Córas éadach ion réachtach RIE cluich RIE Análú Failíochta , China Córas éadach ion réachtach RIE cluich RIE Análú Failíochta Manufacturers, Suppliers, Factory

Cur síos ar an gcrann

Córas éitighthe réacdaoine

Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis supplier

Cur i bhfeidhm

Céim passivation: SiO2, SiNx
Siarsilicon
Céim adhésach: TaN
Trí thomhas: W

Naisc

1. Éitighthe céime passivation le nó gan nádúir;

2. Scailpadh réamhchlúdaigh;

3. Scailp silicín ar chúl

Speisifeicáid

Cumraíocht tionscnamh agus íomhá struchtúr na mhinicí

eitem	MD150-RIE	MD200-RIE	MD200C-RIE
Méid an Táirge	≤6 cearr	≤8 cearr	≤8 cearr
Foinse RF	0-300W/500W/1000W Ailíte, comhrothnú uathuinn
Púmp Mhóleacail	-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Sainiú			Antiseptic620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Sainiú
Pumpe Foreline	Pumpe meicneolaíochta\/pumpe tharla			Caidéal Tirim
Brú phróiseas	Brú neamhrialtáilte\/0-1Torr brú rialtaithe
Cineál gáise	H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Sainiú (Go háirithe 9 slíthe, gan gás coirpéis nó tuigseach)			H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(Go háirithe 9 slíthe)
raon gáis	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/saincheaptha
LódáilLock	Igíonn Seo\/Níl Seo			Tá
Seiceáil teocht samplach	10°C~Teocht seomra/-30°C~100°C/Saincheaptha			-30°C~100°C/Saincheaptha
Fiosrú theithne héilime	Igíonn Seo\/Níl Seo			Tá
Linseáil spás pocsiúcháin	Igíonn Seo\/Níl Seo			Tá
Seiceáil teocht fhréamh spáis	Níl/Teocht seomra~60/120°C			Teocht seomra-60/120°C
Córas Rialaithe	Gnáth-riachtanach
Boghdán-mháirial	Bunaithe ar sioc: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Mháirial magnetacha/mháirial loinge Mháirial meitil: Ni/Cr/Al/Au. Mháirial orgánach: PR/PMMA/HDMS/Filim orgánach.			Bunaithe ar sioc: Si/SiO2/SiNx. III-V (Nóta 3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (Nóta 3): CdTe. Mháirial magnetacha/mháirial loinge Matailiciúil: Ni/Cr/A1/Au. Béarógach: PR/PMMA/HDMS/filim béarógach.

1. Cuirfíonn sé fúailte ar pháipéir.
2. Nód íochtarach is lú a d'fhéadfaimid a phróiseáil: 14nm:
3. Ráta éadach SiO2/SiNx: 50~150 nm/cead;
4. Rudaíocht an bhfreastalaí éadaithe: 5. Tacaíonn sé le hárdán pasifithe, réad adhaidh agus éadach siol back;
6. Cuimhníocht roghnach Cu/Al:>50
7. Uirlis ina n-aghaidh LxWxH: 1300mmX750mmX950mm
8. Tacaíonn sé le thiocfadh amháin

Torthaí phróiseála

Scailpadh máterial bunaithe ar sileain

Máteriálacha bunaithe ar sileain, patrúin nánaimprint, fosta
patrúin agus scailpadh phatrúin ghléine

Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory

Scailpadh téamh iomlán ar InP

Scailpadh phatrún de chuid eangachtaí bunaithe ar InP a úsáidtear i dchumarsáid ghleice, lena n-áirítear struchtúr loingseora, struchtúr chóilte resonánta.

Scailpadh máterial SiC

Idirtheangach don úsáid i bhfeithicilí mhicrige, feithicilí poitse, nó eile.

Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis details

Sputtering físiceach, scailpadh Máterial uimhirneacha tching

Úsáidear é don scailpadh máterial difhicil a shcalpdh, mar shampla roinnt meital (mar sin Ni \/ Cr) agus ceimicí, agus an
scailpadh phatrúin.

