1. Modh oibre: Tosaíonn róbót an naisc naisc leathana ón bhosca naisc A-B (díbheartha) go dtí an mhalairt pré-shuíomh
banc oibre, agus trí mhéidiceacht an chóras rothaíochta caméara agus an chóras iompar uathuimhidiúil, táthar ar chur i gcás an wafer; ansin lódáiltear na wafers atá curtha i gcás cheana féin ar bhanc comhordaithe ag an robót lódála. Trí shainmhínithe deireanach ag an gclár ordughacha agus an chóras comhordaithe uathuimhidiúil, is féidir leat comhordú uathuimhidiúil na n-imeartha ar an mbhlasca agus ar na wafers a éirí. Is féidir leat freisin ceann amháin a phléascadh gan na n-imeartha a chomhlíonadh. Tar éis a bheith phléascadh go huathuimhidiúil ag an gcóras athrúcháin, cuireann an robót dochartha na wafers isteach go huathoibríoch i d-box wafer (díofarach).
2. Réigiún phléascadh: 160 × 160mm;
3. Niomhánacht neamhbhunúsach phléascadh: ≤ 3%;
4. Focaltracht phléascadh: 0~≥ 40mw/cm2 inbhéartach (gcos cinn 2 °);
5. Gcos UV: ≤ 3 °;
6. Wavelength meascán UV: 365nm;
7. Beocht gceannas UV: ≥ 20000 uair;
8. Néimead comhshuite: 0~≥ 1000um inbhéartach;
9. Níos mí fíor comhorduithe: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Cnoga éadromacht: Téama idirthomhas ± 1 μ m. Scagán téama níos gaire de 20 μ M gleic snámha 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Dlíthe téamaithe: téama crua, téama láidre, agus téama scagtha;
12. Modh téamaithe: Is féidir leat rogha a dhéanamh idir téama uair amháin nó téama scaipthe
13. Córas aithris íomhá agus iompar uathoibríoch (lúib luaithe): cnoga uimhir Q ≥ ± 180 °, cnoga níos láidre Q ≤ 0.01 °;
14. Córas aithris agus comhionannas uathoibríoch (banc comhionannas UVW): ranguingeacht X Y ≥ ± 5mm, cnoga uimhir Q ≥ ± 3 °, agus bíonn dá lorgán speisialta den miscóipe cluichthe ag dá phlata busail XYZ.
15. Méid másc: 5 " × 5 " agus 7" × 7 ";
16. Méid fhearthainne: 4 " agus 6";
17. Banc eitleán do shaothar film chóra: banc díchillteanna dual;
18. Cuirm fudóg
19. Robót arm chluasa ag lódáil agus ag cur ar fud: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Níos mó ná líon na n-waiféar i bpostach na n-waiféar: cinnte ar bun líon na n-waiféar i gcuairt chustaiméir;
21. Glacadh tábla suiteadh: Z ≥ ± 25mm;
22. Amos éadrom: leaghthar idir 0 agus 999.9 soicind;
23. Rithe pródais:> 120 cluasóg in uaireán óga;
24. Fúinneoga fuaime: faoi AC220V aonfhaighte 50Hz, cosúilte ≤ 3KW;
25. Brú aer chríochnaithe: ≥ 0.4MPa;
26. Leibhéal fhuáin: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. Méid: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Cúlra: Go háirithe 400kg