A reaktív ionos maratás ijesztő kifejezésnek hangzik, de valójában ez az a módszer, amellyel az emberek a technológia számára kis darabokból villásreggeli méretű darabokat készítenek. Ezek az apró darabkák kulcsfontosságú összetevői a mindennapi használatban lévő eszközök széles skálájának, például okostelefonoknak, számítógépeknek stb. Ennek a folyamatnak az a fő funkciója, hogy eltávolítsa az anyag részeit, így apró és pontos darabokat készíthet. Ebben a cikkben azt fogjuk megvitatni, hogy mi a reaktív ion-maratás – a RIE-vel végzett munka pozitív és negatív oldalai a plazmakémiai kezelés más módszereihez képest; a plazmakémia szerepe ebben a folyamatban; hogyan érhet el kiváló minőségű eredményeket a RIE berendezések helyes használatával, és végül hol foglalja el a helyét technológiai eszközkéntreadcrh xvv.
A reaktív ionos maratás egy összetett módszer, amely apró ionokat és gázt foglal magában az anyagdarabok levágására. Tekintsd úgy, mint egy nagy teljesítményű permetet, amely szelektíven kifújja az anyagot, hogy pontos formát alakítson ki. Ez azt jelenti, hogy ezeket az ionokat egy anyag felületére fújják. Ahogy az ionok nekiütköznek az anyagnak, reakcióba lépnek vele, és apró darabokra törnek, amelyeket el lehet távolítani. Az anyagot egy teljesen lezárt és levegőtől mentes dobozba helyezi, amelyet vákuumkamrának hívnak. Ezek a kis részecskék rádiófrekvenciás energiával keletkeznek, ahol ionokat hoznak létre.
A reaktív ionos maratás az egyik legjobb, ha a részletekről van szó. Ez azt jelenti, hogy nagy pontosságú szögletes és ívelt jellemzőket tud produkálni, de ez inkább gázzal történik, nem pedig folyadék felhasználásával. Ez azt jelenti, hogy az ezzel a módszerrel készített alkatrészek szó szerint megfelelnek a technológiának [1]. Ezenkívül ez az egyik leggyorsabb folyamat; rövid időn belül több alkatrész gyártható. Mivel ez a folyamat nagyon gyors, meglehetősen hatékony lehet azoknál a cégeknél, ahol nagy az igény egy adott alkatrészre.
De a reaktív ionos maratással is vannak problémák. Nem alkalmas minden típusú anyaghoz, mivel bizonyos fajták nem lesznek képesek ilyen lézeres vágásokra. És ehhez megfelelő hőmérséklet és nyomás szükséges a helyszínen. A megfelelő feltételeknek is jelen kell lenniük, különben az új folyamat nem teljesíti jól. Az egyetlen hátrány az, hogy más maratási eljárásokhoz képest költséges lehet a létrehozása, ami eltántoríthat egyes vállalkozásokat attól, hogy kihasználják a porfestés előnyeit.
Jelentős helyet foglal el a plazmakémia a reaktív ionmaratás folyamatában. Ezek a plazma által termelt ionok az anyag kémiai kötéseinek felbomlását okozzák, ami vágáshoz vezet. A kötések felbomlása után az anyag apró darabokra bomlik, amelyek aztán egy gázárammal elrepülnek. Az, hogy a kémiai reakció során mi keletkezik, befolyásolhatja a használt gáz típusa. Például a nitrogéngáz tiszta maratást biztosít, amely lehetővé teszi az anyagok eltávolítását anélkül, hogy nemkívánatos maradványokat hagyna, míg az oxigéngáz különböző típusú maratást biztosít, amely a követelményektől függően megfelelő lehet.
Az erős folyamatszabályozás kritikus fontosságú ahhoz, hogy jó eredményeket érjünk el reaktív ionos maratással. Ehhez számos paraméter mérésére van szükség, beleértve a hőmérsékletet, a nyomást, a gázáramlást és az ionenergiákat. A stabil környezet hozzájárul a konzisztens, kiszámítható eredményekhez a maratási vonalban. Ha e változók egyikét nem szabályozzák hatékonyan, az befolyásolhatja a végterméket. Ezenkívül az anyag tisztítása és megfelelő előkészítése szükséges, mielőtt elkezdené a maratást. Ha minden időt a maratandó anyag előkészítésére fordítottak, ennek jobb eredményt kell elérnie.
Példa erre a reaktív ionos maratás, amelyet általánosan használnak a microfab iparban, hogy nagyon kis alkatrészeket készítsenek különféle műszaki eszközökhöz. A grafén az egyik hasznos dolog az apró elektronikus áramkörök, érzékelők és mikrofluidikai eszközök gyártása, amelyek elengedhetetlenek a modern technológiához. Mikro-elektromechanikus rendszerek (MEMS) előállítására is használják, amelyek olyan kis eszközök, amelyek szó szerint látnak, hallanak, éreznek és mozgatnak dolgokat egy-egy molekula szerint. Ezeket az ng MEMS-eket számos alkalmazásban alkalmazzák: a kis eszközöktől, például az okostelefonoktól a nagyobb eszközökig, sőt orvosi berendezésekig. Ezen eljárások között a reaktív ionos maratás kritikus szerepet játszik, mivel apró és precíz tulajdonságokat tud elérni az ilyen fejlett technológiákhoz.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Minden jog fenntartva