Cur i bhfeidhm forleathan meaisíní glantacháin plasma sa tionscal leathsheoltóra

Tá cur i bhfeidhm meaisíní glantacháin plasma sa tionscal leathsheoltóra an-fhairsing, léirithe go príomha sna gnéithe seo a leanas:

▘Glanadh gníomhachtaithe dromchla: Le haghaidh glantacháin gníomhachtaithe dromchla sliseog, sceallóga IC, sliseog sileacain leathsheoltóra, etc., tá feidhm ag teicneolaíocht glantacháin plasma scannáin ocsaíd, substaintí orgánacha, maisc, etc. a bhaint as an dromchla wafer, cóireáil íonúcháin agus gníomhachtú dromchla , agus feiniméan sádrála fíorúil a sheachaint.

▘Próiseáil iarphacáistithe: Tar éis an pacáistiú sliseanna a bheith críochnaithe, glantar an t-ábhar pacáistithe chun iarmhair táthú agus éillithe a ghintear le linn an phróisis phacáistithe a bhaint, ag cinntiú cáilíocht an táirge. Is féidir le meaisíní glanta plasma cóireáil saor ó thruailliú a bhaint amach agus úsáid tuaslagóirí díobhálacha a sheachaint a d'fhéadfadh dochar a dhéanamh do shláinte an duine.

▘Bain iarmhair photoresist: Úsáidte i bpróiseas photolithography de mhonarú leathsheoltóra chun patrún an trealaimh a shainiú. Tar éis liteagrafaíocht a bheith críochnaithe, is féidir leis an meaisín glantacháin plasma iarmhar photoresist a bhaint go tapa agus go críochnúil chun cruinneas an phhatrún agus iontaofacht an trealaimh a chinntiú.

▘ Réamhchóireáil ar thaisceadh scannáin: Le linn an phróisis taisce scannáin, ní mór an dromchla a choinneáil an-ghlan chun greamaitheacht agus aonfhoirmeacht an scannáin a chinntiú. Is féidir le glanadh plasma truailleáin agus iarmhair a bhaint go héifeachtach roimh sil-leagan, rud a fheabhsóidh cáilíocht na scannán tanaí.

▘ Modhnú dromchla: Ní hamháin go n-úsáidtear cóireáil plasma le haghaidh glantacháin, ach féadann sé modhnú dromchla a bhaint amach freisin. Trí chomhdhéanamh gáis agus paraiméadair phróiseála a choigeartú, is féidir le teicneolaíocht plasma feabhas a chur ar hidrophilicity nó hydrophobicity na n-ábhar, feabhas a chur ar fheidhmíocht agus ar chobhsaíocht feistí.

▘ Greamaitheacht a fheabhsú: Is féidir meaisíní glanta plasma a úsáid chun ábhair phacáistithe a ghlanadh, mar shampla plaistigh, criadóireacht, etc., chun greamaitheacht agus iontaofacht na n-ábhar pacáistithe a fheabhsú; Feabhas a chur ar fheidhmíocht greamaitheachta idir gráin agus greamachán seoltaí eochaircheap, feidhmíocht insíothlaithe greamaigh sádrála, feabhas a chur ar theannas nascáil na luaidhe, agus feabhas a chur ar iontaofacht na bhfeistí pacáistithe.