1. Type d'exposition : exposition à simple face
2. Zone d'exposition : 110X110mm;
3. Uniformité d'exposition : ≥ 97 %;
4. Intensité d'exposition : ajustable de 0 à 30mw/cm2;
5. Angle du faisceau UV : ≤ 3 °
6. Longueur d'onde centrale des ultraviolets : 365nm;
7. Durée de vie de la source lumineuse UV : ≥ 20000 heures; (garantie de 2 ans)
8. Utilisation d'un obturateur électronique;
9. Résolution d'exposition : 1 μ M
10. Plage de vue de la caméra : ± 15mm Y : ± 15mm
11. Plage d'alignement : x : ± 4mm Y : ± 4mm Q : ±3°.
12. Précision d'alignement : 1um (sous réserve de bonnes conditions environnementales)
13. Plage de séparation ajustable : 0-50um.
14. Méthode d'exposition : exposition au contact (contact dur/doux/micro).
15. Méthode d'équilibrage : flottaison à l'air.
16. Système microscopique : système CCD à double champ de vision, objectif 1,6X~10X, système de traitement d'images par ordinateur, moniteur LCD de 19" ; Grossissement total 91-570x. Distance de l'objectif : 50-120mm.
17. Taille du masque : 127*127mm; 102*102mm
18. Taille du substrat : Φ102mm; Φ76mm
19. Épaisseur du substrat : ≤1mm
20. Temps d'exposition : réglable de 0 à 999,9 secondes.
21.Puissance : 220V 50Hz 1.5kw.
22.source d'air ? 0.4Mpa
23. Degré de vide : -0,07MPa~-0,09Mpa