Foinse plasma |
RF |
||
Cumhacht |
ICP |
_ |
|
BIAS |
1000W(roghnach) |
||
Scop Céanna |
4~8 inch |
||
Nóiméad faictheach singil |
1 |
||
Méadúchán fíor-shnámh |
850mmx900mmx1850mm |
||
Rialtaí Sistém |
PLC |
||
Leibhéal Uathoibrithe |
Láimh |
Néacsaithe Chrua |
||
Am in eiseamláidh / Am ar fheabhsú |
≧95% |
|
Am cuí mheán le cur i gcleacht (MTTC) |
≦6 uair na séithi |
|
Am cuí mheán le coiriú(MTTR) |
≦4 uair na séithi |
|
Am mheán idir fliuchaidh(MTBF) |
≧350 uair na séithi |
|
Am mheán idir cabhrach(MTBA) |
≧24 uair na séithi |
|
Meán pláid idir briseadh(MWBB) |
≦1 in 10,000 wafers |
|
Rialú plaite fuaire |
50-250° |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved