Bord Ábharthach Póca Póca Teampa Go Tapaidh / Córas RTP

Tuisceanaíochtaí RTP do fheabhsachaidh cheimicigh 、SlC、LED agus MEMS

Feidhmchláir tionscail

Oxide, crochtáil nitride

Ohmic tiormán ghlac-téarmach

Leasú de chrochadh silicide alloy

Crochadh reflux

Próiseas ghalíum arsenide

Próiseasanna teocht radaige eile

Feidhmíocht:

Fuaightheacht le lámh fuaighte rotha inraíochta, seachadadh ag baint úsáide as fuachadh aer;

Rialú teocht PlD don chumhacht lampa, a dhéanann é féinleith teocht a rialú go cinnte, ag cinntiú comhshuiteacht den chineál is fearr agus cothromsú teochta;

Tá an iontráil greama ar phléasc na hWAFER chun poinne fuar a chaomhnú gan iarracht tharla san phróiseas neamhsheachadach agus chun comhshuíochas teochta den chineál is fearr a chur i gcás an chóip;

Is féidir le cúigre nó módaí fuachta folard nó fuachta a ghlanadh a roghnú, le pré-treatment agus glacadh ar an gcumas;

Tá dhá scagán gás próiseas mar chomhionann agus is féidir leo a leathnú go dtí is mó 6 scagán gás próiseas;

Is é an méid is mó amháin siamsa sílice sampl a mheastar 12 colún (300x300MM);

Tá na trí mhéid slándála - cosc oscailte teochta shainiobhta, cosc cead oscailte rialaithe teochta agus cosc slándála stop árd-éisteachta nádúrtha cuimsithe chun cinntiú na sláinte na n-instrúidí;

Rang sprioc:

Comhthéacs 20 chrua scile:

20 n-éadar do chóras teampla ag 850 ℃

Coincidéas na n-éadair meán-teampla 20

Córas teampla 1250 ℃

RTP chóras teampla 1000 ℃ phróiseáil

Próiseáil 960 ℃ a bheith faoi riachtanas de pyrometer fuaimeanna déithe

Sonraí próiseála LED

Is é RTD Wafer bríomhíre teocht a úsáidíonn téchníoc mionscailte chun bríomhíre teocht (RTDs) a chur isteach i gcásanna speisialta ar fhaic an bhléise, ceannrócht teocht faoi láthair ar an n-fhaic a thabhairt.

Tá méid teochta fíor ar pháirteanna speisialta den bhléise agus an toradh coitianta teochta ar fad den bhléise in ann a fháil trí RTD Wafer; Is féidir a úsáid freisin don fheiceáil leanúnach athrú teochta tréithi ar na bhféithi le linn an phróiseas tréamhála teochta.