Aligneur de masque de haute précision MDXN-25D4, Chine Aligneur de masque de haute précision MDXN-25D4 Fabricants, fournisseurs, usine

Déscription

Cet équipement est principalement utilisé pour le développement et la production de circuits intégrés de petite et moyenne taille, de composants semi-conducteurs et de dispositifs à ondes acoustiques de surface. En raison du mécanisme de nivellement avancé et de la faible force de nivellement, cette machine convient non seulement à l'exposition de divers types de substrats, mais également à l'exposition de substrats facilement fragmentés tels que l'arséniure de potassium et l'acier au phosphate, ainsi qu'à l'exposition de matériaux non substrats circulaires et petits.

Fabrication d'aligneurs de masques de haute précision MDXN-25D4

Spécification

Principaux paramètres techniques

1. Type d'exposition : exposition d'un seul côté
2. Zone d'exposition : 110X110mm ;
3. Uniformité de l'exposition : ≥ 97 % ;
4. Intensité d'exposition : 0-30 mw/cm2 réglable ;
5. Angle du faisceau UV : ≤ 3 °
6. Longueur d'onde centrale de la lumière ultraviolette : 365 nm ;
7. Durée de vie de la source de lumière UV : ≥ 20000 2 heures ; (garantie XNUMX ans)
8. Adopter un obturateur électronique ;
9. Résolution d'exposition : 1 μM
10. Plage de vue Camara : ± 15 mm Y : ± 15 mm
11. Plage d'alignement : x : ± 4 mm Y : ± 4 mm Q：±3°.
12. Précision d'alignement : 1 um (dans de bonnes conditions environnementales)
13. Plage de distance de séparation : 0-50 um réglable.
14. Méthode d'exposition : exposition par contact. (dur/doux/micro touch).
15.Méthode d’équilibre : Flottation à l’air.
16. Système microscopique : système CCD à double champ de vision, objectif 1.6X ~ 10X, système de traitement d'image par ordinateur, moniteur LCD 19 " ; grossissement total 91-570x. Distance de l'objectif : 50-120 mm.
17. Taille du masque : 127*127 mm ; 102*102 mm
18. Taille du substrat : Φ102 mm ；Φ76 mm
19. Épaisseur du substrat : ≤1 mm
20. Temps d'exposition : 0 à 999.9 secondes réglable.
21.Puissance : 220 V 50 Hz 1.5 kW.
22. source d'air ? 0.4 MPa
23. Degré de vide : -0.07 MPa ~ -0.09 MPa.

Emballage & livraison

Détails de l'aligneur de masque de haute précision MDXN-25D4

Usine d'alignement de masque de haute précision MDXN-25D4

À propos de nous

Nous avons 16 ans d'expérience dans la vente d'équipements. Nous pouvons vous fournir une solution professionnelle unique d’équipements de ligne de paquets de semi-conducteurs front-end et back-end en provenance de Chine.