Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

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  • Système de gravure par ions réactifs (RIE), analyse des défaillances de la machine RIE
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Système de gravure par ions réactifs (RIE), analyse des défaillances de la machine RIE

Description du produit
Système d'étchage par ions réactifs
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis supplier
Application
Couche de passivation : SiO2, SiNx
Silicium arrière
Couche adhésive : TaN
Trou à travers : W
Caractéristique
1. Étchage de la couche de passivation avec ou sans trous;
2. Gravure de la couche adhésive ;
3. Gravure au silicium arrière
Spécification
Configuration du projet et schéma de la structure de la machine
Article
MD150-RIE
MD200-RIE
MD200C-RIE


Taille du produit
≤6 pouces
≤8 pouces
≤8 pouces


Source de puissance RF
0-300W/500W/1000W Réglable, mise en correspondance automatique


Pompe moléculaire
-620(L/s)/1300(L/s)/Personnalisé

Antiseptique620(L/s)/1300(L/s)/Personnalisé

Pompe Foreline
Pompe mécanique/pompe sèche

Pompe sèche

Pression de processus
Pression non contrôlée/0-1Torr pression contrôlée


Type de gaz
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/
CHF3/C4F8/NF3/Personnalisé
(Jusqu'à 9 canaux, sans gaz corrosif et toxique)

H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Jusqu'à 9 canaux)

gamme de gaz
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/personnalisé


ChargeVerrou
Oui/Non

Oui

Contrôle de la température de l'échantillon
10°C~Température ambiante/-30°C~100°C/Personnalisé

-30°C~100°C/Personnalisé

Refroidissement à l'hélium arrière
Oui/Non

Oui

Doublure de cavité de processus
Oui/Non

Oui

Contrôle de la température des parois de la cavité
Non/Température ambiante~60/120°C

Température ambiante-60/120°C

Système de contrôle
Automatique/Personnalisé


Matériau d'usinage
À base de silicium : Si/SiO2/SiNx.
IV-IV : SiC
Matériaux magnétiques/alliages
Matériau métallique : Ni/Cr/Al/Au.
Matériau organique : PR/PMMA/HDMS/film organique.

À base de silicium : Si/SiO2/SiNx.
III-V (note 3) : InP/GaAs/GaN.
IV-IV : SiC
II-VI (note 3) : CdTe.
Matériaux magnétiques/alliages
Matériau métallique : Ni/Cr/Al/Au.
Matériau organique : PR/PMMA/HDMS/film organique.

1. Empêcher les copeaux de voler
2. Nœud minimal pouvant être traité : 14nm :
3. Taux d'échantillonnage SiO2/SiNx : 50~150 nm/min;
4. Rugosité de la surface érodée : 5. Supporte la couche de passivation, la couche d'adhésion et l'érosion arrière du silicium;
6. Rapport de sélection Cu/Al : >50
7. Machine tout-en-un LxWxH : 1300mmX750mmX950mm
8. Supporte l'exécution en un clic
Résultat du processus

Échantillonnage de matériaux à base de silicium

Matériaux à base de silicium, motifs nano-imprimés, tableau
motifs et gravure de motif de lentille
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Gravure à température ambiante d'InP

Gravure de motifs de dispositifs à base d'InP utilisés en communication optique, y compris la structure de guide d'onde, la structure de cavité résonnante.
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis supplier

Gravure de matériaux SiC

Adapté aux dispositifs micro-ondes, dispositifs de puissance, etc.


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Projection physique, gravure de matériaux organiques

Il est appliqué à la gravure de matériaux difficiles à graver, tels que certains métaux (par exemple Ni/Cr) et céramiques, et le
gravage de motifs.
Il est utilisé pour la gravure et le retrait de composés organiques tels que la résine photosensible (PR)/PMMA/HDMS/polymère
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory
Affichage des résultats de l'analyse des défaillances
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DÉTAILS DU PRODUIT
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Emballage et livraison
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machine à souder
Profil de l'entreprise

La machine Minder-High-tech d'érosion par ions réactifs (RIE) est une technologie de pointe qui peut éroder et analyser différents types de matériaux avec une précision incroyable. Cette machine est conçue pour être utilisée dans diverses industries où la microfabrication ou l'érosion est régulièrement requise. Elle est fabriquée à partir de matériaux de haute qualité qui la rendent durable, fiable et capable de produire d'excellents résultats.

 

Equipée d'un générateur de plasma RF, elle est efficace. Le système RIE utilise un couplage inductif pour générer un plasma à partir du carburant d'alimentation. Cette technique crée un plasma de haute densité qui augmente le taux d'érosion associé au produit. Le processus d'érosion de la machine RIE est efficace, précis et très contrôlable, permettant d'atteindre une profondeur spécifique. Cette caractéristique en fait un excellent choix pour les travaux de recherche ou industriels.

 

La machine a une gamme d'applications large, incluant la microélectronique, la fabrication de MEMS et la fabrication de semi-conducteurs. Cette machine joue un rôle important dans l'usinage et le gravage de matériaux semi-conducteurs tels que le silicium, l'arséniure de gallium et le germanium dans l'industrie des semi-conducteurs. L'appareil RIE Minder-High-tech a également été établi dans l'industrie des MEMS pour fabriquer des matériaux mous et durs comme le polyimide, l'oxyde de silicium et le nitrure de silicium. De plus, elle est disponible pour l'analyse des défaillances dans les industries liées aux services et produits électroniques.

 

Inclut des fonctionnalités variées qui facilitent son utilisation. C'est un logiciel convivial qui offre à l'opérateur un contrôle total sur les paramètres d'usinage utilisés dans l'appareil. Les réglages de la machine sont enregistrés dans sa mémoire interne, pouvant stocker plus de 100 ensembles de paramètres. Elle est équipée d'un écran tactile qui permet à l'opérateur de régler des paramètres tels que le débit de gaz, l'intensité de puissance et la pression. La machine Minder-High-tech RIE dispose également d'une fonction de contrôle de température qui garantit que les matériaux sont gravés à la bonne température et évite tout dommage.

 

Parfaite pour les entreprises qui nécessitent une machine fiable et efficace capable de fournir des résultats précis et exacts. Cet appareil a été conçu avec une technologie de pointe et un niveau élevé. Sa polyvalence et ses fonctionnalités conviviales en font un très bon choix pour les applications de recherche et industrielles dans différents secteurs.

 

Il dispose également d'un système efficace d'analyse des pannes permettant à la machine de détecter et de corriger tout problème mécanique dès que possible. Ce système garantit que la machine RIE maintient une haute qualité et fiabilité tout au long de son cycle de vie. Pour toute industrie nécessitant un gravage ou une microfabrication précis et efficace, la machine RIE Minder-High-tech est la solution idéale.


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