Produit | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
Taille du produit | ≤6 pouces | ≤8 pouces | ≤8 pouces | ||
Source d'alimentation RF | 0-300W/500W/1000W Réglable, correspondance automatique | ||||
Pompe moléculaire | -/620(L/s)/1300(L/s)/Personnalisé | Antiseptique620(L/s)/1300(L/s)/Personnalisé | |||
Pompe primaire | Pompe mécanique/pompe sèche | Pompe sèche | |||
Pression process | Pression non contrôlée/pression contrôlée 0-1Torr | ||||
Type de gaz | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Personnalisé (Jusqu'à 9 canaux, pas de gaz corrosif et toxique) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Fourneau à gaz | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
Verrouillage de charge | Oui Non | Oui | |||
Exemple de contrôle de tem | 10°C~Température ambiante/-30°C~100°C/Personnalisé | -30°C~100°C /Personnalisé | |||
Refroidissement arrière à l'hélium | Oui Non | Oui | |||
Revêtement de cavité de processus | Oui Non | Oui | |||
Contrôle du tem des murs creux | Non/Pièce~60/120°C | Température ambiante-60/120°C | |||
Système de contrôle | Automatique/personnalisé | ||||
Matériel de gravure | À base de silicium : Si/SiO2/SiNx. IV-IV : SiC Matériaux magnétiques/matériaux en alliage Matériau métallique : Ni/Cr/Al/Au. Matière organique : PR/PMMA/HDMS/Film organique. | À base de silicium : Si/SiO2/SiNx. III-V (注3) : InP/GaAs/GaN. IV-IV : SiC II-VI (注3) : CdTe. Matériaux magnétiques/matériaux en alliage Matériau métallique : Ni/Cr/A1/Au. Matière organique : PR/PMMA/HDMS/film organique. |
Convient aux appareils à micro-ondes, aux appareils électriques, etc.
La machine de gravure ionique réactive (RIE) Minder-High-tech est une technologie de pointe capable de graver et d'analyser divers types de matériaux avec une précision incroyable. Cette machine est conçue pour être utilisée dans diverses industries où la microfabrication ou la gravure est régulièrement requise. Il est fabriqué à partir de matériaux de haute qualité qui le rendent durable, fiable et capable de produire d'excellents résultats.
Equipé d'un générateur de plasma RF est efficace. Le système RIE utilise un couplage inductif pour produire du plasma à partir de l'essence d'alimentation. Cette technique crée un plasma de haute densité qui augmente le taux de gravure associé au produit. Le processus de gravure de la machine RIE est efficace, précis et hautement contrôlable, permettant d'atteindre une profondeur spécifique. Cette fonctionnalité est unique et constitue un excellent choix pour les travaux de recherche ou industriels.
La machine a une large gamme de produits, notamment la microélectronique, la fabrication de MEMS et la fabrication de semi-conducteurs. Cette machine joue un rôle important dans la gravure et le micro-usinage de matériaux semi-conducteurs comme le silicium, l'arséniure de gallium et le germanium dans l'industrie des semi-conducteurs. Le dispositif Minder-High-tech RIE a également été établi dans l'industrie MEMS pour la fabrication de matériaux souples et durs comme le polyimide, le dioxyde de silicium et le nitrure de silicium. De plus, il est accessible pour l’analyse des défaillances dans les industries associées aux services et produits électroniques.
Comprend des fonctionnalités diverses qui le rendent facile à utiliser. Il s'agit d'un logiciel convivial qui offre à l'opérateur un contrôle complet sur les paramètres de gravure utilisés dans l'appareil. Les paramètres de la machine sont enregistrés dans sa mémoire interne, elle peut stocker plus de 100 ensembles de paramètres. L'écran tactile permet à l'opérateur de définir des paramètres tels que le mouvement du gaz, l'épaisseur de la puissance et la pression. La machine Minder-High-tech RIE dispose également d'une fonction de contrôle de la température qui garantit que les matériaux sont gravés à la bonne température et évite de les endommager.
Parfait pour les entreprises qui ont besoin d'une machine fiable et efficace, capable de fournir des résultats précis et précis. Cet appareil a été conçu avec une technologie de premier ordre et un niveau est très élevé. Sa polyvalence et ses fonctionnalités conviviales en font un choix idéal pour les applications de recherche et industrielles dans différents secteurs.
Il dispose également d'un système efficace d'analyse des pannes qui permet à la machine de détecter et de corriger tout problème mécanique dans les plus brefs délais. Ce système garantit que la machine RIE maintient une qualité et une fiabilité élevées tout au long de son cycle de vie. Pour toute industrie nécessitant une gravure ou une microfabrication précise et efficace, la machine Minder-High-tech RIE est la solution parfaite.
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