1.A MDAM-CMPA200 egy ideális mósodási és pótoló rendszer nagy mennyiségű mósodásra és pótolásra különféle anyagú halványok (SiC, Szafír, GaN, AlN...) komponenseire, például szűrőanyagokra, csúcsanyagokra, LCD panellekre stb.
2.Négy motoros hajtás és négy extránagy pótoló fej lehetővé teszi, hogy egyszerre legfeljebb 48 db 2" halványt pótóljanak. Ezért az MP sorozatú berendezés alkalmas teljes terhelésű gyártási környezetben való használatra.
3.A gép automatikus vezérlő panelje hordozható érintőképernyős vezérlést használ, és a folyamatparamétereket szabadon beírhatják és változtathatják.
4.Az automatikus vezérlés és intelligens betöltési/kiszállítási rendszer gyorsan elpótólja a halványok epitaxies felkészítési felületéig. Ez a rendszer különösen hasznos a kemény alapanyagok kezeléséhez, és képes 8" ø méretű halványokkal is működni.
A 5.MDAM-CMPA200 pontosságú gerjesztési és pólezési gép egy gépállományt, távoli irányító rendszert, rögzítő eszközöket, vakuumrendszeret, töltőrendszeret, gerjesztési és pólezési lemezeket stb. tartalmaz.
A 6.MDAM-CMPA200 pontosságú gerjesztési és pólezési gép, a főegység és az összes melléklettartalékok korroziónak nagyon részérzetlen anyagokból készültek, a teljes gép korroziónak ellenálló, és alkalmas különféle halványvezetékes anyagok kémiai mechanikai gerjesztésére és pólezésére.
Egy önálló távoli irányító rendszeren keresztül elérhető a többgépes egyesített irányítás is. Egy irányítási terminálon keresztül számos gerjesztési és pólezési gépet irányíthatunk, amely kényelmesebb a folyamat során történő folyamatparaméterek változtatásához. Egyszerre több folyamat pontos számértékekkel való irányítását is megvalósíthatjuk, ami jelentősen növeli a munka hatékonyságát és a folyamat pontosságát.
8. Az automatikus kitöltő rendszer a csempés folyamat különböző követelményeinek megfelelően szabályozza a csempés sebességet, és automatikusan leáll, amikor a csempés anyag elfogy, így megakadályozza a minta károsodását a csempés nélkül.
9. A berendezés irányítási rendszerének van időzítő funkciója. Elérve a előre beállított időt, a rendszer automatikusan leáll.