Projet |
Contenu |
Type de produit |
Plaquette de 6", 8", 12", emballage 2.5D/3D |
Inspection 2D Articles |
Corps étrangers, résidus de colle, particules, rayures, fissures, contamination, écart CP, marques d'aiguille excessives, etc. |
Métrologie 2D |
Diamètre de bosse, coordonnées de marque d'aiguille, métrologie RDL et TSV, etc. |
Projet d'inspection 3D |
Hauteur de la bosse, coplanarité de la bosse |
Cassette et méthode de transmission |
8"SMIF, 12" FOUP ou combinaison |
Objectif et résolution |
2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um) |
La précision |
0.55 µm/pixel |
Optionnel et personnalisé |
OCR double face, module 3D, pris en charge par E84 |
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