Paramètre technique |
Mode de mesure |
PSI/VSI/super champ de profondeur/lumière rasante |
Champ de vision unique pour la mesure (objectif 20×) |
500*350μm (assemblage automatique) |
|
Ajustement de l'angle |
±12° manuel |
|
Ajustement de l'axe Z |
20mm électrique + 50mm manuel (mécanisme de réglage grossier et fin) |
|
Plage de balayage longitudinale |
0 à 10 mm |
|
Résolution longitudinale |
<0,2nm |
|
Répétabilité de la mesure de rugosité longitudinale |
0,01nm (mode PSI) |
|
erreur d'indication de la hauteur d'étape mesure |
<0,75% (mode VSI) |
|
Résolution latérale : @550nm |
0,69μm (objectif 20×) |
|
Réflectivité mesurable de l'échantillon |
0,1%-100% |
|
Temps de mesure |
<5s (mode PSI) |
|
Fonction d'analyse |
Fonction d'analyse |
mesure de hauteur 3D, analyse de rugosité 3D, mesure dimensionnelle 2D |
sortie des données 3D |
données de nuage de points 3D, données d'image en niveaux de gris, rapport personnalisé |
grossissement de l'objectif |
2.5X |
5x |
10X |
20x |
50x |
100x |
Aperture numérique |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
Résolution optique @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
Profondeur de champ (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
Distance de travail (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved