Machine de lithographie simple face entièrement automatique MDHS-AL8 8", Chine Machine de lithographie simple face entièrement automatique MDHS-AL8 8", fabricants, fournisseurs, usine

Déscription

MDHS-AL8 8" Machine de lithographie simple face entièrement automatique

1. Mode de fonctionnement : le robot de chargement charge automatiquement les plaquettes de la boîte à plaquettes AB (recyclable) jusqu'au pré-positionnement.

établi, et grâce au réglage de la plaquette de positionnement de la caméra et du système de rotation automatique, le pré-positionnement de la plaquette est obtenu ; Le robot de chargement charge ensuite les tranches prépositionnées sur l'établi d'alignement. Grâce à la reconnaissance d'images par ordinateur et à l'ajustement automatique du système d'alignement, l'alignement automatique des graphiques sur le masque et les plaquettes peut être obtenu. Il est également possible de réaliser une exposition sans aligner les graphiques. Après exposition automatique par le système de surexposition, le robot de déchargement place automatiquement les plaquettes dans la boîte à plaquettes CD (recyclable).
2. Zone d'exposition : 160 × 160 mm ;
3. Éclairement d'exposition inégal : ≤ 3 % ;
4. Intensité d'exposition : 0~≥ 40 mw/cm2 réglable (angle de faisceau 2 °) ;
5. Angle du faisceau UV : ≤ 3 ° ;
6. Longueur d'onde centrale de la lumière ultraviolette : 365 nm ;
7. Durée de vie de la source de lumière UV : ≥ 20000 XNUMX heures ;
8. Capacité de séparation : 0~≥ 1000um réglable ;
9. Précision d'alignement : ≤ ± 1.5 μM ;
10. Précision de l'exposition : exposition par contact ± 1 μm. Séparation d'exposition proche de 20 μ M angle de faisceau 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Méthodes d'exposition : contact dur, contact doux et exposition de proximité ;
12. Mode d'exposition : vous pouvez choisir entre une exposition unique ou une exposition décalée
13. Système de reconnaissance d'image de pré-positionnement et de rotation automatique (y compris l'établi de pré-positionnement) : angle de rotation Q ≥ ± 180 °, précision de rotation Q ≤ 0.01 ° ;
14. Système de reconnaissance d'image et d'alignement automatique (y compris l'établi d'alignement UVW) : plage d'alignement XY ≥ ± 5 mm, angle de rotation Q ≥ ± 3 ° et deux lentilles du microscope sont contrôlées par deux plates-formes électriques XYZ.
15. Taille du masque : 5" × 5" et 7" × 7" ;
16. Taille des plaquettes : 4" et 6" ;
17. Postes de travail supérieurs et inférieurs pour boîtes de film : postes de travail doubles ;
18. Coussin gonflable pour les pieds
19. Chargement et déchargement du bras robotique à double bras : Z ≥ 350 mm, R135 mm ;
20. Nombre de wafers dans la boîte à wafers : déterminé en fonction du nombre de wafers dans la boîte à wafers du client ;
21. Levage de la table de positionnement : Z ≥ ± 25 mm ;
22. Durée d'exposition : réglable de 0 à 999.9 secondes ;
23. Rythme de production :>120 pièces par heure ;
24. Alimentation : monophasé AC220V 50Hz, consommation électrique ≤ 3KW ;
25. Pression d'air propre : ≥ 0.4 MPa ;
26. Degré de vide : -0.07MPa~-0.09MPa ;
27. Taille : 1400 * 1000 * 2100 mm ;
28. Poids : Environ 400 kg

Fournisseur de machine de lithographie simple face entièrement automatique MDHS-AL8 8

Cette machine se compose d'une tête d'exposition aux ultraviolets à LED, d'un système de reconnaissance d'image et de rotation automatique, d'un établi prépositionné et d'un système de reconnaissance et d'alignement automatique d'images, d'établis d'alignement, de robots de chargement, de robots de déchargement, de racks et de contrôle électrique. , accessoires de rechange, etc.

Spécification

1. Tête d'exposition : Une tête d'exposition ultraviolette LED (365 nm) ;
2. Atelier de reconnaissance d'images et de pré-alignement :
1) 1 caméra (1.3 millions de pixels)
2) Dispositif de positionnement central
3) 1 jeu de plate-forme rotative (utilisant un servomoteur)
4) 1 jeu de système de positionnement
3. Système de reconnaissance d’images et d’alignement automatique :
1) 2 caméras (fréquence d'image élevée de 5 millions de pixels)
2) 2 objectifs (objectif haute définition 4x)
3) Un ordinateur industriel
4) Un contrôleur (contrôlé par PLC)
5) Un ensemble de plate-forme d'alignement (utilisant un moteur pas à pas à 5 phases)
6) Un ensemble de système sportif
7) Le dispositif de plaque supérieure adopte un moteur pour le levage et l'abaissement
7) Le logiciel adopte la dernière version de LabVIEW Professional Edition
4. Bras mécanique de chargement et de déchargement :
1) X Y. Un ensemble de mécanismes de déplacement automatique Z
2) Bras robotique à double bras (bras de chargement et de déchargement)
5. Mécanisme de fixation de la boîte à plaquettes :
1) AB est le positionnement fixe de la boîte de film d'alimentation
2) CD est le positionnement fixe de la boîte de film de découpe
3) G est le positionnement fixe de la boîte de film en position NG
6. Plate-forme fixe de caméra :
7. Deux ensembles de mécanismes de réglage électrique YZ (contrôlés par des servomoteurs)
8. Rack et console de commande électrique :
1) 1 ordinateur industriel
2) Un ensemble de PLC ;
3) Un ensemble d'électrovannes et un système de contrôle
4) Un ensemble d'instruments pneumatiques numériques
5) Un ensemble de console de commande
8. Pièces jointes de rechange :
1) Trachéal : 15 mètres
2) 2 électrovannes
3) Pompe à vide : 1 unité
9. Données techniques :
1) Un manuel d'utilisation
2) Un certificat de conformité
10. Supplémentaire
Le logiciel de l'équipement doit être équipé du protocole de communication SECS, et l'acheteur fournit une bibliothèque dynamique avec la fonction de connexion au système MES de l'acheteur, enregistrant automatiquement le numéro de lot du produit, le numéro de travail et l'état de fonctionnement et en les téléchargeant. En même temps, il a pour fonction d'identifier le code QR de la plaque de masque, de le comparer avec le code QR de la plaque de masque du système MES et d'empêcher la prise de la mauvaise plaque de masque.

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