Hôte de plasma sous vide |
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Taille de l'équipement |
1230X1800X1100mm (largeur x hauteur x profondeur) |
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Poids |
450Kg |
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Demande d'énergie |
AC380V, 50/60Hz, 5 fils, 30A |
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Spécifications du générateur de plasma |
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Alimentation en puissance micro-ondes |
Puissance |
0~1250W |
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Fréquence |
2,45GHz |
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Système de vide |
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Matériau |
Alliage d'aluminium (chambre en acier inoxydable personnalisable) |
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Épaisseur |
25mm |
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Dimensions intérieures de la cavité |
480mmX470mmX480mm |
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Espaces de travail |
6 sections de magazine |
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ECR |
Le magazine à fentes offre un effet de traitement amélioré pour l'ECR |
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Capacité plasma |
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Capacité de traitement |
pas de 35 µm bump de 40 μm taille maximale du dé diode : 15x15 mm |
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