A Minder-Hightech egy halványvezeték gyártó. A halványvezetékek kritikus komponensei sok modern élet részének, például a mobiltelefonoknak és számítógépeknek. Most pedig néhány lépés van a halványvezetékek létrehozásában, de az első lépés egy minta alkotása egy úgynevezett lemezen, amit wafer-nek hívunk.

Ez a minta elkészítéséhez egy speciális anyagot helyezünk el a waferekre. Ez az anyag fotoszennyezőként (photoresist) ismert. Miután a fotoszennyezőt leterítettük, fénytértékesítjük. A fény alatt a fotoszennyező egy területén merevedik és erős lesz. Az árnyékos területeken maradnak puha részek, amelyeket ki lehet törölni.

Amikor megkapjuk a kívánt mintát a waferon, a fotoszennyezőt el kell távolítani azokból a területekből, ahol további feldolgozást végezünk. Itt játssza a szerepet a Plazmabőröző valójában.

Plazma-alapú módszerek a fotoszennyező eltávolítására

A plazma egy olyan gázállapot, amely nagy energiát tartalmaz, mivel magas elektrikus töltést kapott. És ez a aktivált gáz nagyon hasznos a fotoreziszt eltávolítására a vashely színfelszínen. A plazmával a fotoreziszt rosszul láthatóvá válhat, és így sokkal könnyebb tisztítani.

Két különböző technika áll rendelkezésre a fotoreziszt eltávolításához plazmával: szárító etching és az ashing.

A szárító etching: Ebben a technikában a valódi plazma reagál a fotoreziszttel. A plazma akkor reagál a fotoreziszttel, amikor érintkezik vele. Ez a reakció bontsa fel a fotorezisztet és átalakítja gázzá. Ez a gáz alapú anyag később tisztítható el a vashely felszínéről, ami lehetővé teszi a szükséges területek feltárását, hogy tiszták és további fejlesztésre készek legyenek.

Ashing — Ez egy másik módja annak, hogy ezt megoldjuk; ebben a módszert nem reaktív plazmát használnak a fotoérzékeny anyag elszámolására. A plazma darabolja a fotoérzékeny anyagot kis darabokká. Ezeket a kis darabokat majd le lehet mosni a vészen. Ez az eljárás alkalmas erre, és védje meg a vést, miközben eltávolítja a nem szükséges fotoérzékeny anyagot.

Reaktív plazma használata fotoérzékeny anyag leválasztására

Plazma felületi kezelés nagyon hatékony eszköz, amely segít nekünk a legnehezebb fotoérzékeny anyagok leválasztásában a vészből. Annyira hihetetlen a plazma önmagában, de a legjobb része az, hogy super selektív ügynököt tehetünk belőle. Az azt jelenti, hogy finomhangolható úgy, hogy csak specifikusan reagáljon a fotoérzékeny anyaggal, nem pedig az alatta lévő anyagokkal.

Például: Ha van egy minta a szilíciumlapra, ahol fémmel van fedve a fotoerzés, használhatunk olyan plazmát, amely csak a fotoerzéssel reagál. Így el tudjuk vágatni a fotoerzést anélkül, hogy károsítanánk az alatta levő fémet. Most ez nagyon fontos, mivel a folyamat során a szilíciumlap minden része meg kell maradjon érintetlenül.

A Plasma Technika a Fotoerzés Eltávolítására

Minder-Hightech újkorú plazma-technológiát alkalmaz a fotoerzés eltávolítására a szilíciumlapokról. Ez lehetővé teszi nekünk hibátlan halványvezetékek gyártását, amelyek magas minőségűek.

Gyors, testreszabható igényeid szerint A rendszereink úgy vannak tervezve, hogy seemlesen integrálódjanak a munkafolyamodba. Ez azt jelenti, hogy képesek vagyunk rövid idő alatt eltávolítani a fotoerzést. És mivel gyorsak vagyunk, teljesíthetjük az ügyfeleink teljes kéréseit, és nagyszerű termékeket szállítunk nekik akkor, amikor szükség van rájuk.

De a plazmás rendszereink nemcsak hatékonyak, hanem nagyon pontosak is. Ez a pontosság lehetővé teszi számunkra, hogy csupán a fotorezistanciát távolítsuk el. A technológia miatt egyéb részeket nem sért a folyamat során, és nem vehetjük igénybe azt. Ez a szisztematikus gyakorlat még fontosabb a kiválasztott szemiconductorek minőségére nézve.

Plazma-indukált fotorezisztenségi eltávolítás szemiconductoreken

Tehát, röviden, a plazma egy szuperképesség, amely lehetővé teszi számunkra, hogy hatékonyan távolítsunk el néhány fotorezisztet a kalapács felületéről. A Minder-Hightech-nél a legújabb és legjobb plazma technológiát alkalmazzuk nulla-hibás minőségű haladó szemikváltozók gyártására. Amikor plazmarendszerekkel van szó, megoldásaink olyanok, amelyek sebességet egyensúlyoznak pontossággal, miközben nagyon hatékonyak is. Ez azt jelenti, hogy képesek vagyunk megfelelni az ügyfeleinink igényeinek, és minőségi termékeket biztosítani hibák nélkül. Ez javít a szemikváltozók folyamatán, amit használunk. plazma eltávolítás technológia, amely teszi lehetővé számunkra, hogy szemikváltozóink minél jobbak legyenek mindenféle elektronikai eszközre, hogy megbízható berendezések legyenek.