1. wafer is infheidhme: wafer 12'' & 8'' wafer
2. Méid liathróid: ф60[um] ~ ф760 [um] 、 ф30 [um] i leibhéal tástála saotharlainne
3. Wafer Bump:
a). Min. Bump pitch: 100 [um]
b). Min. Méid ceap bump: 85 [um]
c). uas. Comhaireamh tuairte: 2.2KK [bioráin]
*Tá na sonraí faoi réir coinníollacha feiste
4. 12” Cás wafer:
a). Min. Tiús: 200[μm]、100[μm] faoi leibhéal tástála saotharlainne
b). Uasta Caoinfhulaingt Cogaidh: 6 [mm] / cás, 3 [mm] / cás
5. Cumas gléasta liathróid
a). Cruinneas Priontála Flux
Níos mó ná ф75[um] Liathróid: +25[um]
Níos lú ná ф75[μml Liathróid: +1/3 de thrastomhas na liathróide
b). Cruinneas gléasta liathróid
Níos mó ná ф75[um] Liathróid:: ± 25[um]
Níos lú ná ф75[μml Liathróid: +1/3 de thrastomhas na liathróide
I gcás speisialta, is féidir linn a bhaint amach: + 13μm
c). Cóimheas NG Gléasta Liathróid: Níos lú ná 30 [ppm]