1. Énergie requise pour l'équipement : alimentation principale : 220V, 50HZ, consommation électrique ≤1,5KW;
2. Equipé d'une pompe à vide avec une alimentation de 220V;
3. Dimensions et poids : Dimensions : 1200(longueur)×720(largeur)×1500(hauteur). Poids ≤170kg;
4. Placer le corps de la machine sur une table de travail dédiée;
5. Type d'exposition : type au contact, alignement des plaques, exposition double face;
6. Zone d'exposition : φ100mm;
7. Inhomogénéité d'exposition : ≤±3%;
8. Intensité d'exposition : ≥5mw/cm2;
9.Résolution d'exposition : 2μm ;
10.Mode d'exposition : Exposition simultanée des deux côtés ;
11.Plage d'alignement : X : ±5mm Y : ±5mm ;
12.Précision de gravure : 2μm ;
13.Plage de rotation : Ajustement de rotation en direction Q ≤ ±5° ;
14.Système microscopique : Système CCD à double champ de vision, objectif 1,6X~10X, système de traitement d'images par ordinateur, écran LCD de 19" ;
15.Taille du masque : Capable d'adsorption par vide