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Déscription

PLASMA PAR LOTS Machine de retrait de photorésist de plaquette de semi-conducteur

La température de traitement est basse et peut maintenir le plasma sous haute pression
DESCUM Nettoyage des plaquettes Élimination humide de la résine photosensible Élimination des résidus de surface Élimination des résidus de photorésiste après exposition et développement
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Spécification
Source PLASMA
RF
micro-onde
Puissance
1000w
1250w
Portée applicable
4 ~ 8 pouces
4~8 heures
Nombre de tranches de traitement unique
4 ~ 6 pouces = 50 pièces/8 pouces = 25 pièces
4 ~ 6 pouces = 50 pièces/8 pouces = 25 pièces
Dimensions d'apparence
1250x1630x1900mm
1250x1630x1900mm
Controle du système
PC
PC
Niveau d'automatisation
Voiture
Voiture
Usine de chars
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Détails du produit
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Emballage & livraison
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À propos de nous
16 ans d'expérience dans l'exportation d'équipements! Nous pouvons vous fournir une solution unique pour les processus et équipements frontaux/back-end des semi-conducteurs !
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