Lerázható réteg |
Méret |
Hüvelyk |
4,5,6,8 |
Réteg tartó |
Szám |
- |
2 |
Csúfoló módszer |
- |
Függőleges mélyítő csúfoltatás módszere |
|
Csúfoltató tengely |
Típusok |
- |
Légyszárnyas |
Mennyiség |
- |
2 |
|
Sebesség |
fordulat/perc |
0~5000 |
|
Kimeneti Teljesítmény |
KW |
5.5/7.5 |
|
Ütemezés |
mm |
150 |
|
Betáplálási sebesség |
um/s |
0.01~100 |
|
Gyorsított előrehaladási sebesség |
mm/perc |
300 |
|
Felbontás |
um |
0.1 |
|
Munkatétel tengely |
Típus |
- |
Gömbmentes |
Mennyiség |
- |
3 |
|
Szállító kupac típusa |
- |
Mikropórusz porcelán |
|
Wafer szivattyalás módszere |
- |
Vakuum adszorció |
|
Sebesség |
fordulat/perc |
0~300 |
|
Wafer átvitel |
- |
Robotkar |
|
- |
Forgó lemező |
||
Egyéb feladatok |
Wafer középre igazítás |
- |
Mobil rögzítő igazítás |
Wafer tisztítás |
- |
Víz és levegő takarítás, centrifugális szárítás |
|
Szállító pohár takarékosztály |
- |
Csigatartó takarítás |
|
CSISZOLÓKOR |
mm |
φ200 |
|
Online mérés |
Mérési tartomány |
um |
0~1800 |
Felbontás |
um |
0.1 |
|
Ismétlési pontosság |
um |
±0,5 |
|
Megmunkálás pontosság |
Bel-wafer pontosság (TTV) |
um |
≤2 |
Köz-wafer pontosság (WTW) |
um |
±3 |
|
Felszíni burkolódás (Ry) |
um |
0,13(2000#fejezés) |
|
Megjelenés |
Kinézet színezése |
um |
Narancssárga minta |
Méretek (Sz×M×Mg) |
mm |
1200×2750×1950 |
|
Súly |
kg |
4200 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved