Córas |
MDPS-560 II |
||
Camer Sputtering Phríomha |
camer fhoirgnimh pyriform, méid: Φ560×350mm |
||
Camer Inléidh Samplach |
cylindrical agus cineál iarthair, méid: Φ250mm×420mm |
||
Córas pumpála |
pumpeanna phóca idirchompordaithe agus comhlacht púmp mecanach do chemer sputtering phríomha agus do chemer inléidh samplach. |
||
Fhoirgnimh Uafásach |
Camer Sputtering Phríomha |
≤6.67×10-6Pa (tar éis ceangal agus scailleadh) |
|
Camer Inléidh Samplach |
≤6.67×10-4Pa (tar éis ceangal agus scailleadh) |
||
Am Fháil Airm |
Camer Sputtering Phríomha |
6.6×10-4Pa tar éis 40 nóiméad (pógadh i ndiaidh gur níor maraíodh go héadrom le haisling agus lán le nitreán thom) |
|
Camer Inléidh Samplach |
6.6×10-3Pa tar éis 40 nóiméad (pógadh i ndiaidh gur níor maraíodh go héadrom le haisling agus lán le nitreán thom) |
||
Módál Obair Magnetron |
5 taobhán magnetta permánaithe; méidΦ60mm (ún de na taobhán is féidir leo scagadh fhearamagnétach). Is féidir le gach taobhán scagadh RF agus scagadh DC go comhionann; agus is féidir an gcéim idir an taobhán agus an sampl a shocraigh ó 40mm go 80mm. |
||
Bord Athraithe agus Éiscleacht Le H2O |
Struchtúr na nÉisc |
Sé staid, tá fornua éiscthe ag bunú ar staid amháin, agus tá na céad eile staid éisc le hólú uisce. |
|
Méid |
Φ30mm, sé phic. |
||
Modh chur i bhfeidhm |
0-360°, idirchlárach. |
||
Teas |
Teocht uasail 600℃±1℃ |
||
Níos lú ná 0V ar an gclód bréige |
-200V |
||
Ciste Cirt Gáise |
Rialtaíocht Mhas 2-bhliain (MFC) |
||
Camer Inléidh Samplach |
Seomra Samplu |
Sé sampla amháin uair |
|
Athbheochadóir |
An téamh is airde 800℃±1℃ |
||
Modúl Tiomnaíochta Athfheiceála |
Glanchláir Athfheiceála |
||
Córas Seoladh Samplach Magnet |
Úsáidear chun samplaí a thógáil idir an seomra tiomnaíochta agus an seomra inléiriúcháin samplach. |
||
Córas Rialaithe le Léarscáil |
Rith chuardach, oscailt agus dúnmha na gclár bheithiúla, agus rialú ar pháirtíocht na n-ardán |
||
Spás ar Fharthain |
An Seata Mhór |
2600×900mm2 |
|
Cábán eachtraí |
700×700mm2(dhá scagán) |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved