Guangzhou Co Feighlithe-Ardteicneolaíochta, Ltd Guangzhou Feighlí-Hightech Co., Ltd.

Baile
Fúinn
Trealamh MH
réiteach
Úsáideoirí Thar Lear
Video
Teagmháil
product mdhs al8 8 fully automatic single sided lithography machine215-42
Baile> Ailléiritheoir Masc
  • MDHS-AL8 8
  • MDHS-AL8 8

MDHS-AL8 8" Meaisín liteagrafaíocht aontaobhach go hiomlán uathoibríoch

Cur síos ar an Táirge

MDHS-AL8 8" Meaisín liteagrafaíocht aontaobhach go hiomlán uathoibríoch

1. Modh oibre: lódálann an róbat luchtaithe sliseog go huathoibríoch ó bhosca sliseog AB (in-athchúrsáilte) go dtí an réamhshuíomh
workbench, agus trí choigeartú an sliseog suite ceamara agus córas rothlaithe uathoibríoch, tá réamhshuíomh an wafer a bhaint amach; Ansin luchtaíonn an róbat luchtaithe na sliseog réamhshuite ar an mbinse oibre ailínithe. Trí aitheantas íomhá ríomhaire agus coigeartú córas uathoibríoch ailínithe, is féidir ailíniú uathoibríoch na grafaicí ar an masc agus na sliseog a bhaint amach. Is féidir freisin nochtadh amháin a chríochnú gan na grafaicí a ailíniú. Tar éis don chóras rónochta a bheith faoi lé uathoibríoch, cuireann an róbat díluchtaithe na sliseog isteach sa bhosca sliseog CD (in-athchúrsáilte).
2. Limistéar nochta: 160 × 160mm;
3. Illuminance nochtadh míchothrom: ≤ 3%;
4. Déine nochta: 0~≥ 40mw/cm2 inchoigeartaithe (uillinn bhíoma 2 °);
5. Uillinn bhíoma UV: ≤ 3 °;
6. Tonnfhad lár an tsolais ultraivialait: 365nm;
7. Saolré foinse solais UV: ≥ 20000 uair an chloig;
8. Cumas deighilte: 0~ ≥ 1000um inchoigeartaithe;
9. Cruinneas ailíniú: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Cruinneas nochta: Déan teagmháil le nochtadh ± 1 μ m. Scaradh gar-nochta de 20 μM uillinn bhíoma 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Modhanna nochta: teagmháil chrua, teagmháil bhog, agus nochtadh gar;
12. Modh nochta: Is féidir leat a roghnú idir nochtadh aonuaire nó nochtadh fritháireamh
13. Aitheantas íomhá réamhshuímh agus córas uainíochta uathoibríoch (lena n-áirítear binse oibre réamhshuímh): uillinn uainíochta Q ≥ ± 180 °, cruinneas uainíochta Q ≤ 0.01 °;
14. Aitheantas íomhá agus córas ailínithe uathoibríoch (lena n-áirítear binse oibre ailíniú UVW): raon ailínithe XY ≥ ± 5mm, uillinn uainíochta Q ≥ ± 3 °, agus dhá lionsa an micreascóp á rialú ag dhá ardán leictreacha XYZ.
15. Méid masc: 5 "× 5" agus 7" × 7";
16. Méid wafer: 4 "agus 6";
17. Stáisiúin oibre bosca scannán uachtair agus íochtair: stáisiúin oibre dé;
18. Mála aeir mhaolú coise
19. Lámh robotic dé-lámh a luchtú agus a dhíluchtú: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Líon na sliseog sa bhosca wafer: arna chinneadh bunaithe ar líon na sliseog i mbosca wafer an chustaiméara;
21. Ardú tábla suite: Z ≥ ± 25mm;
22. Am nochta: inchoigeartaithe ó 0 go 999.9 soicind;
23. Rithim táirgeachta:> 120 píosa in aghaidh na huaire;
24. Soláthar cumhachta: AC220V 50Hz aon-chéim, tomhaltas cumhachta ≤ 3KW;
25. Brú aeir glan: ≥ 0.4MPa;
26. Céim folúis: -0.07MPa ~ -0.09MPa;
27. Méid: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Meáchan: Thart ar 400kg
MDHS-AL8 8
