1. 355nm UV lézer alkalmazása, amely önálló intellektuális tulajdonra bír, és egy amerikai feltalálói szabadalommal rendelkezik, stabil teljesítményű, jó fényhelyzetű, és hosszú időre megbízhatóan működik.
2. Felfelé és lefelé CCD konfiguráció, átlátszó és félig átlátszó wafer pozicionálásra alkalmas.
3. A lézer sugara finom pontba összpontosul, maximum 4 μm-es méretben és ≥ 25 μ mélyén.
4. Megbízható és magas pontosságú X-Y - θ 5. Hatékony és rugalmas szoftveres operációs rendszer, egyértelmű felület, és egyszerű
üzletmenet.