Úsáidear é chun glanadh a dhéanamh agus baint de phrionsabalacha orgánacha mar sin photoresist (PR) \/ PMMA \/ HDMS \/ polaiméar

Taispeántas na n-aitheantas teorainn

Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis manufacture

Mion-eirí i gCás Ionadacha

Pacáiste & Socruithe

máinsear sóideadh

Próifíl an Chompaid

Is comhad téicneolaíochta staad taobh istigh an Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) a thugann faoi láthair go bhfuil sé in ann glanadh agus anailís a dhéanamh ar ghnéithe éagsúla de mháirtealaí le príosúnacht íontach. Tá an máinleas seo dírithe chun úsáid a bheith againn sna himní uile ar feadh ár n-innéacs, áit a mbeadh rialacha nó glanadh beag airgeadaithe ag teastáil go rialta. Tá sé bunaithe ar mhatéadálacha den chéad chuí a chuireann sé i gcás a bheith fíor, déanta féin agus in ann toradh soiléir a chruthú.

Cuirtear RF plasmáire generator i bhfeidhm atá gníomhach. Úsáideann an chóras RIE ceangal atá idirthe chun plasmar a chruthú ón ghlaoch benzin. Cruthaíonn an téchníoc seo plasmar den chéad chuí a chuirfear suas leis an rata glanaíocht ina nghearróg. Is gníomhach, tábhachtach agus cinnte go hiomlán an próiseas glanadh don chóras RIE, a ligíonn domhain shonrach a bhaint amach. Is cuma seo é aon rogha iontach do shaoráid nó obair himní.

Tá réamhchlár ann leictreach mar phríomhchuspóir, lena n-áirítear micreolaíocht, cruthú MEMS agus cruthú seimpiótach. Tá ról tábhachtach againn sa chlár scailp agus micrscailp ar mhaithreacha seimpiótacha mar silicon, gallaim arsenide agus gearmánium san eagraíocht seimpiótach. Cruthaíodh an úsáid Minder-High-tech RIE chomh maith i gcinneadh MEMS don chur i láthair máta blanda agus máta crua mar pholyimíde, sílicin dioxaid agus sílicin nitrid. Mar sin féin, is féidir a fháil é don dúnad míshaincheart i nghearrdhéanta atá in éagrácht le heolais nó gníomhaíochtaí.

Aontar feidhmeanna a bhfuil iad éagsúla a fhacilitíonn é a úsáid go héasca. Is é sin soiléir, is féidir leis an ópéireach comhlacht iomlán ar na paraiméadair etachta a úsáidtear sa mheaisín. Sábháltar sainseata an mhachna i stóras inmheánach agus is féidir leis teacht ar níos mó ná 100 séimh de shainshaithe. Tá scáileán tiormhainne aige a ligann don ópéireach paraiméadair a shocraithe mar shampla íomhár gas, tuiscint fuaime agus sprioc. Tá comhréire riaghthemp aig an mheaisín Minder-High-tech RIE chun cinntiú go gcaitimid na hábhar faoi theocht riachtanach agus a chuirfidh críochna orthu.

Idéalach do chuideachtaí atá ag iarraidh meaisín uafásach agus comhfhada a dtabharfaidh toradh annamh agus tábhachtach. D'fhágadh an méid seo le teicniúc is fearr agus leibhéal ard. I gcás éagsúla sektor, is rogha iontach é mar thoradh ar a n-éifeacht agus a bheith beartaithe.

Tá chóras eagrachail ann chomh maith a ligann do na hábharacha fheabhsú a shainiú agus a chinntiú ar aon toiseach. Déanann an chóras seo iarracht go mbeidh an mála RIE ag feabhsú agus ag fanacht uasán ó thaobh ansaithe agus comhshó ar fad tríd an gcéim beo. Do gach níos mó agus éagsúlach, is féidir leis an Minder-High-tech RIE machine an freagra ceart a thabhairt.

foshuíomh

Maidir Linn

MH Equipment

Réiteach

Úsáideoirí ón gCéibh

Videoclip

Deimhnigh Linn