Tá an meaisín seo comhdhéanta de cheann nochta ultraivialait LED, córas aitheantais íomhá agus rothlú uathoibríoch, binse oibre réamhshuite, agus pictiúr Cosúil le córais aitheantais agus ailínithe uathoibríoch, binsí oibre ailínithe, robots luchtaithe, róbait díluchtaithe, racaí, agus rialú leictreach Comhdhéanta de threalamh , gabhálais spártha, etc.
Sonraíocht
1. Ceann nochta: Ceann nochta ultraivialait LED amháin (365nm);
2. Aitheantas íomhá agus binse oibre réamh-ailínithe:
1) 1 ceamara (1.3 milliún picteilín)
2) Daingneán suite ionaid
3) 1 sraith ardán rothlach (ag baint úsáide as mótair servo)
4) 1 sraith de chóras suite
3. Aitheantas íomhá agus córas ailínithe uathoibríoch:
1) 2 ceamara (5 milliún picteilín ráta ard fráma)
2) 2 lionsa (lionsa ardghléine 4x)
3) Ríomhaire tionsclaíoch amháin
4) Rialaitheoir amháin (arna rialú ag PLC)
5) Sraith amháin d'ardán ailínithe (ag baint úsáide as mótair stepper 5-chéim)
6) Sraith de chóras spóirt
7) Glacann an gléas pláta barr mótair le haghaidh ardú agus ísliú
7) Glacann na bogearraí an leagan is déanaí de LabVIEW Professional Edition
4. Lámh meicniúil a luchtú agus a dhíluchtú:
1) X Y. Sraith de mheicníocht gluaiseachta uathoibríoch Z
2) Lámh robotic dé-lámh (arm luchtaithe agus díluchtaithe)
5. Meicníocht socraithe bosca wafer:
1) Is é AB suíomh seasta an bhosca scannáin bheathú
2) Is é CD suíomh seasta an bhosca scannáin ghearrtha
3) Is é G suíomh seasta an bhosca scannáin seasamh NG
6. Ardán seasta ceamara:
7. Dhá shraith de mheicníochtaí coigeartaithe leictreacha YZ (arna rialú ag mótair servo)
8. Raca agus consól rialaithe leictreachais:
1) 1 ríomhaire tionsclaíoch
2) Sraith amháin de PLC;
3) Sraith amháin de chomhlaí solenoid agus córas rialaithe
4) Sraith ionstraimí aeroibrithe digiteacha
5) Sraith amháin de chonsól rialaithe
8. Ceangaltáin spártha:
1) Tracheal: 15 méadar
2) 2 comhla solenoid
3) Caidéal folúis: 1 aonad
9. Sonraí teicniúla:
1) Lámhleabhar úsáideora amháin
2) Deimhniú comhréireachta amháin
10. Breise
Ní mór prótacal cumarsáide SECS a bheith ag na bogearraí trealaimh, agus soláthraíonn an ceannaitheoir leabharlann dhinimiciúil leis an fheidhm atá ag baint le córas MES an cheannaitheora, uimhir bhaisc táirge, uimhir poist, agus stádas oibríochta a thaifeadadh go huathoibríoch agus iad a uaslódáil. Ag an am céanna, tá an fheidhm aige cód QR an phláta masc a aithint, é a chur i gcomparáid le cód QR pláta masc an chórais MES, agus cosc ​​a chur ar an pláta masc mícheart a thógáil.
Pacáil & Seachadadh
MDHS-AL8 8
MDHS-AL8 8
Próifíl na Cuideachta

Fiosrúcháin

product mdhs al8 8 fully automatic single sided lithography machine215-53Fiosrúcháin product mdhs al8 8 fully automatic single sided lithography machine215-54Ríomhphost product mdhs al8 8 fully automatic single sided lithography machine215-55WhatsApp product mdhs al8 8 fully automatic single sided lithography machine215-56 WeChat
product mdhs al8 8 fully automatic single sided lithography machine215-57
product mdhs al8 8 fully automatic single sided lithography machine215-58barr
×

Faigh i dteagmháil