Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Ajánlat kérése

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Főoldal
Rólunk
MH Equipment
Megoldás
Külföldi Felhasználók
Videó
Lépjen kapcsolatba velünk
Főoldal> Wafer Grinder
  • Automatikus egyetlapú szilíciumlemezes kémiai mechanikai pótoló Planarization CMP
  • Automatikus egyetlapú szilíciumlemezes kémiai mechanikai pótoló Planarization CMP
  • Automatikus egyetlapú szilíciumlemezes kémiai mechanikai pótoló Planarization CMP
  • Automatikus egyetlapú szilíciumlemezes kémiai mechanikai pótoló Planarization CMP
  • Automatikus egyetlapú szilíciumlemezes kémiai mechanikai pótoló Planarization CMP
  • Automatikus egyetlapú szilíciumlemezes kémiai mechanikai pótoló Planarization CMP
  • Automatikus egyetlapú szilíciumlemezes kémiai mechanikai pótoló Planarization CMP
  • Automatikus egyetlapú szilíciumlemezes kémiai mechanikai pótoló Planarization CMP
  • Automatikus egyetlapú szilíciumlemezes kémiai mechanikai pótoló Planarization CMP
  • Automatikus egyetlapú szilíciumlemezes kémiai mechanikai pótoló Planarization CMP

Automatikus egyetlapú szilíciumlemezes kémiai mechanikai pótoló Planarization CMP

Ingyenes ajánlat kérése
Termékleírás
ATOM Single Platen CMP

A gép jellemzői

A berendezés rugalmas, és több fej támogatását is biztosítja.
A berendezés feldolgozási képessége közeli a főárambeli modell szintjéhez azonos méretű termékek között.
Jó egyeztetett feldolgozási konzisztencia.

Alkalmazási területek

4-8 inch STI, ILD/IMD, TSV, TGV porolás és felületi porolás összetett anyagokból készített anyagokra, például SiC, LT, LN, GaAs stb.

Műszaki paraméterek

4-inch, 6-inch, 8-inch fejek, több zónás ellenőrzés
Φ20 inch 508MM Platen típusa
Fej nyomásvéralaposság <0.05PSI
Fej és Platen forgási sebesség-ellenőrzési pontosság <2RPM

1. LoadPort egység

A port elforgatható, hogy a Cassette-t a Qtank-ba merítsük, így elkerülhető a Slurry krystallizálódása a
porolt felületén a Wafer-en. Cassette Mapping funkcióval rendelkezik.

2. Robotanyag-visszahozatali egység

Egy 4-tengelyes robottal equipped van, amely képes automatikusan átvinni a savakkal történt átvitelre a Cassette-t a porolóegységhez.

