|
tionscadal
|
sonraíochtaí
|
Nótaí
|
||
|
1 |
Forbhreathnú Trealamh |
Ainm an trealaimh: Meaisín forbartha gliú aonfhoirmeach go hiomlán uathoibríoch
|
||
|
Múnla trealaimh: MD-2C2D6
|
||||
|
Sonraíochtaí wafer próiseála: ag luí le sliseog caighdeánach 4/6-orlach
|
||||
|
Sreabhadh próiseas gliú aonfhoirmeach: slicing ciseán bláthanna → lárú → gliú aonfhoirmeach (sileadh → gliú aonfhoirmeach → baint imeall, ar ais
níocháin) → pláta te → pláta fuar → cur ciseán Sreabhadh próiseas forbartha: slicing ciseán bláthanna → lárú → forbairt (réiteach forbartha → uisce dí-ianaithe, níocháin ar ais → triomú nítrigine) → pláta te → pláta fuar → cur ciseán |
||||
|
Méid iomlán (thart ar): 2100mm (W) * 1800mm (D) * 2100mm (H)
|
||||
|
Méid an chomh-aireachta ceimiceach (thart ar): 1700(W) * 800(D) * 1600mm (H)
|
||||
|
Meáchan iomlán (thart): 1000kg
|
||||
|
Airde workbench: 1020 ± 50mm
|
||||
|
2 |
Aonad caiséad
|
Cainníochta: 2
|
||
|
Méid comhoiriúnach: 4/6 orlach
|
||||
|
Brath caiséad: brath micrea-lasc
|
||||
|
Brath sleamhnáin: Sea, braiteoir machnamhach
|
||||
|
3 |
robot |
Cainníochta: 1
|
||
|
Cineál: Lámh dúbailte robot asaithe bhfolús
|
||||
|
Céim na saoirse: 4-ais (R1, R2, Z, T)
|
||||
|
Ábhar finger: ceirmeach
|
||||
|
Modh fosaithe tsubstráit: modh asaithe bhfolús
|
||||
|
Feidhm mapála: Tá
|
||||
|
Cruinneas suite: ± 0.1mm
|
||||
|
4 |
Aonad lárnach
|
Cainníocht: 1 leagtha
|
Ailíniú optúil roghnach
|
|
|
Modh ailínithe: ailíniú meicniúil
|
||||
|
Cruinneas lárnaithe: ± 0.2mm
|
||||
|
5 |
Aonad gliú aonfhoirmeach |
Cainníocht: 2 shraith (is iad seo a leanas cumraíochtaí do gach aonad)
|
||
|
Luas rothlaithe fhearsaid: -5000rpm~5000rpm
|
ag iompar idler
|
|||
|
Cruinneas rothlaithe fearsaidí: ± 1rpm (50rpm ~ 5000rpm)
|
||||
|
Coigeartú íosta ar luas rothlaithe fhearsaid: 1rpm
|
||||
|
Luasghéarú uasta ar rothlú fearsaid: 20000rpm/s
|
ag iompar idler
|
|||
|
Lámh sileadh: 1 sraith
|
||||
|
Bealach feadán Photoresist: 2 bhealach
|
||||
|
Trastomhas nozzle Photoresist: 2.5mm
|
||||
|
Insliú Photoresist: 23 ± 0.5 ℃
|
roghnach
|
|||
|
Soic moisturizing: Tá
|
||||
|
RRC: Tá
|
||||
|
Maolán: Sea, 200ml
|
||||
|
Modh tite gliú: is rogha roghnach é an t-ionad a thitim sa lár agus an scanadh a ligean
|
||||
|
Lámh a bhaint imeall: 1 sraith
|
||||
|
Trastomhas nozzle bhaint imeall: 0.2mm
|
||||
|
Monatóireacht a dhéanamh ar shreabhadh leacht a bhaint imeall: flowmeter snámhphointe
|
||||
|
Raon sreafa leacht a bhaint imeall: 5-50ml/min
|
||||
|
Píblíne backwash: 2 bhealach (4/6 orlach an ceann le 1 cainéal)
|
||||
|
Monatóireacht ar shreabhadh backwash: sreabhmhéadar snámhphointe
|
||||
|
Raon sreafa sreabhach backwash: 20-200ml/min
