Ce matériel est une machine de lithographie précise développée par notre entreprise spécifiquement pour les caractéristiques d'utilisation des machines de lithographie dans diverses universités et institutions de recherche. Elle est principalement utilisée pour le développement et la production de circuits intégrés de petite et moyenne taille, de composants semi-conducteurs, de dispositifs optoélectroniques et de dispositifs à ondes acoustiques de surface. Sous réserve de maintenir les principaux indicateurs techniques originaux de l'équipement, nous avons optimisé certaines structures et composants de l'équipement, réduit certaines actions mécaniques inutiles, et assuré que les points de panne de l'équipement soient minimisés autant que possible, tout en garantissant une opération très stable et fiable.
Spécification
Principaux Paramètres Techniques
1.Type d'exposition : simple face. 2.Zone d'exposition : 110×110 mm. 3.Inhomogénéité de l'éclairage d'exposition : ≤±3%. 4.Intensité d'exposition : réglable entre 0-30mw/cm2. 5.Angle du faisceau UV : ≤3°. 6.Longueur d'onde centrale de la lumière ultraviolette : 365 nm. 7.Durée de vie de la source lumineuse UV : ≥500 heures. 8.Utilisation d'un obturateur électronique. 9.Résolution d'exposition : 1 μm; 10.Plage de numérisation au microscope : X : ± 15 mm Y : ± 15 mm ; 11.Plage d'alignement : ajustement X, Y ± 4 mm ; ajustement en direction Q ± 3° ; 12.Précision d'usinage : 1 μ. La précision de la "version" et du "circuit intégré" de l'utilisateur doit respecter les réglementations nationales, et l'environnement, la température, l'humidité et la poussière peuvent être strictement contrôlés. Une photo-résine positive importée est utilisée, et l'épaisseur uniforme de la photo-résine peut être strictement contrôlée. De plus, les processus avant et arrière sont avancés ; 13.Quantité de séparation : réglable entre 0~50 μm ; 14.Méthode d'exposition : exposition rapprochée, qui peut réaliser l'exposition par contact dur, contact souple et contact micro-forcé ; 15.Formule de recherche carrée : air
Emballage et livraison
Profil de l'entreprise
Nous avons 16 ans d'expérience dans la vente d'équipements. Nous pouvons vous fournir une solution professionnelle clé en main pour les lignes d'emballage avant et arrière du secteur semi-conducteur en Chine.
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