1. Is féidir leis an bhfeiste masc cearnach 5 "X5" a adsorbú i bhfolús, gan aon riachtanais speisialta maidir le tiús an phláta (idir 1 go 3mm).
2. Is féidir an gléas a chur i bhfeidhm ar fhoshraith ciorclach ф 100mm;
3. Tiús tsubstráit ≤ 5mm;
4. Soilsiú:
Foinse solais: Úsáidtear lampa mearcair srutha dhírigh GCQ350Z ultra-ardbhrú.
Raon soilsithe: ≤ ф 117mm Limistéar nochta: ф 100mm
fanacht ф Laistigh de raon 100mm, is é ≤ ± 3% an míchothromas nochta, agus is é an déine nochta ná>6mw/cm2 (déantar an táscaire seo a thomhas ag baint úsáide as foinse solais UV I-líne 365nm).
5. Glacann an gléas seo sealaíochta ama allmhairithe chun an cróluas aeroibrithe a rialú, ag cinntiú oibriú cruinn agus iontaofa.
6. Is meaisín nochta teagmhála é an meaisín seo is féidir a bhaint amach:
7. Nochtadh teagmhála crua: Bain úsáid as bhfolús píblíne chun teagmháil ardfholús a fháil, folús ≤ -0.05MPa
8. Nochtadh teagmhála bog: Is féidir leis an mbrú teagmhála an fholús a ardú go dtí idir -0.02MPa agus -0.05MPa.
9. Nochtadh teagmhála micrea: níos lú ná teagmháil bhog, bhfolús ≥ -0.02MPa.
10. Rún nochta: Is féidir le réiteach nochtadh teagmhála crua an fheiste seo 1 μ Os cionn m a bhaint amach (ní mór do chruinneas "pláta" agus "sliseanna" an úsáideora cloí leis na rialacháin náisiúnta, agus is féidir leis an gcomhshaol, teocht, taise, agus deannach. a rialú go docht. Úsáidtear photoresist dearfach allmhairithe, agus is féidir tiús an photoresist aonfhoirmeach a rialú go docht Ina theannta sin, cuirtear na próisis tosaigh agus cúil chun cinn.
11. Ailíniú: Tá an córas breathnóireachta comhdhéanta de dhá ceamara CCD atá suite ar dhá mhicreascóp feadáin aonair agus atá ceangailte leis an scáileán taispeána trí chábla físeáin.