1.Cineál scannála: i gcás amháin.
2.Bhfuilte scannála:110×110mm.
3.Níos trom ná éifeacht scannála: ≤±3%.
4.Fócas scannála:0-30mw/cm2 a leagan amach.
5.Glúin fuaime UV: ≤3°.
6.Larg focal seansfaisnéise:365nm.
7.Déanamh beo fuaime UV: ≥500 uair an chloig.
8.Gaibhtheacht díospóireachta leictreonach.
9.Fócasluach scannála:1 μm;
10.Dlí scannála míoscopach: X: ±15mm Y: ±15mm;
11.Dlí aillíniú:X,Y ailléadadh ±4mm; ailléadadh i dteangaireacht Q ±3°;
12.Ceartas glacadh le ceann: 1 μ Ceartas an úsáideora "leagan" agus "cipe" caithfidh comhlíonadh le réigiún náisiúnta,
agus go bhféadfadh an timpeallacht, teocht, fliuchas, agus bréagán bheith cosnaíte go hiomlán. Úsáidfear phriomhfhothainncht ón gclár éagsúla, agus is féidir toicne fo-thainncht chunaithe go hiomlán bheith cosnaíte go hiomlán. Ar nós sin, tá na próiseasaíochtaí roimhreagh agus cúplaíochtaí ina gcumas.
13.Ceosan amach; 0~50 μm a leasuithe;
14.Mód éadroma: éadrom giorrúil, atá i gcónaí éadrom tharamh, éadrom mhealair mhíoraidhe, agus éadrom cumhachtach míoraidhe; 15.Fórmál cóipthe: aer