eitem |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Méid an Táirge |
≤6 cearr |
≤8 cearr |
≤8 cearr |
||
Foinse RF |
0-300W/500W/1000W Ailíte, comhphoiblíochta uathuimh |
||||
Púmp Mhóleacail |
-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Sainiú |
Antiseptic620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Sainiú |
|||
Pumpe Foreline |
Pumpe meicneolaíochta\/pumpe tharla |
Caidéal Tirim |
|||
Brú phróiseas |
Brú neamhrialtáilte\/0-1Torr brú rialtaithe |
||||
Cineál gáise |
H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Sainiú (Go háirithe 9 slíthe, gan gás coirpéis nó tuigseach) |
H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(Go háirithe 9 slíthe) |
|||
raon gáis |
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/saincheaptha |
||||
LódáilLock |
Igíonn Seo\/Níl Seo |
Tá |
|||
Seiceáil teocht samplach |
10°C~Teocht seomra/-30°C~100°C/Saincheaptha |
-30°C~100°C/Saincheaptha |
|||
Fiosrú theithne héilime |
Igíonn Seo\/Níl Seo |
Tá |
|||
Linseáil spás pocsiúcháin |
Igíonn Seo\/Níl Seo |
Tá |
|||
Seiceáil teocht fhréamh spáis |
Níl/Teocht seomra~60/120°C |
Teocht seomra-60/120°C |
|||
Córas Rialaithe |
Gnáth-riachtanach |
||||
Boghdán-mháirial |
Bunaithe ar siol: Si\/SiO2\/SiNx··· IV-IV: SiC Mháirial magnetacha/mháirial loinge Méadar meitil: Ni\/Cr\/Al\/Au..... Méadar breise: PR\/PMMA\/HDMS\/Organic film...... |
Bunaithe ar siol: Si\/SiO2\/SiNx...... III-V( nóta 3): InP\/GaAs\/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (Nóta 3): CdTe...... Mháirial magnetacha/mháirial loinge Matail: Ni/Cr/A1/Au...... Matail éadrom: PR/PMMA/HDMS/fíon scagtha... |
|||
Úsáidear é don scailpadh máterial difhicil a shcalpdh, mar shampla roinnt meital (mar sin Ni \/ Cr) agus ceimicí, agus an glasú phatrún de na matam réalaithe tríd brú físeach. |
Úsáidear é chun glanadh a dhéanamh agus baint de phrionsabalacha orgánacha mar sin photoresist (PR) \/ PMMA \/ HDMS \/ polaiméar |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
