Modèle | MDAM-CMP100 | MDAM-CMP150 | |
Taille de la plaquette | 4 pouces et moins | 6 pouces et moins | |
Diamètre de la plaque de travail | 420mm | 420mm | |
Station | ≤ 4 | ≤ 2 | |
Port d'alimentation | ≤ 3 | ||
Source d'alimentation | 220 V, 10 A | ||
Timing | 0-10h | ||
température ambiante | 20 ℃ ~ 35 ℃ | ||
Vitesse de la plaque | X | ||
Taux de fixation | X |
Composant du système de fixation d'échantillons | Pince, bras à rouleau |
Assemblage du processus de rodage | Plaque de rodage, bloc de réparation de plaque et cylindre |
Assemblage du processus de polissage | Système d'alimentation en liquide de polissage et plaque de polissage |
Composant de détection | Plateforme de test de référence, testeur de planéité, manomètre de test de pression |
Ensemble de matériaux de rodage et de polissage de plaquettes | Poudre de rodage, solution de polissage, chiffon de polissage, cire, liquide de décirage, feuille de substrat en verre |
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