MDPS-560 Córas Sputtering Seomra Dúbailte Pyriform / Trealamh tionscal leathsheoltóra, An tSín MDPS-560 Córas Sputtering Seomra Dúbailte Pyriform / Trealamh tionscal leathsheoltóra Déantóirí, Soláthraithe, Monarcha

Cur síos ar an Táirge

MDPS-560 Córas Sputtering Seomra Dúbailte Pyriform

Úsáidtear é chun nanascannáin fheidhmiúla singil/ilchiseal a ullmhú lena n-áirítear scannáin chrua, mhiotalacha, leathsheoltacha agus thréleictreacha éagsúla d'ollscoileanna agus d'institiúidí eolaíochta.

Seomra folúis sputtering, sprioc sputtering maighnéadrón, caschlár teasa an tsubstráit uisce-fuaraithe, seomra insteallta samplach, seomra samplach, annealer, sprioc backwash, meicníocht seolta sampla maighnéad, ciorcad gáis, córas pumpála, córas tomhais bhfolús, córas rialaithe leictreach agus bonn gléasta.

Sonraíocht

cineál			MDPS-560 II
Príomhsheomra Sputtering			seomra folúis piriform, méid: Φ560 × 350mm
Seomra Instealladh Samplach			cineál sorcóireach agus cothrománach, méid: Φ250mm × 420mm
Córas Pumpála			caidéal móilíneach cumaisc neamhspleách agus caidéal meicniúil socraithe don phríomhsheomra sputtering agus don seomra insteallta samplach.
Fholúis Deiridh	Príomhsheomra Sputtering	≤6.67×10-6Pa (tar éis bácála agus dígassing)
Fholúis Deiridh		Seomra Instealladh Samplach	≤6.67×10-4Pa (tar éis bácála agus dígassing)
Faigh Am Fholúis ar ais	Príomhsheomra Sputtering	6.6×10-4Pa tar éis 40 min. (caidéalaithe tar éis gearr-ama a bheith faoi lé aer agus líonadh le nítrigin tirim)
Faigh Am Fholúis ar ais		Seomra Instealladh Samplach	6.6×10-3Pa tar éis 40 min. (caidéalaithe tar éis gearr-ama a bheith faoi lé aer agus líonadh le nítrigin tirim)
Modúl Sprioc Magnetron			5 sprioc maighnéad buan; méid Φ60mm (is féidir le ceann de na spriocanna sputtering ábhar ferromagnetic).Is féidir leis na spriocanna go léir RF sputtering agus DC sputtering comhoiriúnach; agus an fad idir sprioc agus sampla inchoigeartaithe ó 40mm go 80mm.
Tábla Réabhlóid Téimh Foshraith Uisce-fuaraithe	Struchtúr Foshraith	Sé stáisiún, foirnéise teasa suiteáilte ag stáisiún amháin, agus na cinn eile stáisiún tsubstráit fuaraithe uisce.
		méid	Φ30mm, sé phictiúr.
		Modh gluaisne	0-360°, cómhalartach.
		Téamh	uas. Teocht 600 ℃ ± 1 ℃
		Laofacht Dhiúltach Foshraith	-200V
Córas Ciorcaid Gáis			Rialaitheoir Aifreann 2-bhealach (MFC)
Seomra Instealladh Samplach	Seomra Samplach	Sé cinn simplí am amháin
		Annealer	uas. teocht téimh 800 ℃ ± 1 ℃
		Spriocmhodúl Resputtering	Resputtering glanadh
Maighnéad Córas Seolta Samplach			Úsáidtear é le haghaidh iompar samplach idir seomra sputtering agus seomra insteallta samplach.
Córas rialaithe ríomhaire			Rothlú samplach, sciath oscailte agus stoptha, agus rialú suímh sprice
Urlár Áitithe	Príomhshraith	2600 × 900mm2
Urlár Áitithe		Comh-Aireachta Leictreach	700×700mm2 (dhá thacar)

Pacáil & Seachadadh

MDPS-560 Córas Sputtering Seomra Dúbailte Pyriform / monarcha trealamh tionscal leathsheoltóra

Próifíl na Cuideachta

Tá 16 bliain de thaithí againn i ndíolachán trealaimh. Is féidir linn réiteach gairmiúil trealamh Líne Pacáiste Leathsheoltóra Aon-stad Tosaigh agus Cúil ón tSín.