Projekt |
Tartalom |
Termék típusa |
6", 8", 12" keretű wafer |
2D vizsgálati elemek |
Idegen anyag, maradék klé, részecskék, csúszások, törések, befeltétel, CP elterjedés, túlzott terület stb. Vágócsatorna elterjedés és cserélődés |
Vágási útvonal ellenőrzési elemek |
6", 8", 12" keret kassétta |
Lencse és Felbontás |
2x (2,75 µm) / 3,5x (1,57 µm) / 5x (1,1 µm) / 7,5x (0,73 µm) / 10x (0,55 µm) |
Pontosság |
0,55 µm/pixel |
Opcionális és Testreszabott |
Tinta modul, infravörös modul |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved