Modell |
MDTS-WT2200 |
Kistermék tengelyek száma |
2 |
Munkapadok száma |
3, Indexelési módszer |
Csúfoltató tengely |
Légiszeletű tárgyak száma: 2 Tengermotor: 7,5kW változó frekvenciájú motor Sebesség: 0~6000 percfordulat, folytonosan állítható Kőszabály specifikáció: Φ203mm Kőszabály típusa: gyémántos kőszabály |
Kőszabály ellátó rendszer |
Mennyiség: 2 db Ellátási rendszer vezérlési módja: LM pálya és gömbeskrúd kombináció Meghajtó motor: szervomotor Legkisebb ellátási sebesség: 0,1 µm/s Legnagyobb ellátási sebesség: 50 mm/s |
Műhelyasztal |
Mennyiség: 3, indexelő mód Tengelymotor: szervomotor Sebesség: 0–300 percfordulat, folytonosan állítható Festési módszer: vakuum festés |
Munkaterem körpult |
Meghajtás módja: szervomotor Forgási tartomány: 0~240° Pozicionálási forma: érzékelő segítségével történő pozicionálás |
Automatikus vastagság Mérési rendszer |
Mérési módszer: IPG kapcsolatú online valós idejű mérés Mérésszárak száma: 2 Mérési érzékelő: 0,1um szintű érzékelő |
Automatikus betöltés/ feltöltési rendszer |
Doboz típusa: 6-8 inch Cassette, 25 réteg Automatikus betöltési/feltöltési módszer: vashordozó manipulátor használatával a vékony vázlatok közlekedésének károsítás nélküli biztosítására Csiga vastagság: 150um-1000um |
Munkamenet tisztítási funkció |
Tisztítási módszer: Olvasztó kő pólyázás & DI víz+lég kétanyagú flusholás |
Automatikus tisztítás/ Szárító rendszer |
Tisztítás: DIW szárnyaló tisztítás Fűtési módszer: Fúvás +fűtés Sebesség: max1000rpm folytonosan állítható |
Statikus eltávolító rendszer |
Iontörzs vagy orion fan |
Tengely hűtő |
Hőmérséklet: 18-22°C Áramlási sebesség: 4~8L/perc |
Vezérlőrendszer |
Vezérlő rendszer: PC vezérlő rendszer, érintőképernyős 3-színű riasztási lámpa Kínai/angol ember-gép köztes felület |
Maximális lemezméret |
Maximálisan kompatibilis 8 inch-es mérettel |
Sebesség tartomány |
0~6000 perc fordulata |
Z-tengely mozgás |
160mm |
Z-tengely táplálási sebesség |
0.1~100um/sec |
Z-tengely gyors visszavonulási sebesség |
50mm/sec |
Z-tengely felbontás |
0,1 µm |
Online vastagság-mérési tartomány |
0~1800um |
Online vastagsági mérés felbontása |
0,1 µm |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved