1. Énergie requise pour l'équipement : Alimentation de l'ordinateur central : 220 V, 50 Hz, consommation électrique ≤ 1.5 kW ;
2. Équipé d'une pompe à vide avec une alimentation de 220 V ;
3. Taille et poids : taille : 1200 (longueur) × 720 (largeur) × 1500 (haut). Poids ≤170 kg ;
4.Placez le corps de la machine sur un établi dédié ;
5. Type d'exposition : type de contact, alignement des plaques, exposition double face ;
Zone 6.Exposure : φ100mm ;
7. Exposition inégale : ≤ ± 3 % ;
8. Intensité d'exposition : ≥5 mw/cm2 ;
9. Résolution d'exposition : 2 μm ;
10. Mode d'exposition : exposition simultanée double face ;
11. Plage d'alignement : X : ± 5 mm Y : ± 5 mm ;
12. Précision de gravure : 2 μm ;
13. Plage de rotation : réglage de la rotation dans la direction Q ≤ ± 5 ° ;
14. Système microscopique : système CCD à double champ de vision, objectif 1.6X ~ 10X, système de traitement d'image par ordinateur, moniteur LCD 19 " ;
15. Taille du masque : capable d’adsorption sous vide