Córas Eitseála Plasma Cúplála Ionduchtach (ICP) Trealamh leathsheoltóra, An tSín Córas Eitseála Plasma Cúplála Ionduchtach (ICP) Déantóirí Trealamh Leathsheoltóra, Soláthraithe, Monarcha

Cur síos ar an Táirge

Córas eitseála plasma cúplála ionduchtaigh (icp).

Córas Eitseála Plasma Cúplála Ionduchtach (ICP) Sonraí trealaimh leathsheoltóra

Córas Eitseála Plasma Cúplála Ionduchtach (ICP) soláthraí trealaimh leathsheoltóra

Córas Eitseála Plasma Cúplála Ionduchtach (ICP) Monarcha trealaimh leathsheoltóra

Toradh Próisis

Eitseáil Grianchloch / sileacain / grátála

Ag baint úsáide as masc BR chun ábhair grianchloch nó sileacain a eitseáil, tá an líne is tanaí suas le 300nm ag an bpatrún eagair grating agus tá géire balla taobh an phhatrún gar do > 89 ° , is féidir a chur i bhfeidhm ar thaispeántas 3D, feistí micrea optúla, cumarsáid optoelectronic, srl

Eitseáil cumaisc / leathsheoltóra

Is féidir le rialú cruinn ar theocht an dromchla samplach moirfeolaíocht eitseála na n-ábhar GaN bunaithe, GaAs, InP agus miotail a rialú go maith. Tá sé oiriúnach le haghaidh feistí stiúir gorm, léasair, cumarsáid optúil agus feidhmeanna eile.

Córas Eitseála Plasma Cúplála Ionduchtach (ICP) Monarú trealaimh leathsheoltóra

Eitseáil ábhar sileacain-bhunaithe

tá sé oiriúnach le haghaidh ábhair atá bunaithe ar sileacain a eitseáil, mar shampla Si, SiO2, agus SiNx. Is féidir leis eitseáil líne sileacain os cionn 50nm a bhaint amach agus eitseáil poll domhain sileacain faoi bhun 100um

Sonraíocht

Léaráid chumraíocht tionscadail agus struchtúr meaisín

Mír	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Méid Táirge	≤6 orlach	≤8 orlach	≤6 orlach	≤8 orlach	Saincheaptha≥12orlach
Foinse cumhachta SRF	0~1000W/2000W/3000W/5000WAdjustable,automatic matching\,13.56MHz/27MHz
Foinse cumhachta BRF	0~300W/0~500W/0~1000WAdjustable, automatic matching,2MHz/13.56MHz
Caidéal móilíneach	Neamhchreimneach: 600/1300 (L/s)/Saincheaptha			Frith-chreimeadh: 600 / 1300 (L./s)/Custam		600/1300(L/s) /Custam
Caidéal forlíne	Caidéal meicniúil / caidéal tirim			Caidéal tirim frithchreimeadh		Caidéal meicniúil / caidéal tirim
Caidéal réamh-chaidéil	Caidéal meicniúil / caidéal tirim			Caidéal meicniúil / caidéal tirim
Brú próisis	Brú neamhrialaithe/0-0.1/1/10 Brú rialaithe Torr
Cineál gáis	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Custom (Suas le 12 chainéal, gan aon ghás creimneach & tocsaineach)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ Saincheaptha (Suas le 12 chainéal)
Raon gáis	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Custom
LoadLock	Tá Níl			Is ea
Rialú teochta samplach	10 ° C ~ Seomra / -30 ° C ~ 150 ° C / Saincheaptha			-30°C~200°C/Custam
Ar ais fuarú héiliam	Tá Níl			Is ea
Líneáil cuas a phróiseáil	Tá Níl			Is ea
Rialú tem balla cuas	Uimh/Seomra tem-60/120°C			Teocht an tseomra ~ 60/120 ° C
Córas rialaithe	Auto / saincheaptha
Ábhar eitseála	Bonn sileacain: Si/SiO2/ SiNx/ SiC.... Ábhair orgánacha: PR/Orgánach scannán......			Bonn sileacain: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Ábhar maighnéadach / ábhar cóimhiotail Ábhair mhiotalacha: Ni/Cr/Al/Cu/Au... Ábhair orgánacha: PR/scannán orgánach...... Eitseáil domhain sileacain

Pacáil & Seachadadh

Próifíl na Cuideachta

Tá 16 bliain de thaithí againn i ndíolachán trealaimh. Is féidir linn réiteach gairmiúil trealamh Líne Pacáiste Leathsheoltóra Aon-stad Tosaigh agus Cúil ón tSín.