Paramètre technique | Mode de mesure | PSI/VSI/super profondeur de champ/champ clair |
Champ de vision de mesure unique (objectif 20×) | 500*350μm (couture automatique) | |
Réglage de l'angle | ±12° manuel | |
Réglage de l'axe Z | 20 mm électrique + 50 mm manuel (mécanisme de réglage grossier et fin) | |
Plage de balayage longitudinal | 0-10mm | |
Résolution longitudinale | <0.2 nm | |
Répétabilité de la mesure de la rugosité longitudinale | 0.01 nm (mode PSI) | |
erreur d'indication de la hauteur de la marche mesures | < 0.75 % (mode VSI) | |
Résolution latérale : @550 nm | 0.69 μm (objectif 20×) | |
Réflectivité mesurable de l'échantillon | 0.1%-100% | |
Temps de mesure | <5s (mode PSI) | |
Fonction d'analyse | Fonction d'analyse | Mesure de hauteur 3D, analyse de rugosité 3D, mesure de dimension 2D |
Sortie de données 3D | Données de nuage de points 3D, données d'image en niveaux de gris, rapport personnalisé |
Grossissement objectif | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
Ouverture numérique | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
Résolution optique à 550 nm (μm) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
Profondeur de champ (μm) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
Distance de travail (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
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