Article |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
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Taille du produit |
≤6 pouces |
≤8 pouces |
≤8 pouces |
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Source de puissance RF |
0-300W/500W/1000W Réglable, mise en correspondance automatique |
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Pompe moléculaire |
-620(L/s)/1300(L/s)/Personnalisé |
Antiseptique620(L/s)/1300(L/s)/Personnalisé |
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Pompe Foreline |
Pompe mécanique/pompe sèche |
Pompe sèche |
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Pression de processus |
Pression non contrôlée/0-1Torr pression contrôlée |
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Type de gaz |
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Personnalisé (Jusqu'à 9 canaux, sans gaz corrosif et toxique) |
H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Jusqu'à 9 canaux) |
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gamme de gaz |
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/personnalisé |
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ChargeVerrou |
Oui/Non |
Oui |
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Contrôle de la température de l'échantillon |
10°C~Température ambiante/-30°C~100°C/Personnalisé |
-30°C~100°C/Personnalisé |
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Refroidissement à l'hélium arrière |
Oui/Non |
Oui |
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Doublure de cavité de processus |
Oui/Non |
Oui |
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Contrôle de la température des parois de la cavité |
Non/Température ambiante~60/120°C |
Température ambiante-60/120°C |
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Système de contrôle |
Automatique/Personnalisé |
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Matériau d'usinage |
À base de silicium : Si/SiO2/SiNx. IV-IV : SiC Matériaux magnétiques/alliages Matériau métallique : Ni/Cr/Al/Au. Matériau organique : PR/PMMA/HDMS/film organique. |
À base de silicium : Si/SiO2/SiNx. III-V (note 3) : InP/GaAs/GaN. IV-IV : SiC II-VI (note 3) : CdTe. Matériaux magnétiques/alliages Matériau métallique : Ni/Cr/Al/Au. Matériau organique : PR/PMMA/HDMS/film organique. |
Adapté aux dispositifs micro-ondes, dispositifs de puissance, etc.
La machine Minder-High-tech d'érosion par ions réactifs (RIE) est une technologie de pointe qui peut éroder et analyser différents types de matériaux avec une précision incroyable. Cette machine est conçue pour être utilisée dans diverses industries où la microfabrication ou l'érosion est régulièrement requise. Elle est fabriquée à partir de matériaux de haute qualité qui la rendent durable, fiable et capable de produire d'excellents résultats.
Equipée d'un générateur de plasma RF, elle est efficace. Le système RIE utilise un couplage inductif pour générer un plasma à partir du carburant d'alimentation. Cette technique crée un plasma de haute densité qui augmente le taux d'érosion associé au produit. Le processus d'érosion de la machine RIE est efficace, précis et très contrôlable, permettant d'atteindre une profondeur spécifique. Cette caractéristique en fait un excellent choix pour les travaux de recherche ou industriels.
La machine a une gamme d'applications large, incluant la microélectronique, la fabrication de MEMS et la fabrication de semi-conducteurs. Cette machine joue un rôle important dans l'usinage et le gravage de matériaux semi-conducteurs tels que le silicium, l'arséniure de gallium et le germanium dans l'industrie des semi-conducteurs. L'appareil RIE Minder-High-tech a également été établi dans l'industrie des MEMS pour fabriquer des matériaux mous et durs comme le polyimide, l'oxyde de silicium et le nitrure de silicium. De plus, elle est disponible pour l'analyse des défaillances dans les industries liées aux services et produits électroniques.
Inclut des fonctionnalités variées qui facilitent son utilisation. C'est un logiciel convivial qui offre à l'opérateur un contrôle total sur les paramètres d'usinage utilisés dans l'appareil. Les réglages de la machine sont enregistrés dans sa mémoire interne, pouvant stocker plus de 100 ensembles de paramètres. Elle est équipée d'un écran tactile qui permet à l'opérateur de régler des paramètres tels que le débit de gaz, l'intensité de puissance et la pression. La machine Minder-High-tech RIE dispose également d'une fonction de contrôle de température qui garantit que les matériaux sont gravés à la bonne température et évite tout dommage.
Parfaite pour les entreprises qui nécessitent une machine fiable et efficace capable de fournir des résultats précis et exacts. Cet appareil a été conçu avec une technologie de pointe et un niveau élevé. Sa polyvalence et ses fonctionnalités conviviales en font un très bon choix pour les applications de recherche et industrielles dans différents secteurs.
Il dispose également d'un système efficace d'analyse des pannes permettant à la machine de détecter et de corriger tout problème mécanique dès que possible. Ce système garantit que la machine RIE maintient une haute qualité et fiabilité tout au long de son cycle de vie. Pour toute industrie nécessitant un gravage ou une microfabrication précis et efficace, la machine RIE Minder-High-tech est la solution idéale.
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