Éadóireacht íon reactivaíoch sounds like téarma dócha, ach tá sé i gcéin an modh a úsáideann na daoine chun píosaí beaga do thionscnamh ar theicneolaíocht isteach i bhruinnseálacha. Tá na píosaí beaga seo mar phríomhphlé agus gnéithe i gcás leathan scileanna a úsáidtear gach lá, mar shampla smaitfhónaí, ríomhaireanna etc. Is é an chuid is príomhriachtana de shraith an phrósais seo chun cuid den mháterial a bhaint chun go mbeifeadh tú in ann píosaí beaga agus cinnte a chruthú. Sa dtuairisc seo, bímid ag plé ar éadóireacht íon reactivaíoch — taobhanna dheacair agus maith den obair le RIE i gcomparáid le meathódanna eile don tréimhsí plasmachímiciúil; an ról atá ag an n-ghímíc plasme sa phrósais seo; conas is féidir leat toradh uasail a fheabhsú trí úsáid ceart d'fheabhsan RIE, agus cúige sin amach cad é an áit a ndéantar aon obair mar cheangal teicniúil.
Is éagsúla an chéim atá ag baint le hionannachadh ion reactiv. Tá sé inrochtana le linn iomlán agus gás a úsáid chun cuid den mhaireachtál a bhaint amach. Cuir ar do n-aghaidh go bhfuil sé mar shpré mhórchumasach a bhogann an maireachtál go héifeachtúil chun cruth uirlisíoch a chruthú. Tá na hiomláin seo á thabhairt isteach ar fheithiúnas an máterial. Mar a thugann na n-ion ar an mbhuinne, tuigrionn siad lena chéile agus briseann síos i gcuid beaga atá ábhar do bheith á bhaint amach. Cuirtear an máteriál isteach i scagán atá dírithe go hiomlán agus gan aer, a dtugtar 'camara fhoirfe' air. Cruthaítear na páirticil beaga seo le húsáid fuaime ráidió, nuair a chruthaíonn siad na n-ion.
Is ceann de na n-éagsúl is fearr é an leiceáil íon reactiva nuair a bhaineann sé le sonraí. Is é sin go dtiocfaidh sé le feachtaí uaschásaithe agus fochomharrtha a chruthú, ach déanfar é sin le gás in ionad uisce. Eiseacht léi sin go bhfuil na codanna atá cruthaithe leis an mbeart seo chun úsáide ar fad sa teicneolaíocht [1]. Mar sin féin, is éard é seo i gcónaí iad lena n-árán is luaithe; is féidir tuilleadh ábhar a chruthú faoi láthair. Ó thaighde go raibh an beart seo chomh luath, is féidir é a bheith cinnte don chuideachta a bhfuil acu airgead mórchuid ábhair.
Ach tá difríochtaí fosta ag leiceáil íon reactiva. Ní héalta é do gach cineál ábhar mar nach féidir cuid acu a chur i gcás leasa láser. Agus caithfidh sé téamplaí agus spriocphréas a bheith ar fáil faoi láthair. Caithfidh na fo-thionscnaimh chrua freisin a bheith ann nó ní dtabharfaidh an beart nua mar a thabharfaidh sé. An dara brabhsáil amháin é sin go bhfuil sé dearfach costasach a stiúradh i gcomparáid le bearta eile den sórt seo, a d'fhéadfadh rud a dhéanamh go mbeidh comhlachtaí éigin gan glacadh le cúram póid.
Tá áit mhór a leanas ag cheimicíocht plasmach san phróiseas d'fheabhsú íon reatcach. Cuirtear na n-íon seo ar fáil ag an plasma agus tosaíonn siad le bainistí ceimiciúla den chomhad a phrósadh, a chuireann tús le hathruithe. Nuair a bristeann na n-anailís, éiríonn an chomhad i gcuid beaga go hiomlán agus ansin imeoidh siad lena chéile le sruth gase. Is féidir nach ndéanfaidh an gás atá i bhfeidhm ar an racht ceimiciúil a dhéantar é. Mar shampla, is féidir le gás de nitreán tabhairt ar athruithe glan a chuireann tús le hatachadh nóiméad gan a lágú ina n-athraithe neamhrialta; agus mar sin féin, is féidir le gás ocsaín tabhairt ar cineál eile d'athruithe atá cinnte faoi láthair.
Tá ríthriail chruinniúcháin faoi ghearrthosach chun toradh maith a bhaint as eitigh le hionsaí reactiv. Caithfidh sé sin a dhéanamh trí mhaireachtálacha móra a mhéadú, lena n-áirítear téamhrá, sprioc, siúl gaiscigh agus n-antrachta ion. Tabharfaidh timpeallacht staidiúil toradh conspóidíoch, tuillte i gcás an líne eite. Má nach bhfuil ceann de na hathrónaithe seo cinnte go hiomlán, d'fhéadfadh sé sin cúiseach a bheith ar an phroduct sheiceanta. Mar sin féin, tá éifeachtú an mhatéadála agus fiontraíocht coiriúil de réir riar roimh a dtosaigh leis an eitigh. Má thosaíonn gach uair os comhair fiontraíocht an mhatéadála a eiteoidh, d'fhéadfadh sé sin toradh níos fearr a thabhairt.
Sampla é cinnteacht íon reictíve a úsáidte go coitianta san eagraíocht mhicriofab chun píosaí lag leor a chruthú do ghnóthaí teicneolaíochta éagsúla. Is éard atá graféin úsáideach as ucht é sin i bhfoirgnimh ciorcal éilectreach lag leor, seansóirí agus uirlisí mhicrifeadha a chuirtear i gcás don teicneolaíocht láithiúil. Úsáidear é chomh maith i dtaighde micriscistéamacha electromecánacha (MEMS) atá i gceist le hiomlán beag a fhéadfadh an domhan a fheiceáil, a éisteáil, a n-ábhar agus rudanna a ghluaiseacht ar mheon amháin míol de chd. Úsáidtear na MEMS seo saor i rudaí éagsúla: ó uirlisí beaga cosúil le smárthrácht go uirlisí níos mó agus fiú eispéireacha leigheasa. Ar nós na n-iomláin seo, tá ról criticiúil ag cinnteacht íon reictíve mar is féidir leis feachtaí lag agus príobháideach a chruthú atá riachtanach don teicneolaíocht réadúil seo.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved