Córas RTP Deisce Próiseála Teirmeach Mear do leathsheoltóirí cumaisc SlC LED agus MEMS, an tSín Córas RTP Deisce Próiseála Teirmeach Mear do leathsheoltóirí cumaisc SlC LED agus Monaróirí MEMS, Soláthraithe, Monarcha

Cur síos ar an Táirge

Próiseáil Mear Teirmeach

Trealamh RTP iontaofa a sholáthar do leathsheoltóirí cumaisc, SlC, LED agus MEMS

Feidhmchláir tionscail

* Ocsaíd, fás nítríde
* Cóimhiotal tapa teagmhála Ohmic
* Cóimhiotal silicíde a ainealú
* Aife ocsaídiúcháin
* Próiseas arsenide Gailliam
* Próisis cóireála teasa tapa eile

Córas RTP Deisce Próiseála Teirmeach Mear do leathsheoltóirí cumaisc sonraí SlC LED agus MEMS

buntáistí táirge

1. Clúdaíonn an raon próiseas 200-1250 ℃
2. Córas bainistíochta réimse teochta cumhachtach
3. Algartam Tiomnaithe RTP
4. Gairmiúla TC Wafer uirlis calabrú

Gné

* Téamh feadán lampa halaigine infridhearg, fuarú ag baint úsáide as fuarú aer;
* Rialú teochta PlD le haghaidh cumhachta lampa, is féidir leis an ardú teochta a rialú go cruinn, ag cinntiú go bhfuil atáirgtheacht mhaith agus aonfhoirmeacht teochta;
* Socraítear inlet an ábhair ar dhromchla WAFER chun táirgeadh fuarphointe a sheachaint le linn an phróisis annealaithe agus chun aonfhoirmeacht teocht maith an táirge a chinntiú;
* Is féidir an dá mhodh cóireála atmaisféarach agus bhfolús a roghnú, le réamhchóireáil agus íonú an chomhlachta;
* Tá dhá shraith de gháis phróisis chaighdeánach agus is féidir iad a leathnú go dtí suas le 6 shraith de gháis phróisis;
* Is é 12 orlach (300x300MM) uasmhéid sampla sileacain criostail aonair intomhaiste;
* Tá na trí bheart sábháilteachta de chosaint oscailt teochta sábháilte, cosaint cead oscailt rialtóir teochta, agus cosaint sábháilteachta stad éigeandála trealaimh i bhfeidhm go hiomlán chun sábháilteacht na hionstraime a chinntiú;

Comhtharlú cuair 20ú céim

Córas RTP Deisce Próiseála Teirmeach Mear do leathsheoltóirí cumaisc SlC LED agus monarú MEMS

20 cuair le haghaidh rialú teochta ag 850 ℃

Córas RTP Deisce Próiseála Teirmeach Mear do leathsheoltóirí cumaisc mhonarcha SlC LED agus MEMS

Comhtharlú de 20 cuair teocht an meán

1250 ℃ rialú teochta

Córas RTP Deisce Próiseála Teirmeach Mear do leathsheoltóirí cumaisc SlC LED agus soláthraí MEMS

Rialú teochta RTP 1000 ℃ próiseas

Próiseas 960 ℃, arna rialú ag piriméadar infridhearg

Sonraí próiseas LED

Braiteoir teochta is ea RTD Wafer a úsáideann teicnící próiseála speisialta chun braiteoirí teochta (RTDanna) a leabú ag láithreacha sonracha ar dhromchla wafer, rud a chuireann ar chumas teocht an dromchla ar an wafer a thomhas i bhfíor-am.
Is féidir tomhais teochta fíor ag láithreacha sonracha ar an wafer agus dáileadh teocht iomlán an wafer a fháil trí RTD Wafer; Is féidir é a úsáid freisin chun monatóireacht leanúnach a dhéanamh ar athruithe teochta díomuana ar sliseog le linn an phróisis chóireála teasa.

Monarcha View

Próifíl na Cuideachta

16 bliain de thaithí in onnmhairiú trealaimh！ Is féidir linn réiteach aon-stad Próisis agus Trealamh Leathsheoltóra Tosaigh / Deiridh Cúil a sholáthar duit!