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  • Équipement RTP pour le traitement thermique rapide des semi-conducteurs composés SlC LED MEMS
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Équipement RTP pour le traitement thermique rapide des semi-conducteurs composés SlC LED MEMS

Description du produit

Traitement Thermique Rapide

Équipement RTP pour semi-conducteurs composés, SlC, LED et MEMS
* Croissance d'oxyde, de nitrure
* Alliage rapide des contacts ohmiques
* Recuit de l'alliage silicide
* Reflux d'oxydation
* Procédé à base d'arsénide de gallium
* Autres processus de traitement thermique rapide
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS factory
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS manufacture
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS manufacture
Caractéristique

RTP à double chambre entièrement automatique

* Compatible avec les GAUCHES de 6 à 8 pouces
* La température maximale peut atteindre 1250 °C
* Reproductibilité stable de la température
* Conception à double chambre entièrement automatique pour augmenter la capacité de production
* Uniformité du champ ultra-haut température
* Répond aux besoins du processus de production en série de SlC
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS manufacture
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS supplier

RTP semi-automatique

* Chauffage par lampe infrarouge au halogène, refroidissement à l'aide de refroidissement par air;
* Contrôle PID de la température pour la puissance de la lampe, qui peut contrôler précisément l'augmentation de température, garantissant une bonne reproductibilité et uniformité thermique;
* L'entrée du matériau est positionnée sur la surface du WAFER pour éviter la formation de points froids pendant le processus de recuit et garantir une bonne uniformité thermique du produit;
* Les méthodes de traitement à l'atmosphère et sous vide peuvent toutes deux être sélectionnées, avec un prétraitement et une purification du corps;
* Deux ensembles de gaz de processus sont standard et peuvent être étendus jusqu'à 6 ensembles de gaz de processus;
* La taille maximale d'un échantillon mesurable de silicium monocristallin est de 12 pouces (300x300 mm);
* Les trois mesures de sécurité, à savoir la protection d'ouverture à température sécurisée, la protection d'autorisation d'ouverture du contrôleur de température et la protection d'arrêt d'urgence de l'équipement, sont pleinement mises en œuvre pour garantir la sécurité de l'instrument;
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS supplier
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS details

Bureau RTP

* Chauffage par lampe infrarouge au halogène, refroidissement à l'aide de refroidissement par air;
* Contrôle PID de la température pour la puissance de la lampe, qui peut contrôler précisément l'augmentation de température, garantissant une bonne reproductibilité et uniformité thermique;
* L'entrée du matériau est positionnée sur la surface du WAFER pour éviter la formation de points froids pendant le processus de recuit et garantir une bonne uniformité thermique du produit;
* Les méthodes de traitement à l'atmosphère et sous vide peuvent toutes deux être sélectionnées, avec un prétraitement et une purification du corps;
* Deux ensembles de gaz de processus sont standard et peuvent être étendus jusqu'à 6 ensembles de gaz de processus;
* La taille maximale d'un échantillon mesurable de silicium monocristallin est de 12 pouces (300x300 mm);
* Les trois mesures de sécurité, à savoir la protection d'ouverture à température sécurisée, la protection d'autorisation d'ouverture du contrôleur de température et la protection d'arrêt d'urgence de l'équipement, sont pleinement mises en œuvre pour garantir la sécurité de l'instrument;
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS supplier
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Détails de l'Équipement
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS supplier
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Emballage et livraison
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS factory
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Profil de l'entreprise
Nous avons 16 ans d'expérience dans la vente d'équipements et pouvons vous fournir une solution complète pour une ligne d'emballage IC !
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS factory
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