|
||||
|
Modh fosaithe sliseanna: limistéar beag asaithe bhfolús Chuck
|
||||
|
Aláram brú folúis: braiteoir brú bhfolús digiteach
|
||||
|
Ábhar Chuck: PPS
|
||||
|
Ábhar cupán: PP
|
||||
|
Monatóireacht sceite cupán: braiteoir brú digiteach
|
||||
|
6 |
Aonad forbartha |
Comhla: tá
|
||
|
Cainníocht: 2 shraith (is iad seo a leanas cumraíochtaí do gach aonad)
|
||||
|
Luas rothlaithe fhearsaid: -5000rpm~5000rpm
|
ag iompar idler
|
|||
|
Cruinneas rothlaithe fearsaidí: ± 1rpm (50rpm ~ 5000rpm)
|
||||
|
Coigeartú íosta ar luas rothlaithe fhearsaid: 1rpm
|
||||
|
Luasghéarú uasta ar rothlú fearsaid: 20000rpm/s
|
ag iompar idler
|
|||
|
Lámh a fhorbairt: 1 sraith
|
||||
|
Píblíne a fhorbairt: 2-bhealach (buinne lucht leanúna-chruthach/colún)
|
||||
|
Scagachán forbróra: 0.2um
|
||||
|
Rialú teochta an fhorbróra: 23 ± 0.5 ℃
|
roghnach
|
|||
|
Réimse sreafa réitigh a fhorbairt: 100 ~ 1000ml/min
|
||||
|
Modh gluaisne na láimhe forbartha: pointe seasta nó scanadh
|
||||
|
Lámh fusing: 1 sraith
|
||||
|
Píblíne uisce dí-ianaithe: 1 chuaird
|
||||
|
Trastomhas nozzle uisce dí-ianaithe: 4mm (trastomhas istigh)
|
||||
|
Raon sreabhadh uisce dí-ianaithe: 100~1000ml/min
|
||||
|
Píblíne a thriomú nítrigine: 1 chuaird
|
||||
|
Trastomhas nozzle nítrigine: 4mm (trastomhas istigh)
|
||||
|
Raon sreabhadh nítrigine: 5-50L / min
|
||||
|
Forbróir, uisce dí-ianaithe, monatóireacht ar shreabhadh nítrigine: sreabhadhmhéadar snámhphointe
|
||||
|
Píblíne backwash: 2 bhealach (4/6 orlach an ceann le 1 cainéal)
|
||||
|
Monatóireacht ar shreabhadh backwash: sreabhmhéadar snámhphointe
|
||||
|
Raon sreafa sreabhach backwash: 20-200ml/min
|
||||
|
Modh fosaithe sliseanna: limistéar beag asaithe bhfolús Chuck
|
||||
|
Aláram brú folúis: braiteoir brú bhfolús digiteach
|
||||
|
Ábhar Chuck: PPS
|
||||
|
Ábhar Chuck: PPS
|
||||
|
Ábhar cupán: PP
|
||||
|
Monatóireacht sceite cupán: braiteoir brú digiteach
|
||||
|
7 |
Aonad tacaíochta |
Cainníochta: 2
|
roghnach
|
|
|
Raon teochta: teocht an tseomra ~180 ℃
|
||||
|
aonfhoirmeacht teochta: Teocht an tseomra ~ 120 ℃ ± 0.75 ℃
120.1 ℃ ~ 180 ℃ ± 1.5 ℃ (Bain 10mm ón imeall, ach amháin i gcás an poll bioráin ejector) |
||||
|
Íosmhéid coigeartaithe: 0.1 ° C
|
||||
|
Modh rialaithe teochta: coigeartú PID
|
||||
|
Raon airde PIN: 0-20mm
|
||||
|
Ábhar PIN: comhlacht SUS304, PIN caipín bioráin PI
|
||||
|
Bearna bácála: 0.2mm
|
||||
|
Aláram overtemperature: aláram diall dearfach agus diúltach
|
||||
|
Modh soláthair: Bubbling, 10 ± 2ml/min
|
||||
|
Folús oibriúcháin seomra: -5-20KPa
|
||||
|
8 |
Aonad pláta te |
Cainníochta: 10
|
||
|
Raon teochta: teocht an tseomra ~250 ℃
|
||||
|
