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  • Aligneur de masque haute précision MDXN-25D4
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Aligneur de masque haute précision MDXN-25D4

Description du produit
Cet équipement est principalement utilisé pour le développement et la production de circuits intégrés de petite et moyenne taille, de composants électroniques et de dispositifs à ondes acoustiques de surface. En raison du mécanisme de nivellement avancé et de la faible force de nivellement, cette machine convient non seulement à l'exposition de divers types de substrats, mais aussi à l'exposition de substrats fragiles tels que l'arsénide de potassium et l'acier phosphate, ainsi qu'à l'exposition de substrats non circulaires et petits.
MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner manufacture
Spécification

Principaux Paramètres Techniques

1. Type d'exposition : exposition à simple face
2. Zone d'exposition : 110X110mm;
3. Uniformité d'exposition : ≥ 97 %;
4. Intensité d'exposition : ajustable de 0 à 30mw/cm2;
5. Angle du faisceau UV : ≤ 3 °
6. Longueur d'onde centrale des ultraviolets : 365nm;
7. Durée de vie de la source lumineuse UV : ≥ 20000 heures; (garantie de 2 ans)
8. Utilisation d'un obturateur électronique;
9. Résolution d'exposition : 1 μ M
10. Plage de vue de la caméra : ± 15mm Y : ± 15mm
11. Plage d'alignement : x : ± 4mm Y : ± 4mm Q : ±3°.
12. Précision d'alignement : 1um (sous réserve de bonnes conditions environnementales)
13. Plage de séparation ajustable : 0-50um.
14. Méthode d'exposition : exposition au contact (contact dur/doux/micro).
15. Méthode d'équilibrage : flottaison à l'air.
16. Système microscopique : système CCD à double champ de vision, objectif 1,6X~10X, système de traitement d'images par ordinateur, moniteur LCD de 19" ; Grossissement total 91-570x. Distance de l'objectif : 50-120mm.
17. Taille du masque : 127*127mm; 102*102mm
18. Taille du substrat : Φ102mm; Φ76mm
19. Épaisseur du substrat : ≤1mm
20. Temps d'exposition : réglable de 0 à 999,9 secondes.
21.Puissance : 220V 50Hz 1.5kw.
22.source d'air ? 0.4Mpa
23. Degré de vide : -0,07MPa~-0,09Mpa
Emballage et livraison
MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner details
MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner factory
Profil de l'entreprise
Nous avons 16 ans d'expérience dans la vente d'équipements. Nous pouvons vous fournir une solution professionnelle clé en main pour les lignes d'emballage avant et arrière du secteur semi-conducteur en Chine.
MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner manufacture

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