3. Légitisztító egység

Ez az egység equipped Platen * 1, Fej * 1, PC *
1, Slurry kar * 1, HCLU * 1, és EPD végpont
érzékelés. El tudja érni az automatikus hártya betöltését és kivitelét, a több zónás fej ellenőrzését, a Slurry
lejtőpont változását a recept beállításokkal, a végpont érzékelését és más funkciókat.
CMP Légitisztító Fej
A Légitisztító Fejek, amelyeket ez a eszköz konfigurál, mind függetlenül fejlesztettek, tervezték és gyártották vállalatunk.
Az egyes közülük közül a 4-zoll 3-áramkörű Fej egyedi termékünk, amely kitölti Kínában a több áramkörű 4-zoll Fej hiányát. Vállalatunk gyorsan módosíthatja vagy testreszabhatja a Fejet a vevő termék jellemzői szerint. A TGV vékony filmet (200um) termék fejlesztése során a Fej belső szerkezetét módosítottuk a vékony film légitisztításának követelményeinek megfelelően. Az LN felület OX légitisztítási technológia fejlesztésének folyamán vállalatunk mélyen frissítette a 6-zoll Fejet, és sikeresen megfelelt a vevő termék követelményeinek.
Alkalmazások
Hagyományos IC síklózás pólezési folyamat;
TGV/TSV folyamat;
Smart Cut és Pre bonding CMP;
SIC alapanyag pólezése/gallium arsenid pólezése.
Specifikáció
Kikötő
Mennyiség * 1, Q-tankkal
Robot
Mennyiség * 1, vafer átvitelhez
HCLU
Mennyiség * 1, váz automatikus betöltéséhez és kiürítéséhez
Pólező fej
Mennyiség * 13 helyvezetéses vezérlés, 0,1PSI vezérlési pontossággal, 400-1200 UM vázfeladatok támogatására képes.
Festékfej sebesség
5-150 RPM
Festékszivattyú
Mennyiség * 1 Festékszivattyú Méret 508 mm, Festékpálya Sebesség 10-150 rpm.
Szállítókar
Mennyiség * 1 festékpálya. A festékpálya online (egyidejűleg) vagy offline (festés után) használható. A szállítókar
szállító tengelyrel van ellátva, amely forgatható és fel-lehet-mozgatni, és a sebesség és a nyomás vezérlhető. A
szállítási eszköz a szállító tengelyre van telepítve és gyorsan
eltávolítható. A különböző típusú festékpályákhoz különböző típusú berendezési eszközök vannak konfigurálva, beleértve a berendezési
keszeket, diamantgyűrűket és diamantlemezeket.
UPA fényképezőfej légnyomásszabályozó egység
Szám * 13A jobb felületi síkító hatás érdekében beállítható zóna
Poliris folyadékellátó szivattyú
A mennyiség * 2. A peristaltikus szivattyúkat folyadékellátásra használják, 2 peristaltikus szivattyúval, amelyek különböző csiszolásra vannak konfigurálva
folyadékok a fénylő lemezen. Minden egyes szivattyút a folyamat bármely szakaszában lehet használni.
A szellőzőkar
A * 1 mennyiség szabályozhatja a lerakódás helyezését, és tisztíthatja a csiszolópadot.
A működési vezérlő rendszer elérheti a felhasználói szintű ellenőrzést, például a kezelő mód, a karbantartási mód és a műszaki mód, és var
a funkciókat jelszavakkal irányítják. A rendszer szoftvere szerkesztheti a folyamat paraméterek minden egyes folyamat lépés és lapos és
a program szerint pucolja meg a vékony filmet a chip felületén. A berendezés működési állapotát, a
folyamatparaméterek valós idejű figyelése, és a szoftver automatikusan tárolhat különböző folyamatadatokat. Egy sürgősség esetén működő állítás gombbal van ellátva,
amelyet azonnal leállít az eszköz működését és kiszámíthatja a vezérlési áramot.
Csomagolás & Szállítás
Vállalati profil
GYIK
1. Árkapcsolatos:
Az összes árunk versenyképes és tárgyalható. Az ár változhat a berendezés konfigurációja és testreszabás bonyolultságától függően.

2. Minta kapcsolatos:
Mintatermelt gyártási szolgáltatásokat tudunk biztosítani Önnek, de esetleges díjat kell fizetnie.

3. A fizetésről:
A terv megerősítése után először egy befizetést kell tenni nekünk, és a gyár elkezdi az áruk előkészítését. Miután
a berendezés készen áll, és kiigazítottad a maradékot, elküldjük.

4. A kézbesítésről:
Az eszközgyártás befejezése után küldünk neked a fogadási videót, és szintén meg is juthatsz a helyszínre az eszköz ellenőrzéséhez.

5. Telepítés és hibakeresés:
Az eszköz érkezését követően üzemmérnökeket küldhetünk az eszköz telepítéséhez és hibakereséséhez. Ezen szolgáltatásért külön ajánlatot fogunk tenni.

6. A garanciáról:
Az eszközünknek van 12 hónapos garanciái. A garancia lejárata után, ha bármelyik rész meghibásodik és cserére van szükség, csak anyagárakat számítunk fel.

További termékek

Vizsgálat

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Adatvédelmi szabályzat

Vizsgálat Email WhatsApp Top
×

Vegye fel a kapcsolatot