Córas Éadach Plasama Chomhléiriúcháin ( ICP ) Tuisceana semiconductor , China Córas Éadach Plasama Chomhléiriúcháin ( ICP ) Tuisceana semiconductor Manufacturers, Suppliers, Factory

Cur síos ar an gcrann

Córas smachta plasmar cumhdaigh innea (icp)

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment details

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment supplier

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment factory

Torthaí phróiseála

Smacht Grianghráfa / Sileáin / Grating

Ag úsáid brath BR chun sileáin nó siol a shmachadh, bíonn cruth phléam na ngrianghráif seo le líne is lú go dtí 300nm agus is giorra ná >89° iad an bosca cruthuithe, atá á chur i bhfeidhm don eagrán 3D, uirlisí óga optics, comhrácht optice-eletróna, agus céanna

Smacht Compound / Semiconductóire

Riachtanás cheart ar théamperatúr an phléidhseála is féidir leis an gcéim a bheith faoi chontae go maith ar chóras éagsúla na n-éadach GaN, GaAs, InP agus meatalacha. Is féidir léiriúchán gorm LED, lazeáirí, cumarsáid ópteach agus feabhsanna eile leo.

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment manufacture

Scailpadh máterial bunaithe ar sileain

Is féidir léiriúchán mhatarál sílice-bhunaithe mar Si, SiO2, agus SiNx. Is féidir léiriúchán líne sílice fosta 50nm agus léiriúchán dhubhcha sílice thíos 100um a bhaint amach.

Speisifeicáid

Cumraíocht tionscnamh agus íomhá struchtúr na mhinicí

eitem	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Méid an Táirge	≤6 cearr	≤8 cearr	≤6 cearr	≤8 cearr	Saincheap≥12colm
Foinse Earráid SRF	0~1000W/2000W/3000W/5000W Athrúchán, comhphéinte aitheach\, 13.56MHz/27MHz
Foinse Earráid BRF	0~300W/0~500W/0~1000W Athrúchán, comhphéinte aitheach, 2MHz/13.56MHz
Púmp Mhóleacail	Gan cruthú: 600/1300 (L/s)/Saincheap			Leictreonach: 600/1300 (L/s)/Saincheap		600/1300(L/s)/Saincheap
Pumpe Foreline	Pump meicneachail \/ pump tharla			Pump tharla dí-chorruithe		Pump meicneachail \/ pump tharla
Pump réamh-tharla	Pump meicneachail \/ pump tharla			Pump meicneachail \/ pump tharla
Brú phróiseas	Brú neamhchomhroinnt \/ 0-0.1 \/ 1 \/ 10Torr brú comhroinnt
Cineál gáise	H2 \/ CH4 \/ O2 \/ N2 \/ Ar \/ SF6 \/ CF4 \/ CHF3 \/ C4F8 \/ NF3 \/ NH3 \/ C2F6 \/ Saincheaptha (Go háirithe 12 slí, gan glas corrúsach & toxici)			H2 \/ CH4 \/ O2 \/ N2 \/ Ar \/ SF6 \/ CF4 \/ CHF3 \/ C4F8 \/ NF3 \/ NH3 \/ C2F6 \/ Cl2 \/ BCl3 \/ HBr \/ Saincheaptha (Go háirithe 12 slí)
raon gáis	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Seachad
LódáilLock	Igíonn Seo\/Níl Seo			Tá
Seiceáil teocht samplach	10°C~TeomhuightheSeomra/-30°C~150°C/Seachad			-30°C~200°C/Seachad
Fiosrú theithne héilime	Igíonn Seo\/Níl Seo			Tá
Linseáil spás pocsiúcháin	Igíonn Seo\/Níl Seo			Tá
Seiceáil teocht fhréamh spáis	Níl/TeomhuightheSeomra-60/120°C			TeomhuightheSeomra~60/120°C
Córas Rialaithe	Gnáth-riachtanach
Boghdán-mháirial	Bunús-siliciún: Si/SiO2/ SiNx/SiC..... Materiál éadrom: PR/Éadrom film......			Bunús-siliciún: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Materiál magnetach \/ comhpháirt alloy Materaíl meatalta: Ni\/Cr\/Al\/Cu\/Au... Materaíl orgánacha: PR\/scagán orgánach...... Glúine siúilthe síce

Pacáiste & Socruithe

Próifíl an Chompaid

Tá 16 bliain míochaine againn i dtríomh sócmhainní. Is féidir linn comhairle a thabhairt duit faoin mbeartas seo ó thaobh linse árda agus cúrsaí pacála i gcás an chéad agus an deireadh, ón phríomhphobal Roinn Saimbínice sa Phoblacht.

foshuíomh

Maidir Linn

MH Equipment

Réiteach

Úsáideoirí ón gCéibh

Videoclip

Deimhnigh Linn

Córas Éadach Plasama Chomhléiriúcháin ( ICP ) Tuisceana semiconductor

Smacht Grianghráfa / Sileáin / Grating

Smacht Compound / Semiconductóire

Scailpadh máterial bunaithe ar sileain

Tuilleadh Dornálaíochta

Machanáire fheabhsuithe MD-FS Series

Machanáire fheabhsuithe MD-FDS Series uathuimhidiúil

Machanáire fheabhsuithe MD-EFS series

Machanáire fheabhsuithe file MD-EDFS Series

Fiosrúchán

Articles

Products

Get In Touch

Córas Éadach Plasama Chomhléiriúcháin ( ICP ) Tuisceana semiconductor

Smacht Grianghráfa / Sileáin / Grating

Smacht Compound / Semiconductóire

Scailpadh máterial bunaithe ar sileain

Tuilleadh Dornálaíochta

Fiosrúchán

Articles

Products

Get In Touch

Cuir Isteach