Automatikus CMP Post Clean , Kína Automatikus CMP Post Clean Gyártók, beszállítók, Gyár

termékleírás

Tisztító berendezések ostya kémiai mechanikai polírozás után

CMP Post Chean

A gép jellemzői

Erős folyamatképesség
Kétkamrás kefe, széles körű eljárási alkalmazhatósággal
A berendezés kis területet foglal el, méretei 2200 * 800 * 2200 (mm)

Alkalmazás mezők

6-8 hüvelykes CMP fogmosás után
Tisztítás SIC vagy más aljzat csiszolása után

technikai paraméterek

Tisztítás 4 hüvelykes és 6 hüvelykes CMP után
Kétkamrás kialakítás, független kamrás működés Nedvesítse be és szárítsa vagy szárítsa be és szárítsa
Nagy sebességű centrifugálás száraz SRD

LoadPort egység, betöltő egység

A LoadPort az eszköz betöltő egysége

Nedves kazettás etetés
Permetező hidratáló funkcióval rendelkezik

Kefe egység, ostyatisztító egység

Kétkamrás egység, amely két különböző tisztítási megoldást képes támogatni
A fogmosás helyzete a recept szerint állítható Szállítószalag

SRD egység, Ostya szárító egység

Wafer bilincs típusú centrifugálás, 4000 RPM maximális sebességgel
AS tisztítást végezhet az ostya felületén és szórhatja a DIW-t

UNLOAD egység, vágóegység

Az UnLoad egység független FFU-val rendelkezik, amely biztosítja az ostyakimenet tisztaságát

Szállítószalag

A nedves terület szállítószalag

Száraz terület a robotteleportációhoz

Kefe egység leírása

Amint a bal oldali ábrán látható, a készülék kefeegysége két kefeegységből áll, nevezetesen a BU1 BU2.

Az egyes egységek kefenyomása külön állítható (a receptben megadottak szerint), és minden kefepenge egység külön-külön mosható különböző vegyszeres tisztítószerekkel.

A gép keféje PVA kefét alkalmaz, amely egy általánosan használt típus a piacon.
Az üregek közötti átvitel hevederes szállítószalag. Az üreg belsejében DIW RINSE található

SRD egység

Az SRD egység fel van szerelve egy befogó TOKOMÁNYAL és egy AS ARM-el, amely tovább tudja fizikailag tisztítani és centrifugálni az ostya felületét.

Leírás

Berendezés mérete:	2200 * 800 * 2200 (mm)
Be- és kirakodási módok	beszárad / nedves be / kiszárad
Kefés egységek száma	2
SRD egységek száma	1
Szállítási módszer	Nedves zóna szalagos szállítás, száraz zóna robotszállítás
Az 1-es kefés kamrával rendelkező berendezés mérete 1850 * 800 * 2200

Csomagolás és szállítás

Company Profile

FAQ

1. Az árról:
Minden árunk versenyképes és alkuképes. Az ár az eszköz konfigurációjától és testreszabási összetettségétől függően változik.

2. A mintáról:
Mintagyártási szolgáltatásokat tudunk nyújtani az Ön számára, de bizonyos díjakat is felszámíthat.

3. A fizetésről:
A terv megerősítése után először kauciót kell fizetnie nekünk, és a gyár megkezdi az áruk előkészítését. Miután a
A berendezés készen áll, és kifizeti az egyenleget, mi kiszállítjuk.

4. A kézbesítésről:
A berendezés gyártása után elküldjük Önnek az átvételi videót, illetve a helyszínre is eljöhet a berendezés átvizsgálására.

5. Telepítés és hibakeresés:
Miután a berendezés megérkezik az Ön gyárába, mérnököket küldhetünk a berendezés telepítéséhez és hibakereséséhez. Erről a szolgáltatási díjról külön árajánlatot adunk.

6. A garanciáról:

Berendezéseinkre 12 hónap garancia vonatkozik. A jótállási idő lejárta után, ha valamelyik alkatrész megsérült és cserére szorul, csak az önköltségi árat számítjuk fel.