1. Faoiseamh a bhaineann leis: faoiseamh 12’’ & faoiseamh 8’’
2. Méid an pholl: ф60[um]~ ф760 [um] ф30 [um] i gcéim teastas Lab
3. Faoiseamh Bump:
a). Céim íosta bump: 100 [um]
b). Méid íosta pad bump: 85 [um]
c). Max. Námhacht Bump: 2.2KK [pins]
*An sonraí suimteach don stádas féil
4. Cás Wafer 12":
a). Laghtas Min.: 200[μm], 100[μm] faoi leibhéal tástála laboratóire
b). Máximeacht Tiorama: 6 [mm]/cás íochtarach, 3 [mm]/cás ardchaite
5. Néasú Ball
a). Fianaise Priontála Flux
Os cionn ф75[um] Ball: +25[um]
Níos lú ná ф75[μml Ball: +1/3 de chéim bhróin an bhalla
b). Fianaise Néasú Ball
Os ф75[um] Bóil::±25[um]
Níos lú ná ф75[μml Ball: +1/3 de chéim bhróin an bhalla
Do chás speisialta, is féidir linn a bhaint: +13μm
c). Cúlra Ball Mounting NG: Níos lú ná 30 [ppm]