Projet
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Contenu
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Type de produit
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Plaquette de 6", 8", 12", emballage 2.5D/3D
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Inspection 2D
Articles |
Corps étrangers, résidus de colle, particules, rayures, fissures, contamination, écart CP, marques d'aiguille excessives, etc.
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Métrologie 2D
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Diamètre de bosse, coordonnées de marque d'aiguille, métrologie RDL et TSV, etc.
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Projet d'inspection 3D
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Hauteur de la bosse, coplanarité de la bosse
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Cassette et méthode de transmission
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8"SMIF, 12" FOUP ou combinaison
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Objectif et résolution
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2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um)
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La précision
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0.55 µm/pixel
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Optionnel et personnalisé
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OCR double face, module 3D, pris en charge par E84
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