Is cosúil gur téarma scanrúil é eitseáil ian imoibríoch, ach is é an modh a úsáideann daoine chun píosaí beaga don teicneolaíocht a dhéanamh ina bpíosaí brunch-mhéid. Is príomh-chomhábhair iad na píosaí agus na píosaí beaga seo i raon leathan gléasanna a úsáidtear go laethúil ar nós fóin chliste, ríomhairí srl. Is í príomhfheidhm an phróisis seo ná codanna d’ábhar a bhaint ionas gur féidir leat píosaí bídeacha cruinne a chruthú. San Airteagal seo, táimid chun plé a dhéanamh ar cad is eitseáil ian imoibríoch ann — taobhanna dearfacha agus diúltacha oibriú le RIE i gcomparáid le modhanna eile le haghaidh cóireáil plasma-cheimiceach; ról na ceimice plasma sa phróiseas seo; conas is féidir leat torthaí ardchaighdeáin a bhaint amach trí threalamh RIE a úsáid i gceart, agus ar deireadh nuair a thógann sé a áit mar uirlis teicneolaíochta léamhcrh xvv.
Is modh casta é eitseáil ian imoibríoch a bhaineann le hiain bheaga agus gháis chun píosaí ábhair a shliseadh. Smaoinigh air mar spraeála ardchumhachta a phléascann go roghnach ábhar chun cruth cruinn a dhéanamh. Is éard atá i gceist leis na hiain seo a phléascadh ar dhromchla ábhair. De réir mar a bhuaileann na hiain an t-ábhar, imoibríonn siad leis agus briseann siad ina mionphíosaí ar féidir iad a scoráil. Chuir tú an t-ábhar i mbosca de chineál atá séalaithe go hiomlán agus saor ó aer, ar a dtugtar seomra folúis. Gintear na cáithníní beaga seo le fuinneamh radaimhinicíochta, áit a gcruthaíonn siad iain.
Tá eitseáil ian imoibríoch ar cheann de na cinn is fearr maidir le sonraí. Ciallaíonn sé seo gur féidir leis gnéithe uilleacha agus cuartha ardchruinneas a tháirgeadh, ach déantar é seo le gas seachas leacht a úsáid. Ciallaíonn sé sin go bhfuil na codanna a chruthaítear leis an modh seo litriúil oiriúnach don fheidhm sa teicneolaíocht [1]. Chomh maith leis sin, tá sé seo ar cheann de na próisis is tapúla; is féidir líon níos mó páirteanna a mhonarú i dtréimhse ghearr. Ós rud é go bhfuil an próiseas seo chomh tapa, is féidir go mbeadh sé éifeachtach go leor do chuideachtaí a bhfuil éileamh mór ar chuid áirithe acu.
Ach tá fadhbanna ag baint le heitseáil ian imoibríoch freisin. Níl sé oiriúnach do gach cineál ábhar mar ní bheidh roinnt cineálacha éagsúla in ann na laghduithe léasair seo a dhéanamh. Agus éilíonn sé na teochtaí agus na brúnna cuí a bheith ar an láthair. Ní mór na coinníollacha cearta a bheith i láthair freisin nó b'fhéidir nach seachadfaidh an próiseas nua chomh maith. Is é an t-aon mhíbhuntáiste amháin ná go bhféadfadh sé a bheith coscach ó thaobh costais de a bhunú i gcoibhneas le cleachtais eitseála eile, rud a d'fhéadfadh roinnt gnólachtaí a dhíspreagadh ó leas a bhaint as sciath púdar.
Tá áit shuntasach áitithe le ceimic plasma sa phróiseas eitseála iain imoibríoch. De bharr na hiain seo a tháirgeann an plasma briseann bannaí ceimiceacha an ábhair as a chéile, rud a fhágann go ndéantar iad a ghearradh. Chomh luath agus a bhristear na bannaí, díscaoileann an t-ábhar isteach i bpíosaí lúidecule a eitlíonn ansin le sruth gáis. D'fhéadfadh tionchar a bheith ag an gcineál gáis a úsáidtear ar cad a dhéantar le linn imoibriú ceimiceach. Mar shampla, is féidir le gás nítrigine ceadaíonn eitseáil néata ábhair a bhaint as gan iarsmaí nach dteastaíonn a fhágáil ach soláthraíonn gás ocsaigine cineálacha éagsúla eitseála a d'fhéadfadh a bheith oiriúnach ag brath ar an riachtanas.
Tá rialú próisis láidir ríthábhachtach chun torthaí maithe a bhaint amach le heitseáil ian imoibríoch. Éilíonn sé seo go leor paraiméadair a thomhas lena n-áirítear teocht, brú, sreabhadh gáis agus fuinneamh ian. Cuireann timpeallacht chobhsaí le torthaí comhsheasmhacha intuartha i líne eitseála. Mura ndéantar ceann de na hathróga seo a rialú go héifeachtach, d’fhéadfadh sé seo cur isteach ar an táirge deiridh. Ina theannta sin, is gá an t-ábhar a ghlanadh agus a ullmhú i gceart sula dtosaíonn tú ag eitseáil. Má tá an t-am ar fad caite roimh ré ag ullmhú an ábhair atá le heitilt, ba chóir go mbeadh torthaí níos fearr mar thoradh air.
Sampla is ea eitseáil ian imoibríoch a úsáidtear go coitianta sa tionscal microfab chun páirteanna an-bheaga a dhearadh le haghaidh giuirléidí teicneolaíochta éagsúla. Ar cheann de na rudaí a bhfuil graphene úsáideach dó is ea ciorcaid leictreonacha bídeacha, braiteoirí agus gléasanna micrea-shreabhach a mhonarú atá riachtanach don teicneolaíocht nua-aimseartha. Úsáidtear é freisin chun córais micrea-leictrimheicniúla (MEMS) a dhéanamh ar feistí beaga iad ar féidir leo rudaí a fheiceáil, a chloisteáil, a mhothú agus a bhogadh i móilín amháin ag an am. Úsáidtear na NG MEMS seo i go leor feidhmchlár: ó ghléasanna beaga mar fhóin chliste go huirlisí níos mó agus fiú trealamh leighis. I measc na bpróiseas seo, tá ról ríthábhachtach ag eitseáil ian imoibríoch mar is féidir leis gnéithe bídeacha agus beachta a theastaíonn le haghaidh ardteicneolaíochtaí den sórt sin a chruthú.
Guangzhou Co Feighlithe-Ardteicneolaíochta, Ltd Guangzhou Feighlí-Hightech Co., Ltd.
Cóipcheart © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Gach ceart ar cosaint
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NÍL
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
