Plasma
|
RF
|
RF
|
||
Cumhacht
|
ICP
|
1000W
|
1000W
|
|
BIAS
|
600w(option)
|
600w(option)
|
||
Scop Céanna
|
4~8 inch
|
4~8 inch
|
||
Nóiméad faictheach singil
|
1
|
2
|
||
Méadúchán fíor-shnámh
|
1080x1840x1800mm
|
1340x2050x1800mm
|
||
Rialtaí Sistém
|
Córas Rialaithe Stairiúil
|
Córas Rialaithe Stairiúil
|
||
Leibhéal Uathoibrithe
|
Uathoibríoch
|
Uathoibríoch
|
Néacsaithe Chrua
|
||
Am in eiseamláidh / Am ar fheabhsú
|
≧95%
|
|
Am cuí mheán le cur i gcleacht (MTTC)
|
≦6 uair na séithi
|
|
Am cuí mheán le coiriú(MTTR)
|
≦4 uair na séithi
|
|
Am mheán idir fliuchaidh(MTBF)
|
≧350 uair na séithi
|
|
Am mheán idir cabhrach(MTBA)
|
≧24 uair na séithi
|
|
Meán pláid idir briseadh(MWBB)
|
≦1 in 10,000 wafers
|
|
Rialú plaite fuaire
|
50-250°
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved