Plasma |
RF |
RF |
||
Cumhacht |
ICP |
1000W |
1000W |
|
BIAS |
600w(option) |
600w(option) |
||
Scop Céanna |
4~8 inch |
4~8 inch |
||
Nóiméad faictheach singil |
1 |
2 |
||
Méadúchán fíor-shnámh |
1080x1840x1800mm |
1340x2050x1800mm |
||
Rialtaí Sistém |
Córas Rialaithe Stairiúil |
Córas Rialaithe Stairiúil |
||
Leibhéal Uathoibrithe |
Uathoibríoch |
Uathoibríoch |
Néacsaithe Chrua |
||
Am in eiseamláidh / Am ar fheabhsú |
≧95% |
|
Am cuí mheán le cur i gcleacht (MTTC) |
≦6 uair na séithi |
|
Am cuí mheán le coiriú(MTTR) |
≦4 uair na séithi |
|
Am mheán idir fliuchaidh(MTBF) |
≧350 uair na séithi |
|
Am mheán idir cabhrach(MTBA) |
≧24 uair na séithi |
|
Meán pláid idir briseadh(MWBB) |
≦1 in 10,000 wafers |
|
Rialú plaite fuaire |
50-250° |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved