Córas eitseála ian imoibríoch (RIE) Meaisín tionscal leathsheoltóra, an tSín Córas eitseála ian imoibríoch (RIE) Déantóirí meaisín tionscal leathsheoltóra, Soláthraithe, Monarcha

Cur síos ar an Táirge

Ábhair Fheidhmeacha:

Ciseal pasivation: SiO2, SiNx
Backsilicon
Ciseal greamaitheacha: TaN
Trí pholl: W

Gné:

1. Eitseáil ciseal pasivation le nó gan poill;

2. Eitseáil ciseal ghreamaitheacha;

3. Ar ais eitseáil sileacain

Córas eitseála ian imoibríoch (RIE) Soláthraí meaisín tionscal leathsheoltóra

Córas eitseála ian imoibríoch ( RIE ) Sonraí meaisín tionscal leathsheoltóra

Córas eitseála ian imoibríoch (RIE) Monarcha meaisín tionscal leathsheoltóra

Sonraíocht

Léaráid chumraíocht tionscadail agus struchtúr meaisín

Mír	MD150- RIE	MD200- RIE	MD200C-RIE
Méid Táirge	≤6 orlach	≤8 orlach	≤8 orlach
Foinse cumhachta RF	0-300W/500W/1000W Meaitseáil uathoibríoch inchoigeartaithe
Caidéal móilíneach	-/620(L/s)/1300(L/s)/Saincheaptha			Antiseptic620(L/s)/1300(L/s)/Saincheaptha
Caidéal forlíne	Caidéal meicniúil/caidéal tirim			Caidéal tirim
Brú próisis	Brú neamhrialaithe/0-1Torr brú rialaithe
Cineál gáis	H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Custam (Suas le 9 chainéal, gan aon ghás creimneach & tocsaineach)			H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels)
Raon gáis	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom
LoadLock	Tá Níl			Is ea
Rialú teochta samplach	10°C ~ Seomra tem/-30°C~100°C/Custom			-30°C~100°C/Custom
Ar ais fuarú héiliam	Tá Níl			Is ea
Líneáil cuas a phróiseáil	Tá Níl			Is ea
Rialú tem balla cuas	Níl/Seomra~60/120°C			Teocht an tseomra - 60/120 ° C
Córas rialaithe	Auto / saincheaptha
Ábhar eitseála	Bunaithe ar shileacan: Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Ábhair mhaighnéadacha/ábhair chóimhiotail Ábhar miotalach: Ni/Cr/Al/Au..... Ábhar orgánach: PR/PMMA/HDMS/Orgánach scannán......			Bunaithe ar shileacan: Si/SiO2/SiNx...... III-V(3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe...... Ábhair mhaighnéadacha/ábhair chóimhiotail Ábhar miotalach: Ni/Cr/A1/Au...... Ábhar orgánach: PR / PMMA / HDMS / scannán orgánach ...

Toradh Próisis

Eitseáil ábhar sileacain-bhunaithe

Ábhair sileacain-bhunaithe, patrúin nana-imprint, eagar
patrúin agus eitseáil patrún lionsa

Córas eitseála ian imoibríoch (RIE) Monarú meaisín tionscal leathsheoltóra

InP eitseáil teocht gnáth

Eitseáil patrún gléasanna InP-bhunaithe a úsáidtear i gcumarsáid optúil, lena n-áirítear struchtúr tonn-treoraithe, struchtúr cuas athshondach struchtúr iomaire etc

Eitseáil ábhar SiC

Oiriúnach le haghaidh feistí micreathonn, feistí cumhachta, etc

Sputtering fisiciúil, eitseáil Eitseáil ábhar orgánach

Cuirtear i bhfeidhm é ar eitseáil ábhar atá deacair a eitseáil ar nós roinnt miotail (cosúil le Ni / Cr) agus criadóireacht, agus an
Is trí bhuamáil fhisiceach a dhéantar tcháil phatrúin ábhar.

Úsáidtear é le haghaidh eitseáil agus baint comhdhúile orgánacha mar photoresist (PR) / PMMA / HDMS / polaiméir

Pacáil & Seachadadh

Próifíl na Cuideachta

Tá 16 bliain de thaithí againn i ndíolachán trealaimh. Is féidir linn réiteach gairmiúil trealamh Líne Pacáiste Leathsheoltóra Aon-stad Tosaigh agus Cúil ón tSín.