement les galettes depuis la boîte de galettes A-B (réutilisable) vers la table de pré-positionnement

établi de travail, et grâce à l'ajustement du positionneur de wafer caméra et du système de rotation automatique, le pré-positionnement du wafer est réalisé ; Le robot de chargement charge ensuite les wafers pré-positionnés sur l'établi d'alignement. Grâce à la reconnaissance d'image par ordinateur et à l'ajustement du système d'alignement automatique, l'alignement automatique des graphiques sur le masque et les wafers peut être réalisé. Il est également possible de réaliser une exposition sans aligner les graphiques. Après une exposition automatique par le système de sur-exposition, le robot de déchargement place automatiquement les wafers dans la boîte de wafers C-D (réutilisable).
2. Zone d'exposition : 160 × 160 mm ;
3. Inhomogénéité de l'éclairage d'exposition : ≤ 3 % ;
4. Intensité d'exposition : 0~≥ 40 mW/cm² ajustable (angle du faisceau 2 °) ;
5. Angle du faisceau UV : ≤ 3 ° ;
6. Longueur d'onde centrale de la lumière ultraviolette : 365 nm ;
7. Durée de vie de la source lumineuse UV : ≥ 20000 heures ;
8. Capacité de séparation : 0~≥ 1000 µm ajustable ;
9. Précision d'alignement : ≤ ± 1,5 µm ;
10. Précision d'exposition : exposition par contact ± 1 μm. Séparation de l'exposition proche de 20 μm, angle du faisceau 2 ° ≤ ± 2 μm
11. Méthodes d'exposition : contact dur, contact souple et exposition proche;
12. Mode d'exposition : il est possible de choisir entre une exposition en une seule fois ou une exposition décalée
13. Système de reconnaissance d'image et de pré-positionnement automatique (y compris la table de pré-positionnement) : angle de rotation Q ≥ ± 180 °, précision de rotation Q ≤ 0,01 °;
14. Système de reconnaissance d'image et d'alignement automatique (y compris la table d'alignement UVW) : plage d'alignement X Y ≥ ± 5 mm, angle de rotation Q ≥ ± 3 °, et les deux objectifs du microscope sont contrôlés par deux plates-formes électriques XYZ.
15. Taille du masque : 5 " × 5 " et 7" × 7 ";
16. Taille de la wafer : 4 " et 6";
17. Postes de travail des boîtes de film supérieure et inférieure : double poste de travail;
18. Coussinets antivibratoires à air
19. Bras robotisé à double bras pour le chargement et le déchargement : Z ≥ 350 mm, R135 mm;
20. Nombre de galettes dans la boîte à galettes : déterminé en fonction du nombre de galettes dans la boîte à galettes du client ;
21. Soulèvement de la table de positionnement : Z ≥ ± 25mm ;
22. Horodatage d'exposition : ajustable de 0 à 999,9 secondes ;
23. Rythme de production : >120 pièces par heure ;
24. Alimentation électrique : monophasée AC220V 50Hz, consommation ≤ 3KW ;
25. Pression d'air propre : ≥ 0,4MPa ;
26. Degré de vide : -0,07MPa~-0,09MPa ;
27. Dimensions : 1400 * 1000 * 2100mm ;
28. Poids : Environ 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Cette machine se compose d'une tête d'exposition ultraviolette LED, d'un système de reconnaissance d'image et de rotation automatique, d'une table de travail pré-positionnée, ainsi que de systèmes de reconnaissance d'image et d'alignement automatique, de tables d'alignement, de robots de chargement, de robots de déchargement, de racks, et d'équipements de contrôle électrique, composés d'accessoires de rechange, etc.

Spécification

1. Tête d'exposition : Une tête d'exposition ultraviolette LED (365 nm) ;
2. Table de reconnaissance d'image et de pré-alignement :
1) 1 caméra (1,3 million de pixels)
2) Fixation centrale pour positionnement
3) 1 plateau tournant (utilisant un moteur servo)
4) 1 système de positionnement
3. Système de reconnaissance d'image et d'alignement automatique :
1) 2 caméras (5 millions de pixels avec haut débit)
2) 2 objectifs (objectif haute définition 4x)
3) Un ordinateur industriel
4) Un contrôleur (contrôlé par PLC)
5) Une série de plateforme d'alignement (utilisant un moteur pas à pas à 5 phases)
6) Une série de système de mouvement
7) L'appareil de la plaque supérieure utilise un moteur pour la montée et la descente
7) Le logiciel utilise la dernière version de LabVIEW Professional Edition
4. Bras mécanique de chargement et déchargement :
1) X Y. Une série de mécanismes de mouvement automatique Z
2) Bras robotisé double bras (bras de chargement et déchargement)
5. Mécanisme de fixation du boîtier de wafer :
1) AB est le positionnement fixe de la boîte de film d'alimentation
2) CD est la position fixe du boîtier de film de découpe
3) G est la position fixe du boîtier de film de la position NG
6. Plateforme fixe de la caméra :
7. Deux ensembles de mécanismes d'ajustement électrique Y.Z (contrôlés par des moteurs servo)
8. Rayonnage et console de contrôle électrique :
1) 1 ordinateur industriel
2) Un ensemble de PLC ;
3) Un ensemble de vannes électromagnétiques et système de contrôle
4) Un ensemble d'instruments pneumatiques numériques
5) Une console de contrôle
8. Pièces détachées supplémentaires :
1) Trachéale : 15 mètres
2) 2 vannes électromagnétiques
3) Pompe à vide : 1 unité
9. Données techniques :
1) Un manuel d'utilisation
2) Un certificat de conformité
10. Supplémentaire
Le logiciel de l'équipement doit être équipé du protocole de communication SECS, et l'acheteur fournit une bibliothèque dynamique avec la fonction de connexion au système MES de l'acheteur, enregistrant automatiquement le numéro de lot du produit, le numéro de travail et l'état d'opération et les téléchargeant. En même temps, il dispose de la fonction de reconnaissance du code QR de la plaque masque, la comparant avec le code QR de la plaque masque du système MES et empêchant la prise de la mauvaise plaque masque.

Emballage et livraison