1. Is féidir leis an ábhar scagadh aghaidh a thógáil ar mhasca 5 "x 5" ceann, gan réamhriacht speisialta don tiomantas an phainéil (ranguite ó 1 go 3mm).
2. Is féidir an ábhar a chur i bhfeidhm ar phainéal ciorcalach ф 100mm;
3. Tiomantas na painéile ≤ 5mm;
4. Solas:
Foinse solais: úsáideann lámpa meircias díreach spéisiúil GCQ350Z fosta.
Rang solais: ≤ ф 117mm Crann solais: ф 100mm
fan ф Ina measc 100mm, ní hé sinntíocht na n-úsáid níos mó ± 3%, agus is íobairt na n-úsáid >6mw/cm² (meastar an méid seo ag baint úsáid as foinse solais UV I-líne 365nm).
5. Úsáideann an ábhar seo realaí ama éadrom ón gclár stairiúil chun an dorus pneiméadrach a rialú, cinnte agus deacair an oibríocht.
6. Is ionann an mála seo le hábhar eolais a chur i gcás a chur in iúl:
7. Iontrálacha eolais crua: Bain úsáid as fholctha fuinneamh chun tiomantacht ard a fháil, tiomantas ≤ -0.05MPa
8. Fosgaint teannmhara: Is féidir leis an n-áilleumas teann a chur ar an n-fhacarach go dtéann sé idir -0.02MPa agus -0.05MPa.
9. Fosgaint mhicreolaíochta: níos lú ná fosgaint teannmhara, fhuacht ≥ -0.02MPa.
10. Réasún fosgaithe: Is féidir le réasún fosgaithe hard contact (teannmhara) an chórais seo a bhaint amach 1 μ os cionn m (caithfidh an tuairim "clat" agus "ceap" a dhéanamh ag an úsáideoir a bheith i gcompliance le rialacha náisiúnta, agus caithfidh an timpeallacht, an téamperatúr, an fhiabhracht, agus an fhuascailt a chontroll go scrict. Úsáidtear photoresist chrua atá lochtaithe agus is féidir leis an n-gaisceanna photoresist a chontroll go scrict. Ar nós sin, tá na próiseas sraith nóiméadacha).
11. Comhordú: Tá an córas faighte ag cruthú de dhá chamra CCD atá suite ar dhá miscrópa singil truigh agus níodar chuig an scáileán trí shléibh fhíse.