Équipements industriels des semi-conducteurs MDLB-MC200 Nettoyeur de masque photo, Chine Équipements industriels des semi-conducteurs MDLB-MC200 Nettoyeur de masque photo Fabricants, fournisseurs, usine

MDLB-MC200

Nettoyant pour masque photographique

Unité de nettoyage :

La chambre de nettoyage est traitée avec des matériaux résistants à la corrosion, qui ont une surface lisse et sont faciles à nettoyer. Il y a un orifice d'évacuation des déchets au fond de la cavité intérieure, qui utilise la gravité pour permettre au liquide usé d'être évacué dans la canalisation d'évacuation des déchets de l'usine. Il y a un orifice d'aspiration à l'intérieur de la cavité, qui peut extraire en temps opportun l'atmosphère de la cavité. Équipé de 3 bras pivotants automatiques, il peut réaliser un nettoyage automatique.

Tableau des paramètres de configuration :

No.	Projet	Spécifications	Remarques
1	Aperçu de l'équipement	Nom de l'appareil : Nettoyeur de masques photographiques
		Modèle d'équipement : MDLB-MC200
		Dimensions hors tout (environ) : 1300 mm (L) x 1000 mm (P) x 1950 mm (H)
		Poids total de la machine (environ) : 300 kg
		Hauteur de la table d'opération : 900 ± 50 mm
		Spécifications de taille du substrat : convient aux plaques de masque carrées de 2/4/5/6/8 pouces
		Déroulement du processus : placement manuel des plaquettes → nettoyage (brosse, solution de nettoyage → eau haute pression → eau mégasonique → eau déionisée → séchage à l'azote gazeux) → retrait manuel des plaquettes
		Type d'équipement : semi-automatique, chargement et déchargement manuel
2	Fabrication d'équipements	Coque : acier inoxydable, lisse, résistante à la corrosion, facile à nettoyer
		Chambre de nettoyage : PP, lisse, résistante à la corrosion, facile à nettoyer
		Pipeline : le pipeline de correspondance PU/PFA est utilisé
		Eclairage de travail : éclairage lumière jaune anticorrosion
		Style d'ouverture de porte : Double porte avec fonction d'alarme d'ouverture de porte
		Écran tactile : écran tactile couleur de 10 pouces * 1
		FFU : Classe 100
		Support de fond anti-fuite : disponible
3	Servomoteur de haute précision	Quantité: 1
		Vitesse : -3000~3000 tr/min	Charge vide
		Accélération maximale de la rotation de la broche : 3000 tr/min/s	Charge vide
		Précision de la vitesse : ± 1 tr/min (50 tr/min ~ 3000 XNUMX tr/min)
		Résolution de vitesse : 1 tr/min
4	Bras oscillant automatique	Quantité: 3
4	Bras oscillant automatique	Vitesse du bras oscillant : 1~30 °/S
5	unité de nettoyage	Bras oscillant de nettoyage : 1 canal d'eau déionisée, 1 canal d'azote gazeux Bras mégasonique : 1 mégasonique, 1 eau haute pression Bras de brosse : 1 brosse, 1 eau, 1 solution nettoyante
		Méthode de nettoyage : nettoyage automatique
		Fonction d'aspiration d'eau déionisée : disponible
		Lavage à contre-courant (eau déionisée) : 1 voie
		Méthode d'alimentation : Solution de nettoyage : Pompe à membrane Eau déionisée : fournie directement par l'usine
		Réservoir sous pression avec détection de niveau de liquide
6	Brosse brosse	Quantité : 1 (avec fonction autonettoyante)
		Vitesse : jusqu'à 1000 tr/min, vitesse réglable
		Hauteur réglable manuellement
7	Plateau de chargement	Quantité: 5
		Matériau : PPS + acier inoxydable
		Taille : convient aux plaques de masque carrées de 2/4/5/6/8 pouces
		Méthode de fixation du substrat : Méthode de fixation par griffes
8	Système de contrôle	Système de contrôle : utilisant le contrôle PLC
		Programme : 100 groupes, chaque groupe étant composé de 100 étapes, avec un temps d'étape unique maximal de 3000.0 secondes Résolution : 0.1 S
		Le programme peut être enregistré, appelé, modifié et supprimé
		Définir les autorisations de chiffrement : pour les opérateurs d'appareils, les techniciens, les administrateurs et les fabricants respectivement
		Type de tour de signalisation : rouge, jaune, vert 3 couleurs