aonfhoirmeacht teochta: Teocht an tseomra ~ 120 ℃ ± 0.75 ℃
120.1 ℃ ~ 180 ℃ ± 1.5 ℃ 180.1 ℃ ~ 250 ℃ ± 2.0 ℃ (Bain 10mm ón imeall, ach amháin i gcás an poll bioráin ejector) |
||||
|
Íosmhéid coigeartaithe: 0.1 ℃
|
||||
|
Modh rialaithe teochta: coigeartú PID
|
||||
|
Raon airde PIN: 0-20mm
|
||||
|
Ábhar PIN: comhlacht SUS304, PIN caipín bioráin PI
|
||||
|
Bearna bácála: 0.2mm
|
||||
|
Aláram overtemperature: aláram diall dearfach agus diúltach
|
||||
|
9 |
Aonad pláta fuar
|
Cainníochta: 2
|
||
|
Raon teochta: 15-25 ℃
|
||||
|
Modh fuaraithe: teocht leanúnach a scaiptear fuarú caidéil
|
||||
|
10 |
Soláthar Ceimiceach |
Stóráil photoresist: caidéal gliú aeroibrithe * 4 shraith (Umar roghnach nó caidéal gliú leictreach)
|
||
|
Toirt dáileacháin gliú: uasmhéid 12ml in aghaidh an tseisiúin, cruinneas ± 0.2ml
|
||||
|
Baint imeall / níocháin chúl / soláthar RRC: umar brú 18L * 2 (athlíonadh uathoibríoch)
|
||||
|
Baint imeall/níochán cúil/monatóireacht ar leibhéal an leachta RRC: braiteoir fótaileictreach
|
||||
|
Monatóireacht ar leibhéal leachtach photoresist: braiteoir fótaileictreach
|
||||
|
Doirteadh leacht dramhaíola greamaitheach aonfhoirmeach: umar leachtach dramhaíola 10L
|
||||
|
Soláthar an fhorbróra: umar brú 18L * 4 (Stóráilte sa chomh-aireachta ceimiceach lasmuigh den mheaisín)
|
||||
|
Soláthar uisce dí-ianaithe: soláthar díreach ón monarcha
|
||||
|
Monatóireacht ar leibhéal leachtach a fhorbairt: braiteoir fótaileictreach
|
||||
|
Urscaoileadh dramhaíola ón bhforbróir: urscaoileadh dramhaíola monarchan
|
||||
|
Soláthar tacadóir: umar brú 10L * 1, umar brú 2L * 1
|
||||
|
Monatóireacht leibhéal an tackifier: braiteoir fhótaileictreach
|
||||
|
11 |
córas rialaithe |
Modh rialaithe: PLC
|
||
|
Comhéadan oibriú meaisín daonna: scáileán tadhaill 17 orlach
|
||||
|
Soláthar Cumhachta Neamh-idirbhriste (UPS): Tá
|
||||
|
Socraigh ceadanna criptithe d'oibreoirí gléasanna, teicneoirí, riarthóirí
|
||||
|
Cineál túr comhartha: dearg, buí, glas 3 dathanna
|
||||
|
12 |
Táscairí iontaofachta córais
|
Am Aga fónaimh: ≥95%
|
||
|
MTBF: ≥ 500h
|
||||
|
MTTR: ≤ 4h
|
||||
|
MTBA: ≥24h
|
||||
|
Ráta Ilroinnt: ≤ 1/10000
|
||||
|
13 |
Feidhmeanna eile
|
Solas buí: 4 shraith (suíomh: os cionn an aonaid mheascadh agus forbartha gliú)
|
||
|
THC: Sea, 22.5 ℃ ± 0.5 ℃, 45% ± 2%
|
roghnach
|
|||
|
FFU: Aicme 100, 5 shraith (aonad próiseála agus limistéar ROBOT)
|
||||
Guangzhou Co Feighlithe-Ardteicneolaíochta, Ltd Guangzhou Feighlí-Hightech Co., Ltd.
Cóipcheart © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Gach ceart ar cosaint
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NÍL
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
